【技术实现步骤摘要】
本申请设计晶圆检测的，尤其设计一种探针调节组件及探针台。
技术介绍
1、探针台是对半导体器件进行电性能测试的重要设备，探针台由精密的机械结构、高性能的探针针头和电性能测试仪器组成。探针台在工作过程中，通常利用探针对晶圆上的芯片进行测试，其中半自动探针台可以通过手动探针座调节探针的位置。
2、然而，传动的手动探针座在外力触碰下会存在不稳定的情况，导致探针测试误判断或损坏测试中芯片的风险。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种探针调节组件，以使得探针的位置更加精准，保障探针台测试的精准度。
2、第一方面，本申请提供一种探针调节组件，所述探针调节组件应用于探针台中，所述探针台包括相连的探针臂及探针，所述探针调节组件通过探针臂连接于探针，所述探针调节组件包括：
3、基座；
4、移动组件，所述移动组件承载于所述基座，所述移动组件能够相对所述基座沿第一方向移动，且所述移动组件用于连接所述探针台的探针臂；
5、第一导轨组件，所述第一导轨组件包括滑动连接的第一导轨及第二导轨，所述第一导轨固定于所述基座，所述第二导轨固定于所述移动组件，且所述第二导轨能够相对所述第一导轨沿所述第一方向滑动；及
6、第一弹性组件，所述第一弹性组件的数量至少为两个，所述第一弹性组件包括依次相连的第一固定柱、第一弹性件及第二固定柱，所述第一固定柱连接于所述基座，所述第二固定柱连接于所述移动组件，所述第一弹性件沿所述第一方向进行延伸。
7
8、第一移动座，所述第一移动座承载于所述基座，所述第一移动座能够相对所述基座沿第一方向移动；
9、第二移动座，所述第二移动座承载于所述第一移动座背离所述基座的一侧，所述第二移动座能够相对所述第一移动座沿第二方向移动，所述第二方向垂直于所述第一方向；及
10、第三移动座，所述第三移动座连接于所述第二移动座，所述第三移动座能够相对所述第二移动座沿第三方向移动，所述第三方向分别垂直于所述第一方向及所述第二方向，且所述第三移动座用于连接所述探针臂。
11、其中，所述探针调节组件还包括：
12、第二导轨组件，所述第二导轨组件包括滑动连接的第三导轨及第四导轨，所述第三导轨固定于所述第一移动座，所述第四导轨固定于所述第二移动座，且所述第四导轨能够相对所述第三导轨沿所述第二方向进行滑动；及
13、第二弹性组件，所述第二弹性组件的数量至少为两个，所述第二弹性组件包括依次相连的第三固定柱、第二弹性件及第四固定柱，所述第三固定柱连接于所述第一移动座，所述第四固定柱连接于所述第二移动座，所述第二弹性件沿所述第二方向进行延伸。
14、其中，所述第三移动座包括底座及转接板，所述底座固定连接于所述第二移动座，所述转接板滑动连接于所述底座，且所述转接板背离所述底座的一侧用于连接所述探针臂，所述探针调节组件还包括：
15、第三导轨组件，所述第三导轨组件包括滑动连接的第五导轨及第六导轨，所述第五导轨固定于所述底座，所述第六导轨固定于所述转接板，且所述第六导轨能够相对所述第五导轨沿所述第三方向滑动；及
16、第三弹性组件，所述第三弹性组件的数量至少为两个，所述第三弹性组件包括依次相连的第五固定柱、第三弹性件及第六固定柱，所述第五固定柱连接于所述底座，所述第六固定柱连接于所述转接板，所述第三弹性件沿所述第三方向延伸。
17、其中，所述探针调节组件还包括：
18、第一调节件，所述第一调节件包括第一固定座及第一微分头，所述第一固定座固定于所述基座，所述第一微分头抵接于所述第一移动座，所述第一微分头还活动连接于所述第一固定座，并能够相对所述第一固定座沿所述第一方向移动；
19、第二调节件，所述第二调节件包括第二固定座及第二微分头，所述第二固定座固定于所述第一移动座，所述第二微分头抵接于所述第二移动座，所述第二微分头还活动连接于所述第二固定座，并能够相对所述第二固定座沿所述第二方向移动；及
20、第三调节件，所述第三调节件包括第三固定座及第三微分头，所述第三固定座固定于所述底座，所述第三微分头抵接于所述转接板，所述第三微分头还活动连接于所述第三固定座，并能够相对所述第三固定座沿所述第三方向移动。
21、其中，所述探针调节组件还包括：
22、第一锁定件，所述第一锁定件包括第一固定片及第一紧固件，所述第一固定片的一端固定于所述基座，所述第一紧固件连接于所述第一固定片，且所述第一紧固件可拆卸连接于所述第一移动座；
23、第二锁定件，所述第二锁定件包括第二固定片及第二紧固件，所述第二固定片的一端固定于所述第一移动座，所述第二紧固件连接于所述第二固定片，且所述第二紧固件可拆卸连接于所述第二移动座；及
24、第三锁定件，所述第三锁定件包括第三固定片及第三紧固件，所述第三固定片的一端固定于所述底座，所述第三紧固件连接于所述第三固定片，且所述第三紧固件可拆卸连接于所述转接板。
25、其中，所述第一移动座在邻近所述基座的一侧具有第一凸出部，所述第一凸出部抵接于所述第二导轨；所述第二移动座在邻近所述第一移动座的一侧具有第二凸出部，所述第二凸出部抵接于所述第四导轨；所述转接板在邻近所述底座的一侧具有第三凸出部，所述第三凸出部抵接于所述第六导轨。
26、其中，所述第一凸出部包括相连的第一部及第二部，所述第一部抵接于所述第二导轨邻近所述第一移动座的一侧，所述第二部抵接于所述第二导轨的周侧面；所述第二凸出部包括相连的第三部及第四部，所述第三部抵接于所述第四导轨邻近所述第二移动座的一侧，所述第四部抵接于所述第四导轨的周侧面；所述第三凸出部包括相连的第五部及第六部，所述第五部抵接于所述第六导轨邻近所述转接板的一侧，所述第六部抵接于所述第六导轨的周侧面。
