散热器注氦检测真空度方法技术

本发明专利技术涉及到一种散热器的检测真空度方法，尤其涉及到一种散热器的注氦检测真空度方法。该方法包括：１）外观检验；２）载入工件；３）工件抽真空；４）工件内真空保压；５）抽真空室内真空；６）注氦；７）注氦保压；８）质谱仪检测；９）真空室泄压和抽工件内的氦气；１０）取工件，将散热器取下。本发明专利技术的有益效果是：为了检测散热器内腔的真空度，预先将需要注水的散热器内腔毛细管内抽真空，然后注入氦气，通过检测氦气的泄漏量来准确地确认内腔的真空度，我们装置的真空度可以高达１０Ｐａ以下。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到一种散热器的检测真空度方法，尤其涉及到一种散热器的注 氦检测真空度方法。
技术介绍
现有散热器是采用正压注水方式，不需要检测内腔真空度，其散热器内腔毛细管很难注满水， 一般都会有20~30%的空气含量，空气含量越高散热性能 越差！因此，我们之前专利技术了散热器真空注水装置。该装置是釆用负压注水方 式，其核心就是要保证散热器内腔的真空度足够高，不过现有的散热器真空注 水装置不能检测到其真空度。基于散热器一般的检测真空度方法的不足之处，本专利技术人设计了本专利技术 ""。
技术实现思路
本专利技术针对上述现有技术的不足所要解决的技术问题是:提供一种用于检 测散热器真空度的。 本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是 一种，该方法包括1)、外观检验，对散热器的毛细管进行外观检验，将外观有破损的散热器 选出；2) 、载入工件，将外观合格的散热器载入至工作位置；3) 工件抽真空，利用抽真空装置对散热器的毛细管进行抽真空处理，使其内腔的真空度达到3000Pa以下；4) 、工件内真空保压，抽完真空后先进行一段时间的保压，确定没有漏气， 工件的真空度达到合格值；5) 、抽真空室内真空，在工件外还有一个大的真空室，在工件内真空保压 后再对真空室进行抽真空处理；6) 、注氦，将氦气注入散热器的毛细管内；7) 、注氦保压，在注完氦后再进行一小段时间保压；8) 、质谱仪检测，检测工件里的氦气体是否有泄露；9) 、真空室泄压和抽工件内的氦气；10) 、取工件，将散热器取下。本专利技术的工作原理是为了检测工件内腔的真空度，注入氦气，通过检测 工件内氦气的泄露量来准确地测出工件内腔的真空度。为了防止氦气泄露到空 气中影响检测结果，将需要抽真空的工件放置在一个真空室内，而且设计这个 真空室内的真空度(100Pa以下)大于需要抽真空的工件内的真空度 (100(T3000Pa)。当工件和真空室完成抽真空后，开始向工件内注入氦气，在 一定的时间内(3 6秒)达到规定的氦气压力(1.0 1.65kgf/cm2)且保压10 秒钟。此时用质谱仪检测氦气的泄露量(即真空室内的氦气量)，当氦气的泄 漏量小于1.0*10-w mPa.L/S时工件的真空度为合格！然后真空室泄压，抽出 工件内的氦气，取工件，完成。进入下一个工件的检测。 本专利技术的主要实现装置如下(1) 、真空注氦机由架体及内外包装、真空室部分、自动门机构、真空注氦及检测系统和电 器控制五部分组成。(2) 、真空注氦系统及检测系统的组成-真空注氦系统由进口真空泵、真空气控阀、数字式真空表、不锈钢真空罐G5L)、不锈钢电磁阀、不锈钢单向阀、不锈钢无缝管、氦气罐和液位检测等 组成。真空注氦系统最高真空度100Pa以下采用质谱仪自动检测控制系统，所有的技术参数都选用数显示仪表显示。 触摸屏选用10寸彩色屏幕，可监视每个工位的运行情况。真空泵内不充许有 大于2%的氦气，否则会导致真空泵失效。真空泵内不充许有非真空专用油以 外的其它液体，否则会导致真空泵失效本专利技术一种的有益效果是本专利技术为了检测散热器内腔的真空度，预先将需要注水的散热器内腔毛细 管内抽真空，然后注入氦气，通过检测氦气的泄露量来准确地确认内腔的真空度，我们装置的真空度可以高达10Pa以下。 附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。 