【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元件驱动，尤其涉及一种mems致动结构。
技术介绍
1、随着安装摄像头的电子设备的日渐普及，使得用户拍照、摄影更加方便，而为了获取优质的图像，对摄像头防抖产生了更高的要求。其中，传感器位移技术是当下较为流行的一种趋势。传感器位移防抖，是指驱动成像传感器相对于镜头做防抖运动的一种光学防抖技术，通过调整成像传感器与相机的光学镜头之间的位置来感测外部激励（或干扰）并对其做出反应，使得对焦速度更快，防抖效果更佳。
2、在实际应用中通常使用mems传感器位移驱动器完成上述驱动工作，mems传感器位移驱动器是用mems机构来驱动传感器移动从而实现自动对焦及防抖功能。目前，大多采用在mems致动器活动部的脊外侧加导电框架，传感器和导电框架电连接的方式，而这种电连接方式会使mems致动器在同等的体积空间内，脊的数量减小，脊间的梳齿结构的空间小，进而导致mems致动器的驱动力较小，防抖效果欠佳。
技术实现思路
1、鉴于现有技术的上述缺点、不足，本技术提供一种mems致动结构，以解决传统mems致动结构活动部的脊外侧加导电框架导致mems致动器的驱动力较小，防抖效果欠佳的技术问题。
2、为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案包括：
3、本技术提供一种mems致动结构，该mems致动结构包括：固定部、活动部、解耦梁；所述固定部，设在所述活动部的外围，且二者之间具有一定间隙；所述固定部、所述活动部与所述解耦梁一体结构设置，所述解耦梁一端与所述固定部
4、进一步的，固定部包括：外框架，以及设置于外框架内侧的防撞结构一、防撞结构二、防撞结构三和避让槽；外框架，为矩形框架；防撞结构一，数量为4个，设置于外框架内侧靠近解耦梁连接端；防撞结构二和防撞结构三，数量均为4个，设置于外框架侧边框处；其中，防撞结构二用于对活动部上下和左右两方向的限位，防撞结构三用于对活动部的三方向的限位。
5、进一步的，避让槽，设置于外框架内侧，避让槽内设有解耦梁连接端一，解耦梁连接端一与解耦梁的第一端连接并导通。
6、进一步的，活动部还包括：内框架外边框、十字型框架、防撞结构四；内框架外边框，设置在活动部的外侧，十字型框架设置在活动部的中心，内框架外边框与十字型框架共同将活动部分为四个子空间，每个子空间三侧封闭一侧设有开口，且任意相邻两空间开口方向呈90°；
7、进一步的，内框架外边框的一端设有解耦梁连接端二，解耦梁连接端二与解耦梁的第二端连接并导通；内框架外边框靠近解耦梁连接端二处设有防撞结构四，防撞结构四与防撞结构一结构相同，且中心对称。
8、进一步的，阵列结构包括：第一阵列、第二阵列、第三阵列、第四阵列和曲屈梁，第一阵列、第二阵列、第三阵列和第四阵列分别设于内框架外边框与十字型框架共同划分的四个子空间内；其中，每个阵列结构分别包括若干脊a和若干脊b，脊a的一端与十字型框架的桥连接，另一端延伸至内框架外边框且与内框架外边框留有间隙；脊b与内框架外边框连接，另一端延伸至十字型框架的桥且与十字型框架的桥之间留有间隙；阵列结构的任一对角阵列中的脊排列方向相同，且沿x、y轴方向相邻两个阵列中的脊排列方向相互垂直。
9、进一步的，每个阵列内还分别设有两个曲屈梁，设置在内框架外边框与十字型框架的桥之间，每个曲屈梁的一端设置在内框架外边框上，另外一端设置在十字型框架的桥上；其中，曲屈梁为鱼腹型结构，与内框架外边框与十字型框架电连接。
10、进一步的，脊a和脊b分别设有梳齿列，且脊a上的梳齿列与脊b上的梳齿列相互错位交叉，梳齿列能够导电并形成电容，用于提供驱动力；脊a与传感器固定连接，脊a中靠近开口端的最外侧脊a上设有接线点，与传感器电连接。
11、进一步的，每个阵列处分别采用至少一根解耦梁，每个阵列中的解耦梁结构均相同。
12、进一步的，解耦梁采用鱼腹型结构，且至少具有一个v型拐角。
13、本技术的有益效果是：本技术提供的一种mems致动结构，具有以下优点：
