一种晶圆轮廓检测仪制造技术

本技术公开了一种晶圆轮廓检测仪，包括工作台，所述工作台的上表面从前到后依次设置有上下料工位、图像采集检测工位及打点标记工位，所述上下料工位包括可移动至图像采集检测工位及打点标记工位下方的活动座，所述活动座的上表面设置有载物台，所述图像采集检测工位包括与工作台上表面固定连接的环形板。该一种晶圆轮廓检测仪，通过驱动机构的设置，实现对载物台移动至各个工位下方，提高了灵活性，且采用环形板的环形光源，保证晶圆中所有晶粒受光均匀，且通过遮光罩的设置，可以降低外界光照对检测的影响，大大提高检测精确度。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶圆检测，尤其涉及一种晶圆轮廓检测仪。

技术介绍

1、晶圆的生产工艺流程：从大的方面来讲，晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤，它又可细分为以下几道主要工序(其中晶棒制造只包括下面的第一道工序，其余的全部属晶片制造，所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序)：晶棒成长--晶棒裁切与检测--外径研磨--切片--圆边--表层研磨--蚀刻--去疵--抛光--清洗--检验--包装，而在以上工艺流程中，针对抛光后的晶圆检测显得尤为重要。

2、晶圆在抛光流程后，需要对其进行外观(厚度、角度、深度等等)的轮廓检测，特别是针对有槽口或者是有缺口的晶圆进行轮廓检测。

3、经检索，公告号为cn217276047u的中国专利公开了一种晶圆测试用的轮廓仪，包括底座，所述底座上表面中心位置固定安装有电动倾斜平台，所述电动倾斜平台的上表面设有载物台，所述底座下表面靠近四角的位置固定有支脚，所述底座上表面靠近后表面的位置固定安装有测量头，所述测量头的内侧设有干涉物镜，所述载物台包括安装板、旋转台、电动伸缩杆、一号滚轮、环形凹槽、橡胶垫、条形凹槽、球形开口槽、滚动钢珠、l形架、圆形通孔、电动马达与二号滚轮。本技术所述的一种晶圆测试用的轮廓仪，通过载物台能旋转晶圆芯片，观察检测晶圆芯片表面不同的位置，且可以限制不同大小晶圆芯片的位置，防止测试过程中晶圆芯片位置发生偏移。但是，该专利是在自然光的情况下进行检测，容易对检测结果造成一定影像，另外，该专利在检测完成后，不能对晶圆具有缺陷的位置进行标记，使得工作人员难以及时准确的发现晶圆缺陷的位置。

技术实现思路

1、本技术目的在于提供一种晶圆轮廓检测仪，以解决
技术介绍
中所提出的技术问题。

2、为实现上述目的，本技术的具体技术方案如下：一种晶圆轮廓检测仪，包括工作台，所述工作台的上表面从前到后依次设置有上下料工位、图像采集检测工位及打点标记工位，所述上下料工位包括可移动至图像采集检测工位及打点标记工位下方的活动座，所述活动座的上表面设置有载物台，所述图像采集检测工位包括与工作台上表面固定连接的环形板，所述环形板的底部设置有多个呈圆周阵列分布的led灯，所述环形板的中心部位上方设置有相机，所述相机通过固定杆与工作台的上表面固定连接，且所述图像采集检测工位的外侧设置有遮光罩，所述打点标记工位包括l型板，所述l型板的侧壁设置有可上下移动的活动板，所述活动板的上表面一侧设置有机械臂，所述机械臂的端部设置有标记笔。

3、优选地，所述工作台的上表面中间部位沿其长度方向设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有用于驱动活动座移动的驱动机构。

4、优选地，所述驱动机构包括安装于凹槽底部内壁的电机，所述电机的轴部连接有丝杆，所述丝杆的两侧设置有与其平行分布的导轨，所述活动座的底部中间部位设置有与丝杆螺纹连接的螺纹块，且所述活动座的底部位于螺纹块的两侧均设置有与导轨滑动连接的滑块。

