【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片加工设备，具体涉及一种双面研削机砂轮主轴校正治具及其控制方法。
技术介绍
1、双面研削机主要用于硅片、石英晶体、玻璃、陶瓷、蓝宝石、砷化镓、铌酸锂等零件的精研双面加工，也适用于阀板、阀片、光导纤维、计算机储存盘及其他片状金属、非金属零件的精研双面加工。双面研削机加工特点在与两个砂轮主轴同时磨削硅片，这样对两个砂轮主轴水平度和同轴度有一定的要求，两个砂轮主轴的水平度≦2um，同轴度≦10um。
2、设备出厂之前砂轮主轴水平度和同轴度是调整好，随着我们不断的加工产品，不断的用参数调整砂轮主轴的平行和同轴。这样砂轮主轴水平度和同轴度会偏移，反应到产品上就加工不出好品质的硅片。需要对砂轮主轴的水平同轴参数做归零，归零之前必须保证两砂轮主轴水平度和同轴度满足水平度≦2um、倾斜度≦10um机械参数。
技术实现思路
1、本专利技术主要解决现有技术中存在的不足，提供了一种双面研削机砂轮主轴校正治具及其控制方法，其具有结构紧凑、操作便捷和运行稳定性好的特点。解决了双面研削机砂轮主轴进行水平度和同轴度校正的问题。
2、本专利技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
3、一种双面研削机砂轮主轴校正治具，包括左砂轮和右砂轮，所述的左砂轮与右砂轮间设有用于校正主轴水平度和同轴度的校正治具，所述的校正治具包括与右砂轮相螺栓连接固定的右砂轮连接压盘，所述的右砂轮连接压盘与左砂轮间设有与左砂轮连接的左砂轮连接压盘，所述的左砂轮连接压盘与右砂轮连接
4、作为优选，所述的左砂轮上端与右砂轮上端间设有砂轮间距调节组件，所述的右砂轮后端设有右驱动电机，所述的左砂轮后端设有左驱动电机，所述的左驱动电机下端、右驱动电机下端设有基座，所述的基座与右驱动电机相螺栓固定连接，所述的基座与左驱动电机相滑动式连接。
5、作为优选，所述的砂轮间距调节组件包括伸缩气缸，所述的伸缩气缸与左驱动电机间、伸缩气缸与右驱动电机间均设有间距调节连接架，所述的伸缩气缸前端与间距调节连接架间设有与伸缩气缸相卡嵌式套接固定的导向连接套管。
6、作为优选，所述的所述的左驱动电机下端与基座间设有滑轨，所述的滑轨与左驱动电机间设有滑板，所述的滑轨前后端均设有止位板。
7、作为优选，所述的左砂轮、右砂轮、左驱动电机和右驱动电机的转轴中心为通孔，所述的右驱动电机外侧端设有光源支架，所述的光源支架上设有光源射灯，所述的光源射灯与光源支架间设有若干垂线，所述的左驱动电机外侧端设有传感器安装柱，所述的传感器安装柱上部设有光源接受传感器。
8、一种双面研削机砂轮主轴校正治具的控制方法，包括如下操作步骤：
9、第一步：通过砂轮间距调节组件打开，将校正治具上的左砂轮连接压盘、右砂轮连接压盘分别固定在左砂轮和右砂轮上，接着将测量头安装在对应的电子千分表上。
10、第二步：通过手动移动砂轮位置，左砂轮和右砂轮都前进12mm，使校正治具成为一个整体，并将联轴器固定住。
11、第三步：测量砂轮主轴的平行度，根据测量值即上下前后4个点数字的结果来调整左砂轮和右砂轮的主轴水平、倾斜位置，使最终的测量值满足≦2um。
12、第四步：测量砂轮主轴的同轴度，根据测量值即上下前后4个点数字的结果来调整左砂轮和右砂轮的主轴水平、倾斜位置，最终测量值满足≦10um。
13、第五步：找好左右砂轮主轴水平度和同轴度机械位置后，通过设备菜单设定左砂轮和右砂轮的主轴水平、倾斜位置零点。
14、作为优选，当校正治具对左砂轮和右砂轮的主轴完成水平度和同轴度的校正后，取下校正治具并打开光源射灯，当光源射灯的光束被光源接收传感器捕捉时，左砂轮和右砂轮的主轴的水平度和同轴度达标；当光源射灯的光束未被光源接收传感器捕捉时，需要通过校正治具继续校正。
15、作为优选，当左砂轮和右砂轮完成硅片双面研磨后，打开光源射灯，当光源射灯的光束被光源接收传感器捕捉时，左砂轮和右砂轮的主轴的水平度和同轴度还在误差允许范围内；当光源射灯的光束未被光源接收传感器捕捉时，左砂轮和右砂轮的主轴的水平度和同轴度误差值超范围，需要通过校正治具进行校正。
16、本专利技术能够达到如下效果：
17、本专利技术提供了一种双面研削机砂轮主轴校正治具及其控制方法，与现有技术相比较，具有结构紧凑、操作便捷和运行稳定性好的特点。解决了双面研削机砂轮主轴进行水平度和同轴度校正的问题。
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1.一种双面研削机砂轮主轴校正治具，其特征在于：包括左砂轮（1）和右砂轮（4），所述的左砂轮（1）与右砂轮（4）间设有用于校正主轴水平度和同轴度的校正治具（3），所述的校正治具（3）包括与右砂轮（4）相螺栓连接固定的右砂轮连接压盘（9），所述的右砂轮连接压盘（9）与左砂轮（1）间设有与左砂轮（1）相连接的左砂轮连接压盘（7），所述的左砂轮连接压盘（7）与右砂轮连接压盘（9）间设有联轴器（8），所述的右砂轮连接压盘（9）两侧设有延伸至左砂轮（1）内孔的电子千分表（6），所述的电子千分表（6）前端与左砂轮（1）间设有测量头（5）。
