一种用于石英管棒的检测仪制造技术

技术编号:42135947 阅读:10 留言:0更新日期:2024-07-25 00:50
本技术涉及石英管棒检测设备技术领域,公开了一种用于石英管棒的检测仪,包括支撑板和石英管,所述支撑板的顶部固定连接有检测箱,所述支撑板的底部固定连接有水箱,所述水箱的内部开设有进水槽,所述水箱的内部设置有水泵,所述水泵的内部固定连接有进水管,所述进水管延伸至检测箱的内部,所述检测箱内部的两侧均固定连接有夹持座。本技术具有以下优点和效果:工作人员观察检测箱内部的颜色,当检测箱内部的水与颜料接触之后,水将水变色,当水变色之后则证明石英管的气密效果不佳,因此本装置既能够对石英管进行气密性检测,且检测可靠性极高,同时本装置通过简易的技术手段达到检测效果,降低了检测成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英管棒检测设备,特别涉及一种用于石英管棒的检测仪


技术介绍

1、随着半导体产业景气向上,对于石英管的需求大幅度增长,从而对于这类半导体管件类产品的质量要求也变得越来越高,尤其是一些半导体大型石英管的需求越来越大,密封性的技术指标越来越高。

2、在现有技术中,中国专利公开号cn213274731u公开了一种检测石英管密封性的装置,包括待检测的石英管,待检测的石英管一端封闭,并设置有多个支管,支管和石英管相连通,另一端开口设置,还包括有密封塞和密封垫,密封塞设在支管内,密封塞内插设有通气管,通气管另一端连接在真空抽气机中,密封垫覆盖在待检测的石英管的另一端;随着抽真空机的工作,石英管内逐渐真空将密封垫进行吸附,当吸附到一定程度时,密封垫不需要人工的扶持,吸附在石英管上,抽真空机停止工作,这时密封垫就不会脱落,证明石英管的密封性良好,如密封垫很难吸附或者短时间内脱落就证明石英管的密封性不够,需要进一步的检测。本技术结构简单,操作更加的快捷,可以独立操作,提高了检测的效率。

3、上述专利虽然能够对石英管进行气密性检测,但是通过抽真空机达到检测效果增加检测成本,同时检测效果仍存在可靠性低的可能,因此如何提升检测可靠性且降低检测成本是一项急需解决的问题。


技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种用于石英管棒的检测仪,具有能够提升检测可靠性且降低检测成本的效果。

2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种用于石英管棒的检测仪,包括支撑板和石英管,所述支撑板的顶部固定连接有检测箱,所述支撑板的底部固定连接有水箱,所述水箱的内部开设有进水槽,所述水箱的内部设置有水泵,所述水泵的内部固定连接有进水管,所述进水管延伸至检测箱的内部,所述检测箱内部的两侧均固定连接有夹持座,所述夹持座的内部固定连接有弹簧,所述弹簧的一端固定连接有限位球头,所述石英管设置在夹持座的内部,所述石英管的内部设置有颜料,所述石英管的两端均插接有密封塞,所述密封塞的中部套接有密封环。

3、通过采用上述技术方案,在对石英管的气密性进行检测时,工作人员将颜料装填至石英管的内部,之后通过密封塞插接至石英管的两端,密封环对密封塞与石英管之间的间隙进行密封,之后工作人员将石英管延伸至夹持座的内部,限位球头延伸至夹持座的内部,当石英管与限位球头进行接触之后,弹簧被压缩,石英管延伸至夹持座的内部之后,通过两个限位球头进行限位,之后启动水泵,使得水泵将水箱内部的水抽入检测箱的内部,当水进入检测箱的内部之后,观察检测箱的内部是否有气泡冒出,当有气泡冒出时,则证明石英管有破损之处,同时工作人员观察检测箱内部的颜色,当检测箱内部的水与颜料接触之后,水将水变色,当水变色之后则证明石英管的气密效果不佳,因此本装置既能够对石英管进行气密性检测,且检测可靠性极高,同时本装置通过简易的技术手段达到检测效果,降低了检测成本。

4、本技术的进一步设置为:所述密封塞的数量为两个,且两个所述密封塞的一端均固定连接有手柄。

5、通过采用上述技术方案,手握手柄,将密封塞插接至石英管的内部,较为便捷。

6、本技术的进一步设置为:所述水箱的内部固定安装有水泵支架,所水泵活动安装在水泵支架的内部。

7、通过采用上述技术方案,将水泵安装至水泵支架的内部,进而能够将水泵固定在水箱的内部。

8、本技术的进一步设置为:所述检测箱的内部开设有进水口,所述进水口的内部固定连接有底板,所述底板的底部固定连接有进水斗,所述进水管固定连接在进水斗的内部。

9、通过采用上述技术方案,水泵内部的进水管与进水斗固定连接,底板设置在检测箱的内部,进而能够将水抽入检测箱的内部。

10、本技术的进一步设置为:所述底板的内部固定连接有格栅,所述格栅的内部固定连接有滤网。

11、通过采用上述技术方案,底板的内部连接有多条格栅,且多条格栅之间的间隙处通过滤网填充,进而使得进水管内部的水进入检测箱的内部之后,通过格栅和滤网对流进行缓冲,防止水因进入的湍急造成水出现大幅度的波动。

