【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种显影液采集装置。
技术介绍
1、在显影工艺中，是在光刻完成后的晶圆上涂覆显影液，显影液的供应量与浓度关系着显影过程的显影效果，若显影液的供应量、浓度出现问题，那么就会出现批量的显影问题，导致晶圆的生产良品率低，成本增加，因此需要对显影液的供应量、浓度进行检查。
2、现有技术的检查手段为工作人员使用收集装置对显影液喷嘴喷出的显影液进行收集，再将收集装置从显影设备中移出倒入收集杯中进行检测，在对收集装置移动时容易有显影液溅落在设备上或操作人员身体上，对设备和操作人员都有较大的危害，操作不便。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在显影液收集时容易有显影液溅落在设备上或操作人员身体上，对设备和操作人员都有较大的危害，操作不便的缺点，而提出的一种显影液采集装置。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种显影液采集装置，包括收集槽，所述收集槽设置在防溅罩一侧，所述收集槽与显影液喷嘴喷出面尺寸相适应；
4、所述收集槽内设有倾斜底面，倾斜底面较低一侧贯通收集槽侧壁设有排液口；
5、优选的，所述倾斜底面与收集槽底面之间的倾斜角为1～5°。
6、优选的，所述收集槽呈条形，其长度为10～15mm。
7、优选的，所述收集槽内壁上覆盖有疏水层。
8、优选的，所述排液口内设有排液阀。
9、优选的，所述收集槽侧壁上设有用于清洗残留显影液
10、更优选的，所述清洗机构包括清洗槽、清洗喷头与进液管，其中清洗槽开设在收集槽内侧壁上部，进液管设置在收集槽外侧，清洗喷头与进液管贯通连接并均匀分布在清洗槽内。
11、再更优选的，所述清洗槽下边沿设有斜边。
12、再更优选的，所述收集槽外侧对应进液管开设有嵌装槽，所述进液管安装在嵌装槽内。
13、一种显影液采集装置，其特征在于，包括收集槽，所述收集槽设置在防溅罩一侧，所述收集槽与显影液喷嘴喷出面尺寸相适应；
14、所述收集槽内底壁呈漏斗状，内底壁最低处设有贯通收集槽底壁的出液口。
15、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
16、1、本技术中，通过收集槽对显影液进行接收并经过排液口进行显影液的收集，有效的方便了显影液的取样，并避免了显影液收集时显影液滴落在设备上导致设备腐蚀，保证显影液的收集效果。
17、2、本技术中，通过清洗机构的设计，避免收集槽中有显影液的残留，保证显影液取样检测的可靠性，也提高收集槽的使用效果。
18、本技术设计合理，结构简洁，有效的方便了涂胶显影机中显影液的取样，使显影液取样时不会滴落，保证显影液取样的稳定性，方便显影液的取样检测。
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1.一种显影液采集装置，其特征在于，包括收集槽(3)，所述收集槽(3)设置在防溅罩(1)一侧，所述收集槽(3)与显影液喷嘴(2)喷出面尺寸相适应；
2.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述倾斜底面(31)与收集槽(3)底面之间的倾斜角(311)为1～5°。
3.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述收集槽(3)呈条形，其长度为10～15mm。
4.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述收集槽(3)内壁上覆盖有疏水层。
5.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述排液口(32)内设有排液阀。
6.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述收集槽(3)侧壁上设有用于清洗残留显影液的清洗机构(4)。
7.根据权利要求6所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述清洗机构(4)包括清洗槽(41)、清洗喷头(412)与进液管(42)，其中清洗槽(41)开设在收集槽(3)内侧壁上部，进液管(42)设置在收集槽(3)外侧，清洗喷头(412)
8.根据权利要求7所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述清洗槽(41)下边沿设有斜边(411)。
9.根据权利要求7所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述收集槽(3)外侧对应进液管(42)开设有嵌装槽(421)，所述进液管(42)安装在嵌装槽(421)内。
10.一种显影液采集装置，其特征在于，包括收集槽(3)，所述收集槽(3)设置在防溅罩(1)一侧，所述收集槽(3)与显影液喷嘴(2)喷出面尺寸相适应；
...【技术特征摘要】
1.一种显影液采集装置，其特征在于，包括收集槽(3)，所述收集槽(3)设置在防溅罩(1)一侧，所述收集槽(3)与显影液喷嘴(2)喷出面尺寸相适应；
2.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述倾斜底面(31)与收集槽(3)底面之间的倾斜角(311)为1～5°。
3.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述收集槽(3)呈条形，其长度为10～15mm。
4.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述收集槽(3)内壁上覆盖有疏水层。
5.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述排液口(32)内设有排液阀。
6.根据权利要求1所述的一种显影液采集装置，其特征在于，所述收集槽(3)侧壁上设有用于清洗残留显影液的清洗机构(4)。
【专利技术属性】
技术研发人员：张新，王通，刘安全，程博，
申请(专利权)人：合肥开悦半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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