图l是本专利技术的方框流程图。具体实施例方式参照图l，本专利技术是这样实施的一种，该方法包括1) 、外观检验，对散热器的毛细管进行外观检验，将外观有破损的散热器 选出；2) 、载入工件，将外观合格的散热器载入至工作位置；3) 工件抽真空，利用抽真空装置对散热器的毛细管进行抽真空处理，使 其内腔的真空度达到3000Pa以下；4) 、工件内真空保压，抽完真空后先进行一段时间的保压，确定没有漏气， 工件的真空度达到合格值；5) 、抽真空室内真空，在工件外还有一个大的真空室，在工件内真空保压 后再对真空室进行抽真空处理；6) 、注氦，将氦气注入散热器的毛细管内；7) 、注氦保压，在注完氦后再进行一小段时间保压；8) 、质谱仪检测，检测工件里的氦气体是否有泄露；9) 、真空室泄压和抽工件内的氦气；10) 、取工件，将散热器取下。本专利技术为了检测散热器内腔的真空度，预先将需要注水的散热器内腔毛细 管内抽真空，然后注入氦气，通过检测氦气的泄露量来准确地确认内腔的真空 度，我们装置的真空度可以高达10Pa以下。以上所述，仅是本专利技术一种散热器的注氦检测真空度方法较佳实施例而 己，并非对本专利技术的技术范围作任何限制，凡是依据本专利技术的技术实质对上面 实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本专利技术技术的范围内。权利要求1、一种，该方法包括1)、外观检验，对散热器的毛细管进行外观检验，将外观有破损的散热器选出；2)、载入工件，将外观合格的散热器载入至工作位置；3)工件抽真空，利用抽真空装置对散热器的毛细管进行抽真空处理，使其内腔的真空度达到3000Pa以下；4)、工件内真空保压，抽完真空后先进行一段时间的保压，确定没有漏气，工件的真空度达到合格值；5)、抽真空室内真空，在工件外还有一个大的真空室，在工件内真空保压后再对真空室进行抽真空处理；6)、注氦，将氦气注入散热器的毛细管内；7)、注氦保压，在注完氦后再进行一小段时间保压；8)、质谱仪检测，检测工件里的氦气体是否有泄露；9)、真空室泄压和抽工件内的氦气；10)、取工件，将散热器取下。全文摘要本专利技术涉及到一种散热器的检测真空度方法，尤其涉及到一种散热器的注氦检测真空度方法。该方法包括1)外观检验；2)载入工件；3)工件抽真空；4)工件内真空保压；5)抽真空室内真空；6)注氦；7)注氦保压；8)质谱仪检测；9)真空室泄压和抽工件内的氦气；10)取工件，将散热器取下。本专利技术的有益效果是为了检测散热器内腔的真空度，预先将需要注水的散热器内腔毛细管内抽真空，然后注入氦气，通过检测氦气的泄漏量来准确地确认内腔的真空度，我们装置的真空度可以高达10Pa以下。文档编号G01L21/00GK101551287SQ20081006641公开日2009年10月7日 申请日期2008年3月31日 优先权日2008年3月31日专利技术者樊新华, 翌 祝 申请人:翌 祝 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种散热器注氦检测真空度方法，该方法包括：　１）、外观检验，对散热器的毛细管进行外观检验，将外观有破损的散热器选出；　２）、载入工件，将外观合格的散热器载入至工作位置；　３）工件抽真空，利用抽真空装置对散热器的毛细管进行抽 真空处理，使其内腔的真空度达到３０００Ｐａ以下；　４）、工件内真空保压，抽完真空后先进行一段时间的保压，确定没有漏气，工件的真空度达到合格值；　５）、抽真空室内真空，在工件外还有一个大的真空室，在工件内真空保压后再对真空室进行抽 真空处理；　６）、注氦，将氦气注入散热器的毛细管内；　７）、注氦保压，在注完氦后再进行一小段时间保压；　８）、质谱仪检测，检测工件里的氦气体是否有泄露；　９）、真空室泄压和抽工件内的氦气；　１０）、取工件，将散 热器取下。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：祝翌，樊新华，
申请(专利权)人：祝翌，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]