5、优选地，所述载物台为中空的圆柱形结构，且所述载物台的上表面中间部位设置有圆形的放置槽，所述放置槽的表面设置有多个均匀有序分布的吸气孔，且所述载物台内腔安装有空气压缩泵。

6、优选地，所述环形板的两侧通过延伸板与工作台的上表面固定连接。

7、优选地，所述l型板的水平部位上表面设置有电动推杆，所述电动推杆的活塞杆底部延伸至l型板水平部位的下方并与活动板的上表面固定连接，所述l型板的竖直部位设置有竖直分布的t型槽，所述活动板的侧壁设置有与t型槽上下滑动连接的t型块。

8、本技术的一种晶圆轮廓检测仪具有以下优点：

9、1.该一种晶圆轮廓检测仪，通过驱动机构的设置，实现对载物台移动至各个工位下方，提高了灵活性，且采用环形板的环形光源，保证晶圆中所有晶粒受光均匀，且通过遮光罩的设置，可以降低外界光照对检测的影响，大大提高检测精确度。

10、2.该一种晶圆轮廓检测仪，通过启动电动推杆，便于使得标记笔与晶圆的表面接触，且在机械臂的作用下，便于使得标记笔与晶圆表面的各位置接触，便于对晶圆表面的缺陷处进行标记，从而便于工作人员及时发现晶圆的缺陷处，大大提高了精确性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的上表面从前到后依次设置有上下料工位、图像采集检测工位及打点标记工位；其中，

2.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：所述工作台(1)的上表面中间部位沿其长度方向设置有凹槽(8)，所述凹槽(8)的内部设置有用于驱动活动座(2)移动的驱动机构。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：所述驱动机构包括安装于凹槽(8)底部内壁的电机(12)，所述电机(12)的轴部连接有丝杆(13)，所述丝杆(13)的两侧设置有与其平行分布的导轨(14)，所述活动座(2)的底部中间部位设置有与丝杆(13)螺纹连接的螺纹块(15)，且所述活动座(2)的底部位于螺纹块(15)的两侧均设置有与导轨(14)滑动连接的滑块(16)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：所述载物台(3)为中空的圆柱形结构，且所述载物台(3)的上表面中间部位设置有圆形的放置槽(17)，所述放置槽(17)的表面设置有多个均匀有序分布的吸气孔(18)，且所述载物台(3)内腔安装有空气压缩泵。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：所述环形板(11)的两侧通过延伸板与工作台(1)的上表面固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：所述L型板(5)的水平部位上表面设置有电动推杆(6)，所述电动推杆(6)的活塞杆底部延伸至L型板(5)水平部位的下方并与活动板(7)的上表面固定连接，所述L型板(5)的竖直部位设置有竖直分布的T型槽(20)，所述活动板(7)的侧壁设置有与T型槽(20)上下滑动连接的T型块(21)。

...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的上表面从前到后依次设置有上下料工位、图像采集检测工位及打点标记工位；其中，

2.根据权利要求1所述的一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：所述工作台(1)的上表面中间部位沿其长度方向设置有凹槽(8)，所述凹槽(8)的内部设置有用于驱动活动座(2)移动的驱动机构。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆轮廓检测仪，其特征在于：所述驱动机构包括安装于凹槽(8)底部内壁的电机(12)，所述电机(12)的轴部连接有丝杆(13)，所述丝杆(13)的两侧设置有与其平行分布的导轨(14)，所述活动座(2)的底部中间部位设置有与丝杆(13)螺纹连接的螺纹块(15)，且所述活动座(2)的底部位于螺纹块(15)的两侧均设置有与导轨(14)滑动连接的滑块(16)。

...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海龙，
申请(专利权)人：杭州光研科技有限公司，
类型：新型
国别省市：