探针调节组件及探针台制造技术

技术编号:42133754 阅读:3 留言:0更新日期:2024-07-25 00:48
本申请提供一种探针调节组件及探针台。探针调节组件应用于探针台中,探针调节组件通过探针臂连接于探针,探针调节组件包括:基座;移动组件,移动组件承载于基座,移动组件能够相对基座沿第一方向移动,且移动组件用于连接探针台的探针臂;第一导轨组件,第一导轨组件包括滑动连接的第一导轨及第二导轨,第一导轨固定于基座,第二导轨固定于移动组件,且第二导轨能够相对第一导轨沿第一方向滑动;及第一弹性组件,第一弹性组件的数量至少为两个,第一弹性组件包括依次相连的第一固定柱、第一弹性件及第二固定柱,第一固定柱连接于基座,第二固定柱连接于移动组件,第一弹性件沿第一方向进行延伸,以使探针位置更加精准,保障探针台的精准度。

【技术实现步骤摘要】

本申请设计晶圆检测的,尤其设计一种探针调节组件及探针台


技术介绍

1、探针台是对半导体器件进行电性能测试的重要设备,探针台由精密的机械结构、高性能的探针针头和电性能测试仪器组成。探针台在工作过程中,通常利用探针对晶圆上的芯片进行测试,其中半自动探针台可以通过手动探针座调节探针的位置。

2、然而,传动的手动探针座在外力触碰下会存在不稳定的情况,导致探针测试误判断或损坏测试中芯片的风险。


技术实现思路

1、鉴于此,本申请提供一种探针调节组件,以使得探针的位置更加精准,保障探针台测试的精准度。

2、第一方面,本申请提供一种探针调节组件,所述探针调节组件应用于探针台中,所述探针台包括相连的探针臂及探针,所述探针调节组件通过探针臂连接于探针,所述探针调节组件包括:

3、基座;

4、移动组件,所述移动组件承载于所述基座,所述移动组件能够相对所述基座沿第一方向移动,且所述移动组件用于连接所述探针台的探针臂;

5、第一导轨组件,所述第一导轨组件包括滑动连接的第一导轨及第二导轨,所述第一导轨固定于所述基座,所述第二导轨固定于所述移动组件,且所述第二导轨能够相对所述第一导轨沿所述第一方向滑动;及

6、第一弹性组件,所述第一弹性组件的数量至少为两个,所述第一弹性组件包括依次相连的第一固定柱、第一弹性件及第二固定柱,所述第一固定柱连接于所述基座,所述第二固定柱连接于所述移动组件,所述第一弹性件沿所述第一方向进行延伸。

7、其中,所述移动组件包括:

8、第一移动座,所述第一移动座承载于所述基座,所述第一移动座能够相对所述基座沿第一方向移动;

9、第二移动座,所述第二移动座承载于所述第一移动座背离所述基座的一侧,所述第二移动座能够相对所述第一移动座沿第二方向移动,所述第二方向垂直于所述第一方向;及

10、第三移动座,所述第三移动座连接于所述第二移动座,所述第三移动座能够相对所述第二移动座沿第三方向移动,所述第三方向分别垂直于所述第一方向及所述第二方向,且所述第三移动座用于连接所述探针臂。

11、其中,所述探针调节组件还包括:

12、第二导轨组件,所述第二导轨组件包括滑动连接的第三导轨及第四导轨,所述第三导轨固定于所述第一移动座,所述第四导轨固定于所述第二移动座,且所述第四导轨能够相对所述第三导轨沿所述第二方向进行滑动;及

13、第二弹性组件,所述第二弹性组件的数量至少为两个,所述第二弹性组件包括依次相连的第三固定柱、第二弹性件及第四固定柱,所述第三固定柱连接于所述第一移动座,所述第四固定柱连接于所述第二移动座,所述第二弹性件沿所述第二方向进行延伸。

14、其中,所述第三移动座包括底座及转接板,所述底座固定连接于所述第二移动座,所述转接板滑动连接于所述底座,且所述转接板背离所述底座的一侧用于连接所述探针臂,所述探针调节组件还包括:

15、第三导轨组件,所述第三导轨组件包括滑动连接的第五导轨及第六导轨,所述第五导轨固定于所述底座,所述第六导轨固定于所述转接板,且所述第六导轨能够相对所述第五导轨沿所述第三方向滑动;及

16、第三弹性组件,所述第三弹性组件的数量至少为两个,所述第三弹性组件包括依次相连的第五固定柱、第三弹性件及第六固定柱,所述第五固定柱连接于所述底座,所述第六固定柱连接于所述转接板,所述第三弹性件沿所述第三方向延伸。

17、其中,所述探针调节组件还包括:

18、第一调节件,所述第一调节件包括第一固定座及第一微分头,所述第一固定座固定于所述基座,所述第一微分头抵接于所述第一移动座,所述第一微分头还活动连接于所述第一固定座,并能够相对所述第一固定座沿所述第一方向移动;

19、第二调节件,所述第二调节件包括第二固定座及第二微分头,所述第二固定座固定于所述第一移动座,所述第二微分头抵接于所述第二移动座,所述第二微分头还活动连接于所述第二固定座,并能够相对所述第二固定座沿所述第二方向移动;及

20、第三调节件,所述第三调节件包括第三固定座及第三微分头,所述第三固定座固定于所述底座,所述第三微分头抵接于所述转接板,所述第三微分头还活动连接于所述第三固定座,并能够相对所述第三固定座沿所述第三方向移动。

21、其中,所述探针调节组件还包括:

22、第一锁定件,所述第一锁定件包括第一固定片及第一紧固件,所述第一固定片的一端固定于所述基座,所述第一紧固件连接于所述第一固定片,且所述第一紧固件可拆卸连接于所述第一移动座;

23、第二锁定件,所述第二锁定件包括第二固定片及第二紧固件,所述第二固定片的一端固定于所述第一移动座,所述第二紧固件连接于所述第二固定片,且所述第二紧固件可拆卸连接于所述第二移动座;及

24、第三锁定件,所述第三锁定件包括第三固定片及第三紧固件,所述第三固定片的一端固定于所述底座,所述第三紧固件连接于所述第三固定片,且所述第三紧固件可拆卸连接于所述转接板。

25、其中,所述第一移动座在邻近所述基座的一侧具有第一凸出部,所述第一凸出部抵接于所述第二导轨;所述第二移动座在邻近所述第一移动座的一侧具有第二凸出部,所述第二凸出部抵接于所述第四导轨;所述转接板在邻近所述底座的一侧具有第三凸出部,所述第三凸出部抵接于所述第六导轨。

26、其中,所述第一凸出部包括相连的第一部及第二部,所述第一部抵接于所述第二导轨邻近所述第一移动座的一侧,所述第二部抵接于所述第二导轨的周侧面;所述第二凸出部包括相连的第三部及第四部,所述第三部抵接于所述第四导轨邻近所述第二移动座的一侧,所述第四部抵接于所述第四导轨的周侧面;所述第三凸出部包括相连的第五部及第六部,所述第五部抵接于所述第六导轨邻近所述转接板的一侧,所述第六部抵接于所述第六导轨的周侧面。

27、其中,所述第一移动座在邻近所述第一调节件的一侧具有第一避让槽,所述第一避让槽至少部分收容所述第一固定座及所述第一微分头;所述第二移动座在邻近所述第二调节件的一侧具有第二避让槽,所述第二避让槽至少部分收容所述第二固定座及所述第二微分头;所述转接板在邻近所述第三调节件的一侧具有第三避让槽,所述第三避让槽至少部分收容所述第三固定座及所述第三微分头。

28、第二方面,本申请提供一种探针台,所述探针台包括探针、探针臂及所述探针调节组件,所述探针连接于所述探针臂的一端,所述探针调节组件连接于所述探针臂的另一端,所述探针调节组件用于调节所述探针臂及所述探针的位置。所述探针调节组件包括基座、移动组件、第一导轨组件及第一弹性组件。所述移动组件能够相对所述基座沿第一方向移动,且所述移动组件用于连接所述探针台的探针臂。所述第一导轨组件包括滑动连接的第一导轨及第二导轨,所述第一导轨固定于所述基座,所述第二导轨固定于所述移动组件,且所述第二导轨能够相对所述第一导轨沿所述第一方向滑动,使得所述移动组件与所述基本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针调节组件,其特征在于,所述探针调节组件应用于探针台中,所述探针台包括相连的探针臂及探针,所述探针调节组件通过探针臂连接于探针,所述探针调节组件包括:

2.如权利要求1所述的探针调节组件,其特征在于,所述移动组件包括:

3.如权利要求2所述的探针调节组件,其特征在于,所述探针调节组件还包括:

4.如权利要求3所述的探针调节组件,其特征在于,所述第三移动座包括底座及转接板,所述底座固定连接于所述第二移动座,所述转接板滑动连接于所述底座,且所述转接板背离所述底座的一侧用于连接所述探针臂,所述探针调节组件还包括:

5.如权利要求4所述的探针调节组件,其特征在于,所述探针调节组件还包括:

6.如权利要求5所述的探针调节组件,其特征在于,所述探针调节组件还包括:

7.如权利要求4所述的探针调节组件,其特征在于,所述第一移动座在邻近所述基座的一侧具有第一凸出部,所述第一凸出部抵接于所述第二导轨;所述第二移动座在邻近所述第一移动座的一侧具有第二凸出部,所述第二凸出部抵接于所述第四导轨;所述转接板在邻近所述底座的一侧具有第三凸出部,所述第三凸出部抵接于所述第六导轨。

8.如权利要求7所述的探针调节组件,其特征在于,所述第一凸出部包括相连的第一部及第二部,所述第一部抵接于所述第二导轨邻近所述第一移动座的一侧,所述第二部抵接于所述第二导轨的周侧面;所述第二凸出部包括相连的第三部及第四部,所述第三部抵接于所述第四导轨邻近所述第二移动座的一侧,所述第四部抵接于所述第四导轨的周侧面;所述第三凸出部包括相连的第五部及第六部,所述第五部抵接于所述第六导轨邻近所述转接板的一侧,所述第六部抵接于所述第六导轨的周侧面。

9.如权利要求5所述的探针调节组件,其特征在于,所述第一移动座在邻近所述第一调节件的一侧具有第一避让槽,所述第一避让槽至少部分收容所述第一固定座及所述第一微分头;所述第二移动座在邻近所述第二调节件的一侧具有第二避让槽,所述第二避让槽至少部分收容所述第二固定座及所述第二微分头;所述转接板在邻近所述第三调节件的一侧具有第三避让槽,所述第三避让槽至少部分收容所述第三固定座及所述第三微分头。

10.一种探针台,其特征在于,所述探针台包括探针、探针臂及如权利要求1~9任意一项所述的探针调节组件,所述探针连接于所述探针臂的一端,所述探针调节组件连接于所述探针臂的另一端,所述探针调节组件用于调节所述探针臂及所述探针的位置。

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【技术特征摘要】

1.一种探针调节组件,其特征在于,所述探针调节组件应用于探针台中,所述探针台包括相连的探针臂及探针,所述探针调节组件通过探针臂连接于探针,所述探针调节组件包括:

2.如权利要求1所述的探针调节组件,其特征在于,所述移动组件包括:

3.如权利要求2所述的探针调节组件,其特征在于,所述探针调节组件还包括:

4.如权利要求3所述的探针调节组件,其特征在于,所述第三移动座包括底座及转接板,所述底座固定连接于所述第二移动座,所述转接板滑动连接于所述底座,且所述转接板背离所述底座的一侧用于连接所述探针臂,所述探针调节组件还包括:

5.如权利要求4所述的探针调节组件,其特征在于,所述探针调节组件还包括:

6.如权利要求5所述的探针调节组件,其特征在于,所述探针调节组件还包括:

7.如权利要求4所述的探针调节组件,其特征在于,所述第一移动座在邻近所述基座的一侧具有第一凸出部,所述第一凸出部抵接于所述第二导轨;所述第二移动座在邻近所述第一移动座的一侧具有第二凸出部,所述第二凸出部抵接于所述第四导轨;所述转接板在邻近所述底座的一侧具有第三凸出部,所述第三凸出部抵接于所述第六导轨。

8.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:欧晓永
申请(专利权)人:深圳市森美协尔科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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