【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体晶体生产设备，尤其涉及一种卧式内圆锯设备。
技术介绍
1、在化合物半导体行业中，砷化镓晶体目前是生产量最大，应用最广泛的材料，因而成为最重要的化合半导体之一。而且，由于其优越的性能和能带结构，使其在微波器件和发光器件等方面具有非常大的发展潜力。
2、随着行业的发展，晶体的尺寸和长度也在不断地扩大，从以往尺寸为4英寸且长度较短的晶体逐渐向6英寸、8英寸以及长度更长的晶体方向发展。因为尺寸和长度的不断增加，单块晶体的重量也在成倍增加，给晶体加工带来了更大的压力，通过人力搬运至加工机床的过程也相对较危险。
3、目前，主要使用内圆锯机床对晶体进行分段切割，现有内圆锯主要部件为圆锯、晶体夹具和各种控制器组成，其中，晶体夹具与控制器是通过连接卡槽固定，每次使用时需要先松开卡槽将晶体夹具从控制器中取下来，再将晶体通过螺钉固定在晶体夹具上，然后再将装入晶体的晶体夹具通过卡槽与控制器连接，才能完成准备工作。并且在设备上控制器位置和圆锯的位置离地面都相对较高，操作人员需要站到约30cm高的台阶上才能将夹具装到控制器上；重量较小的晶体可以在该条件下正常完成，但随着晶体重量增大，该过程不但完成变得困难，危险程度也非常大。
4、因此，亟需设计更加高效安全的内圆锯设备，以减少重量较大的晶体加工过程的压力和搬运过程的危险，提升加工效率，减少安全隐患。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的是提供一种卧式内圆锯设备，以减少重量较大的晶体加工过程的压力和搬运过程
2、为达到上述技术目的，本申请提供了一种卧式内圆锯设备，包括物料台、圆锯机本体、晶体夹持装置以及夹持位移驱动装置；
3、所述物料台上设有用于置放晶体的置放区域；
4、所述夹持位移驱动装置设置在所述物料台的一侧，且与所述晶体夹持装置连接，用于带动所述晶体夹持装置运动至夹持准备位姿，以便于所述晶体夹持装置从所述置放区域上抓取晶体；
5、所述夹持位移驱动装置还用于带动抓取有晶体的晶体夹持装置运动至加工准备位姿；
6、所述圆锯机本体设置在所述夹持位移驱动装置一侧，用于对位于所述加工准备位姿的所述晶体夹持装置上的晶体进行切割。
7、进一步地，所述夹持位移驱动装置包括多轴机械臂；
8、所述多轴机械臂的活动端与所述晶体夹持装置连接。
9、进一步地，所述夹持位移驱动装置还包括第一直线位移装置；
10、所述第一直线位移装置与所述多轴机械臂的固定端连接，用于带动所述多轴机械臂沿第一水平直线方向运动；
11、所述物料台沿垂直于所述第一水平直线方向的第二水平直线方向设置在所述第一直线位移装置的一侧；
12、所述圆锯机本体沿所述第一水平直线方向设置在所述第一直线位移装置的一侧。
13、进一步地，所述第一直线位移装置包括底座以及滑动装置；
14、所述底座上设有沿所述第一水平直线方向设置的滑动轨道；
15、所述滑动装置滑动安装于所述滑动轨道上；
16、所述多轴机械臂安装于所述滑动装置上。
17、进一步地，所述晶体夹持装置包括夹爪组件以及夹持驱动器；
18、所述夹爪组件包括上夹爪与下夹爪；
19、所述上夹爪与所述下夹爪之间形成用于夹持晶体的夹持空间；
20、所述上夹爪与所述下夹爪的夹持面上安装有垫层；
21、所述夹持驱动器与所述上夹爪以及下夹爪连接，用于带动所述上夹爪与所述下夹爪相互靠近或远离运动。
22、进一步地，所述晶体夹持装置上设有第一定位部；
23、所述圆锯机本体上设有与所述第一定位部定位配合的第二定位部。
24、进一步地，所述第一定位部为限位槽；
25、所述第二定位部为可活动穿过所述限位槽并与所述限位槽定位配合的限位杆。
26、进一步地，所述圆锯机本体包括圆锯件、控制电机以及第二直线位移装置；
27、所述控制电机与所述圆锯件连接；
28、所述第二直线位移装置与所述控制电机连接，用于带动所述控制电机升降运动。
29、进一步地，所述第二直线位移装置为液压升降装置。
30、进一步地，所述置放区域上设有定位线。
31、从以上技术方案可以看出，本申请所设计的卧式内圆锯设备，利用夹持位移驱动装置配合晶体夹持装置，能够对物料台上的晶体进行抓取并输送至加工准备位置，以便于圆锯机本体进行切割加工。该设计能够对多种尺寸、长度、重量的晶体进行自动化切割上料与下料，替代了传统的人工操作，从而解决了半导体行业中晶体直径尺寸做大、长度做长使得重量增加带来的加工困难的问题。还解决了加工过程不断拆卸夹具使得加工繁琐带来的工作效率问题，提升整个生产效率。还解决了操作人员往控制器上来回安装夹具带来的劳累问题和安全问题，实现自动机械化生产，同时降低人力成本和安全隐患。
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1.一种卧式内圆锯设备，其特征在于，包括物料台(4)、圆锯机本体(200)、晶体夹持装置(1)以及夹持位移驱动装置(100)；
2.根据权利要求1所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述夹持位移驱动装置(100)包括多轴机械臂(2)；
3.根据权利要求2所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述夹持位移驱动装置(100)还包括第一直线位移装置(3)；
4.根据权利要求3所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述第一直线位移装置(3)包括底座(31)以及滑动装置(32)；
5.根据权利要求1所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述晶体夹持装置(1)包括夹爪组件(11)以及夹持驱动器(12)；
6.根据权利要求1所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述晶体夹持装置(1)上设有第一定位部(13)；
7.根据权利要求6所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述第一定位部(13)为限位槽；
8.根据权利要求1所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述圆锯机本体(200)包括圆锯件(5)、控制电机(6)
9.根据权利要求8所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述第二直线位移装置(7)为液压升降装置。
10.根据权利要求1所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述置放区域上设有定位线(41)。
...【技术特征摘要】
1.一种卧式内圆锯设备，其特征在于，包括物料台(4)、圆锯机本体(200)、晶体夹持装置(1)以及夹持位移驱动装置(100)；
2.根据权利要求1所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述夹持位移驱动装置(100)包括多轴机械臂(2)；
3.根据权利要求2所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述夹持位移驱动装置(100)还包括第一直线位移装置(3)；
4.根据权利要求3所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述第一直线位移装置(3)包括底座(31)以及滑动装置(32)；
5.根据权利要求1所述的一种卧式内圆锯设备，其特征在于，所述晶体夹持装置(1)包括夹爪组件(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨海龙，易明辉，张汪阳，周铁军，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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