12、本技术的进一步设置为:所述检测箱的外部固定连接有排水管,所述排水管的内部设置有阀门。

13、通过采用上述技术方案,在对检测箱内部的水进行排放时,打开阀门,水通过排水管排出。

14、本技术的有益效果是:

15、1、本技术,通过支撑板、石英管、检测箱、水箱、水泵、进水管、夹持座、弹簧、限位球头、颜料、密封塞和密封环之间的设置,在对石英管的气密性进行检测时,工作人员将颜料装填至石英管的内部,之后通过密封塞插接至石英管的两端,密封环对密封塞与石英管之间的间隙进行密封,之后工作人员将石英管延伸至夹持座的内部,限位球头延伸至夹持座的内部,当石英管与限位球头进行接触之后,弹簧被压缩,石英管延伸至夹持座的内部之后,通过两个限位球头进行限位,之后启动水泵,使得水泵将水箱内部的水抽入检测箱的内部,当水进入检测箱的内部之后,观察检测箱的内部是否有气泡冒出,当有气泡冒出时,则证明石英管有破损之处,同时工作人员观察检测箱内部的颜色,当检测箱内部的水与颜料接触之后,水将水变色,当水变色之后则证明石英管的气密效果不佳,因此本装置既能够对石英管进行气密性检测,且检测可靠性极高,同时本装置通过简易的技术手段达到检测效果,降低了检测成本。

16、2、本技术,通过底板、进水斗、格栅和滤网之间的设置,水泵内部的进水管与进水斗固定连接,底板设置在检测箱的内部,进而能够将水抽入检测箱的内部,底板的内部连接有多条格栅,且多条格栅之间的间隙处通过滤网填充,进而使得进水管内部的水进入检测箱的内部之后,通过格栅和滤网对流进行缓冲,防止水因进入的湍急造成水出现大幅度的波动。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于石英管棒的检测仪,包括支撑板(1)和石英管(2),其特征在于:所述支撑板(1)的顶部固定连接有检测箱(3),所述支撑板(1)的底部固定连接有水箱(4),所述水箱(4)的内部开设有进水槽,所述水箱(4)的内部设置有水泵(5),所述水泵(5)的内部固定连接有进水管(6),所述进水管(6)延伸至检测箱(3)的内部,所述检测箱(3)内部的两侧均固定连接有夹持座(7),所述夹持座(7)的内部固定连接有弹簧(8),所述弹簧(8)的一端固定连接有限位球头(9),所述石英管(2)设置在夹持座(7)的内部,所述石英管(2)的内部设置有颜料(10),所述石英管(2)的两端均插接有密封塞(11),所述密封塞(11)的中部套接有密封环(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英管棒的检测仪,其特征在于:所述密封塞(11)的数量为两个,且两个所述密封塞(11)的一端均固定连接有手柄(13)。

3.根据权利要求1所述的一种用于石英管棒的检测仪,其特征在于:所述水箱(4)的内部固定安装有水泵支架(14),所水泵(5)活动安装在水泵支架(14)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种用于石英管棒的检测仪,其特征在于:所述检测箱(3)的内部开设有进水口,所述进水口的内部固定连接有底板(15),所述底板(15)的底部固定连接有进水斗(16),所述进水管(6)固定连接在进水斗(16)的内部。

5.根据权利要求4所述的一种用于石英管棒的检测仪,其特征在于:所述底板(15)的内部固定连接有格栅(17),所述格栅(17)的内部固定连接有滤网(18)。

6.根据权利要求1所述的一种用于石英管棒的检测仪,其特征在于:所述检测箱(3)的外部固定连接有排水管(19),所述排水管(19)的内部设置有阀门(20)。

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【技术特征摘要】

1.一种用于石英管棒的检测仪,包括支撑板(1)和石英管(2),其特征在于:所述支撑板(1)的顶部固定连接有检测箱(3),所述支撑板(1)的底部固定连接有水箱(4),所述水箱(4)的内部开设有进水槽,所述水箱(4)的内部设置有水泵(5),所述水泵(5)的内部固定连接有进水管(6),所述进水管(6)延伸至检测箱(3)的内部,所述检测箱(3)内部的两侧均固定连接有夹持座(7),所述夹持座(7)的内部固定连接有弹簧(8),所述弹簧(8)的一端固定连接有限位球头(9),所述石英管(2)设置在夹持座(7)的内部,所述石英管(2)的内部设置有颜料(10),所述石英管(2)的两端均插接有密封塞(11),所述密封塞(11)的中部套接有密封环(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英管棒的检测仪,其特征在于:所述密封塞(11)的数量为两个,且两个所述密封塞(11)的一端均...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈林
申请(专利权)人:湖北石创半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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