2.根据权利要求1所述的双面研削机砂轮主轴校正治具，其特征在于：所述的左砂轮（1）上端与右砂轮（4）上端间设有砂轮间距调节组件（2），所述的右砂轮（4）后端设有右驱动电机（14），所述的左砂轮（1）后端设有左驱动电机（10），所述的左驱动电机（10）下端、右驱动电机（14）下端设有基座（18），所述的基座（18）与右驱动电机（14）相螺栓固定连接，所述的基座（18）与左驱动电机（10）相滑动式连接。
3.根据权利要求2所述的双面研削
4.根据权利要求2所述的双面研削机砂轮主轴校正治具，其特征在于：所述的左驱动电机（10）下端与基座（18）间设有滑轨（20），所述的滑轨（20）与左驱动电机（10）间设有滑板（21），所述的滑轨（20）前后端均设有止位板（19）。
5.根据权利要求2所述的双面研削机砂轮主轴校正治具，其特征在于：所述的左砂轮（1）、右砂轮（4）、左驱动电机（10）和右驱动电机（14）的转轴中心为通孔，所述的右驱动电机（14）外侧端设有光源支架（16），所述的光源支架（16）上设有光源射灯（17），所述的光源射灯（17）与光源支架（16）间设有若干垂线（15），所述的左驱动电机（10）外侧端设有传感器安装柱（22），所述的传感器安装柱（22）上部设有光源接受传感器（23）。
6.根据权利要求1所述的双面研削机砂轮主轴校正治具的控制方法，其特征在于包括如下操作步骤：
7.根据权利要求6所述的双面研削机砂轮主轴校正治具的控制方法，其特征在于：当校正治具（3）对左砂轮（1）和右砂轮（4）的主轴完成水平度和同轴度的校正后，取下校正治具（3）并打开光源射灯（17），当光源射灯（17）的光束被光源接收传感器（23）捕捉时，左砂轮（1）和右砂轮（4）的主轴的水平度和同轴度达标；当光源射灯（17）的光束未被光源接收传感器（23）捕捉时，需要通过校正治具（3）继续校正。
8.根据权利要求6所述的双面研削机砂轮主轴校正治具的控制方法，其特征在于：当左砂轮（1）和右砂轮（4）完成硅片双面研磨后，打开光源射灯（17），当光源射灯（17）的光束被光源接收传感器（23）捕捉时，左砂轮（1）和右砂轮（4）的主轴的水平度和同轴度还在误差允许范围内；当光源射灯（17）的光束未被光源接收传感器（23）捕捉时，左砂轮（1）和右砂轮（4）的主轴的水平度和同轴度误差值超范围，需要通过校正治具（3）进行校正。
...【技术特征摘要】
1.一种双面研削机砂轮主轴校正治具，其特征在于：包括左砂轮（1）和右砂轮（4），所述的左砂轮（1）与右砂轮（4）间设有用于校正主轴水平度和同轴度的校正治具（3），所述的校正治具（3）包括与右砂轮（4）相螺栓连接固定的右砂轮连接压盘（9），所述的右砂轮连接压盘（9）与左砂轮（1）间设有与左砂轮（1）相连接的左砂轮连接压盘（7），所述的左砂轮连接压盘（7）与右砂轮连接压盘（9）间设有联轴器（8），所述的右砂轮连接压盘（9）两侧设有延伸至左砂轮（1）内孔的电子千分表（6），所述的电子千分表（6）前端与左砂轮（1）间设有测量头（5）。
2.根据权利要求1所述的双面研削机砂轮主轴校正治具，其特征在于：所述的左砂轮（1）上端与右砂轮（4）上端间设有砂轮间距调节组件（2），所述的右砂轮（4）后端设有右驱动电机（14），所述的左砂轮（1）后端设有左驱动电机（10），所述的左驱动电机（10）下端、右驱动电机（14）下端设有基座（18），所述的基座（18）与右驱动电机（14）相螺栓固定连接，所述的基座（18）与左驱动电机（10）相滑动式连接。
3.根据权利要求2所述的双面研削机砂轮主轴校正治具，其特征在于：所述的砂轮间距调节组件（2）包括伸缩气缸（13），所述的伸缩气缸（13）与左驱动电机（10）间、伸缩气缸（13）与右驱动电机（14）间均设有间距调节连接架（11），所述的伸缩气缸（13）前端与间距调节连接架（11）间设有与伸缩气缸（13）相卡嵌式套接固定的导向连接套管（12）。
4.根据权利要求2所述的双面研削机砂轮主轴校正治具，其特征在于：所述的左驱动电机（10）下端与基座（18）间设有滑轨（20），所述的滑轨（20）与左驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员：石建群，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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