27、其中，所述第一移动座在邻近所述第一调节件的一侧具有第一避让槽，所述第一避让槽至少部分收容所述第一固定座及所述第一微分头；所述第二移动座在邻近所述第二调节件的一侧具有第二避让槽，所述第二避让槽至少部分收容所述第二固定座及所述第二微分头；所述转接板在邻近所述第三调节件的一侧具有第三避让槽，所述第三避让槽至少部分收容所述第三固定座及所述第三微分头。
28、第二方面，本申请提供一种探针台，所述探针台包括探针、探针臂及所述探针调节组件，所述探针连接于所述探针臂的一端，所述探针调节组件连接于所述探针臂的另一端，所述探针调节组件用于调节所述探针臂及所述探针的位置。所述探针调节组件包括基座、移动组件、第一导轨组件及第一弹性组件。所述移动组件能够相对所述基座沿第一方向移动，且所述移动组件用于连接所述探针台的探针臂。所述第一导轨组件包括滑动连接的第一导轨及第二导轨，所述第一导轨固定于所述基座，所述第二导轨固定于所述移动组件，且所述第二导轨能够相对所述第一导轨沿所述第一方向滑动，使得所述移动组件与所述基本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种探针调节组件，其特征在于，所述探针调节组件应用于探针台中，所述探针台包括相连的探针臂及探针，所述探针调节组件通过探针臂连接于探针，所述探针调节组件包括：
2.如权利要求1所述的探针调节组件，其特征在于，所述移动组件包括：
3.如权利要求2所述的探针调节组件，其特征在于，所述探针调节组件还包括：
4.如权利要求3所述的探针调节组件，其特征在于，所述第三移动座包括底座及转接板，所述底座固定连接于所述第二移动座，所述转接板滑动连接于所述底座，且所述转接板背离所述底座的一侧用于连接所述探针臂，所述探针调节组件还包括：
5.如权利要求4所述的探针调节组件，其特征在于，所述探针调节组件还包括：
6.如权利要求5所述的探针调节组件，其特征在于，所述探针调节组件还包括：
7.如权利要求4所述的探针调节组件，其特征在于，所述第一移动座在邻近所述基座的一侧具有第一凸出部，所述第一凸出部抵接于所述第二导轨；所述第二移动座在邻近所述第一移动座的一侧具有第二凸出部，所述第二凸出部抵接于所述第四导轨；所述转接板在邻近所述底座的一
8.如权利要求7所述的探针调节组件，其特征在于，所述第一凸出部包括相连的第一部及第二部，所述第一部抵接于所述第二导轨邻近所述第一移动座的一侧，所述第二部抵接于所述第二导轨的周侧面；所述第二凸出部包括相连的第三部及第四部，所述第三部抵接于所述第四导轨邻近所述第二移动座的一侧，所述第四部抵接于所述第四导轨的周侧面；所述第三凸出部包括相连的第五部及第六部，所述第五部抵接于所述第六导轨邻近所述转接板的一侧，所述第六部抵接于所述第六导轨的周侧面。
9.如权利要求5所述的探针调节组件，其特征在于，所述第一移动座在邻近所述第一调节件的一侧具有第一避让槽，所述第一避让槽至少部分收容所述第一固定座及所述第一微分头；所述第二移动座在邻近所述第二调节件的一侧具有第二避让槽，所述第二避让槽至少部分收容所述第二固定座及所述第二微分头；所述转接板在邻近所述第三调节件的一侧具有第三避让槽，所述第三避让槽至少部分收容所述第三固定座及所述第三微分头。
10.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括探针、探针臂及如权利要求1～9任意一项所述的探针调节组件，所述探针连接于所述探针臂的一端，所述探针调节组件连接于所述探针臂的另一端，所述探针调节组件用于调节所述探针臂及所述探针的位置。
...【技术特征摘要】
1.一种探针调节组件，其特征在于，所述探针调节组件应用于探针台中，所述探针台包括相连的探针臂及探针，所述探针调节组件通过探针臂连接于探针，所述探针调节组件包括：
2.如权利要求1所述的探针调节组件，其特征在于，所述移动组件包括：
3.如权利要求2所述的探针调节组件，其特征在于，所述探针调节组件还包括：
4.如权利要求3所述的探针调节组件，其特征在于，所述第三移动座包括底座及转接板，所述底座固定连接于所述第二移动座，所述转接板滑动连接于所述底座，且所述转接板背离所述底座的一侧用于连接所述探针臂，所述探针调节组件还包括：
5.如权利要求4所述的探针调节组件，其特征在于，所述探针调节组件还包括：
6.如权利要求5所述的探针调节组件，其特征在于，所述探针调节组件还包括：
7.如权利要求4所述的探针调节组件，其特征在于，所述第一移动座在邻近所述基座的一侧具有第一凸出部，所述第一凸出部抵接于所述第二导轨；所述第二移动座在邻近所述第一移动座的一侧具有第二凸出部，所述第二凸出部抵接于所述第四导轨；所述转接板在邻近所述底座的一侧具有第三凸出部，所述第三凸出部抵接于所述第六导轨。
8.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧晓永，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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