14、1、本技术由于脊a直接与传感器固定连接，运动的时候不会乱摆动，因此，可采取相对脊b来说细长的结构，这样可以降低整个驱动器的体积和重量，产生更大的驱动力。
15、2、本技术采用在最外侧脊a上设置接线点与传感器电连接的方式可以使驱动装置在同样的空间内设置更多的脊，使梳齿空间更大，从而使驱动装置产生更大的驱动力，整体提升防抖效果。
16、3、本技术的解耦梁及曲屈梁采用鱼腹型结构，能够在软向k值变化非常微小的情况下，使硬向k值增加非常大，这有益于结构产生更大位移的同时避免梳齿间的静电吸合效应。而且，梁的较宽的鱼腹部分可容纳更宽的导电线，从而降低导电线电阻。此外，鱼腹梁的耐冲击性更强。
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1.一种MEMS致动结构，其特征在于，所述MEMS致动结构包括：固定部（1）、活动部（2）、解耦梁（3）；
2.根据权利要求1所述的一种MEMS致动结构，其特征在于，所述固定部（1）包括：外框架（11），以及设置于所述外框架（11）内侧的防撞结构一（111）、防撞结构二（112）、防撞结构三（113）和避让槽（114）；
3.根据权利要求2所述的一种MEMS致动结构，其特征在于，所述避让槽（114），设置于所述外框架（11）内侧，所述避让槽（114）内设有解耦梁连接端一（1141），所述解耦梁连接端一（1141）与所述解耦梁（3）的第一端连接并导通。
4.根据权利要求1所述的一种MEMS致动结构，其特征在于，所述活动部（2）还包括：内框架外边框（21）、十字型框架（23）、防撞结构四（25）；
5.根据权利要求4所述的一种MEMS致动结构，其特征在于，所述内框架外边框（21）的一端设有解耦梁连接端二（22），所述解耦梁连接端二（22）与所述解耦梁（3）的第二端连接并导通；
6.根据权利要求1所述的一种MEMS致动结构，其
7.根据权利要求6所述的一种MEMS致动结构，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的一种MEMS致动结构，其特征在于，所述脊a和所述脊b分别设有梳齿列，且所述脊a上的梳齿列与所述脊b上的梳齿列相互错位交叉，所述梳齿列能够导电并形成电容，用于提供驱动力；
9.根据权利要求6所述的一种MEMS致动结构，其特征在于，每个所述阵列处分别采用至少一根所述解耦梁（3），每个阵列中的所述解耦梁（3）结构均相同。
10.根据权利要求1所述的一种MEMS致动结构，其特征在于，所述解耦梁（3）采用鱼腹型结构，且至少具有一个V型拐角。
...【技术特征摘要】
1.一种mems致动结构，其特征在于，所述mems致动结构包括：固定部（1）、活动部（2）、解耦梁（3）；
2.根据权利要求1所述的一种mems致动结构，其特征在于，所述固定部（1）包括：外框架（11），以及设置于所述外框架（11）内侧的防撞结构一（111）、防撞结构二（112）、防撞结构三（113）和避让槽（114）；
3.根据权利要求2所述的一种mems致动结构，其特征在于，所述避让槽（114），设置于所述外框架（11）内侧，所述避让槽（114）内设有解耦梁连接端一（1141），所述解耦梁连接端一（1141）与所述解耦梁（3）的第一端连接并导通。
4.根据权利要求1所述的一种mems致动结构，其特征在于，所述活动部（2）还包括：内框架外边框（21）、十字型框架（23）、防撞结构四（25）；
5.根据权利要求4所述的一种mems致动结构，其特征在于，所述内框架外边框（21）的一端设有解耦梁连接端二（22），所述解耦梁连接端二（22）与所述解耦梁（3）的第二端连接并导通；...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔旭东，夏风梁，程子豪，王继文，张建宇，王忠岭，
申请(专利权)人：辽宁中蓝光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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