【技术实现步骤摘要】
本说明书总体上涉及用于在带电粒子设备(cpa)或分析仪的真空室中定位样品以及在包含cpa和分析仪的工具之间转移样品的方法和系统。
技术介绍
1、带电粒子设备(cpa)和x射线光电子光谱(xps)系统可用于对微观物体进行成像、处理和分析。在涉及带电粒子设备的工作流程中，样品可以在多个工具之间转移，用于成像、处理、操纵和/或存储。当样品定位在cpa或xps系统中时，还可对样品进行测试。例如，用于固持样品的样品架可包含用于偏置样品的不同部分的多个电极。需要一种紧凑且多功能的样品定位系统来促进上述操作。
技术实现思路
1、在一个实施例中，一种用于在带电粒子设备(cpa)或x射线光电子光谱(xps)系统的真空室中进行样品定位的系统包括：样品载体，其在样品区域中包含多个电极；以及用于在所述真空室内移动所述样品载体的载物台，其中通过沿着所述载物台的轨道滑动所述样品载体，将所述样品载体可释放地联接到所述载物台，所述载物台可经由所述样品载体和所述载物台之间的多个弹簧接点与所述样品区域中的所述多个电极电连接。
2、在另一实施例中，一种用于在cpa或xps系统的真空室中分析样品的方法包括：将所述样品装载到在样品区域中包含多个电极的样品载体上；通过沿着所述真空室中的载物台的轨道滑动所述样品载体，将所述样品载体联接到所述载物台，所述载物台可经由所述样品载体和所述轨道之间的多个弹簧接点与所述样品区域中的所述多个电极电连接；以及通过经由所述载物台发送电信号，电偏置所述多个电极中的一个或多个。
...【技术保护点】
1.一种用于在带电粒子设备(CPA)或X射线光电子光谱(XPS)系统的真空室中进行样品定位的系统，包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品载体包含样品架和穿梭器，并且所述样品架可释放地联接到所述穿梭器。
3.根据权利要求2所述的系统，其中所述样品架进一步包含电接触垫，所述电接触垫具有与所述样品区域中的所述多个电极电连接的多个电极，并且所述穿梭器包含顶端，所述顶端具有在所述样品架与所述穿梭器联接时与所述电接触垫直接接触的多个弹簧接点。
4.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品载体进一步包含插座，用于接收将所述样品转移到密封的样品转移装置中的转移杆。
5.根据权利要求4所述的系统，其中所述密封的样品转移装置在CPA、XPS系统和手套箱中的一个或多个之间转移所述样品载体。
6.根据权利要求5所述的系统，其中所述样品在所述样品转移装置中在CPA、XPS系统和手套箱中的一个或多个之间在真空或惰性气体下转移。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中所述轨道包含至少一侧壁，其与所述轨道的底部成锐角。p>
8.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中当所述样品载体联接到所述载物台时，所述轨道的至少一侧壁使所述样品载体抵靠所述轨道。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中所述轨道是燕尾槽。
10.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中所述多个弹簧接点定位在所述样品载体的底端和所述轨道的底部之间。
11.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中所述载物台进一步经由电缆电连接到所述CPA或XPS外部的连接器。
12.一种用于将样品转移出带电粒子设备(CPA)或X射线光电子光谱(XPS)系统的真空室的方法，包括：
13.根据权利要求12所述的方法，进一步包括在从所述CPA或XPS系统拆卸所述样品转移装置之前，将所述样品转移装置气密密封。
14.根据权利要求13所述的方法，进一步包括在将所述样品转移装置气密密封之后，用惰性气体填充所述样品转移装置。
15.根据权利要求12至14中任一项所述的方法，进一步包括当在所述真空室中对所述一个或多个样品进行成像或处理时，电偏置所述样品区域中的所述多个电极中的一个或多个。
16.根据权利要求12至14中任一项所述的方法，其中所述样品区域中的所述多个电极与所述样品载体的底表面处的电衬垫电连接，并且电连接所述样品区域中的所述多个电极和所述载物台包含使所述电衬垫与所述样品载体和所述轨道之间的所述多个弹簧接点直接接触。
17.一种用于在带电粒子设备(CPA)或X射线光电子光谱(XPS)系统的真空室中分析样品的方法，包括：
18.根据权利要求17所述的方法，进一步包括当电偏置所述多个电极中的一个或多个时，对所述样品进行成像、分析或处理。
19.根据权利要求17所述的方法，其中所述电信号从所述真空室外部的连接器发送，并且所述方法进一步包括经由所述连接器从所述样品接收电信号。
20.根据权利要求17至19中任一项所述的方法，其中所述样品在手套箱中装载到所述样品载体上，并且所述方法进一步包括使用样品转移装置将所述样品载体从所述手套箱转移到所述真空室。
21.根据权利要求20所述的方法，进一步包括在从所述手套箱移除所述样品转移装置之前，用惰性气体填充所述样品转移装置。
...【技术特征摘要】
1.一种用于在带电粒子设备(cpa)或x射线光电子光谱(xps)系统的真空室中进行样品定位的系统，包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品载体包含样品架和穿梭器，并且所述样品架可释放地联接到所述穿梭器。
3.根据权利要求2所述的系统，其中所述样品架进一步包含电接触垫，所述电接触垫具有与所述样品区域中的所述多个电极电连接的多个电极，并且所述穿梭器包含顶端，所述顶端具有在所述样品架与所述穿梭器联接时与所述电接触垫直接接触的多个弹簧接点。
4.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品载体进一步包含插座，用于接收将所述样品转移到密封的样品转移装置中的转移杆。
5.根据权利要求4所述的系统，其中所述密封的样品转移装置在cpa、xps系统和手套箱中的一个或多个之间转移所述样品载体。
6.根据权利要求5所述的系统，其中所述样品在所述样品转移装置中在cpa、xps系统和手套箱中的一个或多个之间在真空或惰性气体下转移。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中所述轨道包含至少一侧壁，其与所述轨道的底部成锐角。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中当所述样品载体联接到所述载物台时，所述轨道的至少一侧壁使所述样品载体抵靠所述轨道。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中所述轨道是燕尾槽。
10.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中所述多个弹簧接点定位在所述样品载体的底端和所述轨道的底部之间。
11.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中所述载物台进一步经由电缆电连接到所述cpa或xps外部的连接器。
12.一种用于将样...
【专利技术属性】
技术研发人员：L·诺瓦克，J·拉斯科，K·K·尼利塞蒂，V·哈默罗娃，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。