【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻与图像识别，具体为一种高精度光刻曝光系统及图像识别装置。
技术介绍
1、光刻曝光是指利用照明光源发出曝光光线，光线通过掩膜板实体部分的遮挡和贯穿部分的透过，使透过部分的光线经过光学系统的透镜聚焦后，投影到基板顶部的光刻胶上，实现图形转移，是集成电路制造中光刻工艺的重要工序，但是现有的光刻曝光系统在对基板进行曝光处理时，不便于识别基板上的曝光投影图像是否完成或尺寸是否为所需尺寸，降低了光刻曝光的精度。
2、现有的高精度光刻曝光系统及图像识别装置存在的缺陷是：
3、1、申请文件wo2013026361a1中主要考虑的是如何将工作台和掩膜台同步移动至对应位置进行曝光操作，但是没有考虑到如何对曝光投影图像进行图像识别的问题；
4、2、专利文件jp2003264147a中主要考虑的是如何防止由台架的运动引起的反射力传播到投影透镜或光刻设备的其他部分的问题，没有考虑到放置不同尺寸规格的掩膜板、透镜和基板的问题；
5、3、专利文件cn216622958u中实现的是光刻机的半自动化操作，没有考虑到人工拉出人推入承片台降低了工作效率的问题；
6、4、专利文件cn110554571b中主要考虑的是结构简单和成本低廉的光刻设备和曝光系统，没有考虑到便于调节透镜位置的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种高精度光刻曝光系统及图像识别装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术
3、所述安装台的顶部安装有支架，所述支架的内壁安装有横板，所述横板的顶部安装有工业相机，所述横板的底部安装有紫外成像摄像头，且紫外成像摄像头和工业相机与图像识别模块电性连接；
4、所述支架的内壁安装有电动推杆一，且电动推杆一位于横板的下方，所述电动推杆一的输出端连接有承载模块，所述安装台的顶部嵌入安装有电动推杆二，且电动推杆二位于支架的后方，电动推杆二的输出端与承载模块的底部固定连接。
5、优选的，所述承载模块包括u形框，u形框的两侧贯穿连接有连杆，连杆相互靠近的一端连接有放置架一，放置架一的两侧贯穿安装有调节板，调节板的顶部安装有限位板一，且限位板一位于放置架一的内侧，调节板的顶部贯穿安装有限位板二，且限位板二的外壁与限位板一的外壁滑动连接，调节板的底部安装有支撑框，且支撑框位于放置架一的内侧，支撑框的内壁安装有电动推杆三，且电动推杆三的输出端与限位板二的正面固定连接，调节板的顶部安装有导向架，且导向架位于放置架一的外侧，导向架的顶部滑动连接有滑动柱，且滑动柱的底部嵌入连接于调节板的顶部，放置架一的外壁转动连接有电动推杆四，电动推杆四的输出端连接有凸块，且凸块套设于滑动柱的外壁。
6、优选的，所述承载模块和放置架一的安装组数为两组，且上方一组承载模块贯穿支架的背面，并与支架固定连接，上方一组放置架一用于放置掩膜板，下方一组承载模块位于横板的下方，下方一组放置架一用于放置基板。
7、优选的，所述u形框的两侧贯穿安装有转动杆，且转动杆位于连杆的前后两侧，转动杆的外壁套设有传动轮，且传动轮位于u形框内部，传动轮的外壁套设有传动带，且传动带的底壁与连接杆的底部固定连接，转动杆的外壁套设有蜗轮，且蜗轮对称分布在u形框的两侧，安装台的顶部安装有伺服电机，伺服电机的输出端连接有蜗杆，且蜗杆与蜗轮啮合。
8、优选的，所述安装台的顶部安装有电动推杆五，且电动推杆二位于支架的后方，电动推杆五的输出端安装有长杆，长杆相互靠近的表面连接有放置架二，且放置架二位于两组放置架一之间，放置架二用于放置透镜。
9、优选的，所述安装台的顶部设置有安装架，且安装架位于支架的后方，并且安装架位于电动推杆二的前方，上方一组承载模块的内壁与安装架背面固定连接，下方一组承载模块的内壁与安装架的背面滑动连接。
10、优选的，所述安装架的底端安装有曝光光源，且曝光光源位于放置架一的上方。
11、一种图像识别装置，所述图像识别模块包括设置于安装台顶部的图像识别器，且图像识别器位于支架的右侧，图像识别器的正面嵌入设置有显示屏，图像识别器的内部设置有无线信号收发器、光学滤波器和图像采集卡，且图像采集卡与显示屏和光学滤波器电性连接，且光学滤波器与无线信号收发器电性连接，且无线信号收发器与电动推杆一和电动推杆二电性连接。
12、一种高精度光刻曝光系统及图像识别装置的使用方法，该高精度光刻曝光系统及图像识别装置的使用方法如下：
13、s1、准备掩膜板、透镜和基板，将透镜放置于放置架二内部，将掩膜板放置于上方一组放置架一内部，将基板放置于下方一组放置架一内部；
14、s2、通过传动带和长杆带动放置架一向后移动，经过横板上方移动至曝光光源下方；
15、s3、工业相机采集掩膜板底部包括曝光图像形状的图像信息，并传输至图像识别器中处理和保存；
16、s4、曝光光源发射曝光光线，经过掩膜板和透镜后，在基板顶部形成曝光图像，紫外成像摄像头采集曝光图像，并传输至图像识别器进行处理、对比和储存，判断曝光图像形状是否完整和比例是否正确；
17、s5、根据对比结果调整下方放置架一和放置架二的位置，进而调整基板和透镜的位置，获取完整和正确的曝光图像形状。
18、优选的，在所述步骤s1中，还包括如下步骤：
19、s11、将放置架一移动至支架前方，并根据掩膜板和基板的尺寸调整调节板、限位板一和限位板二的位置。
20、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
21、1、本专利技术通过安装有工业相机、紫外成像摄像机和图像识别器，用于采集掩膜图像并提取曝光投影用轮廓图像形状，采集基板顶部曝光投影图形图像，并进行处理，提取曝光投影成型的图像形状，将两组图像形状进行对比，判断轮廓形状是否相同，或基板顶部的曝光投影成型图形是否为所需的等比放大或缩小的图形尺寸，实现对投影曝光图形进行图像识别的目的，并通过电动推杆一和电动推杆二调节基板一的位置，使能够在基板上获取清晰准确的曝光投影图形，提高光刻曝光投影系统的精度和准确性。
22、2、本专利技术通过安装有承载模块、u形框和放置架一，根据研磨掩膜板和基板的尺寸，驱动电动推杆四启动，电动推杆四伸长，通过滑动柱带动调节板向外侧移动，使两组调节板顶部限位板一之间的距离增大，反之限位板一之间的距离减小，电动推杆五伸长，推动限位板二向后移动，反之限位板二后移，实现调整放置空间，用于放置不同尺寸规格的掩膜板、基板和透镜。
23、3、本专利技术通过安装有连杆、传动带和转动杆，通过伺服电机转动，带动蜗杆转动，通过蜗杆与蜗轮之间的啮合传动，进而带动传动杆转动，转动杆带动传动轮转动，传动轮带动传动带运动，进而通过连杆带动本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高精度光刻曝光系统，其特征在于，包括安装台、图像识别模块和承载模块，所述承载模块用于放置基板、透镜和掩膜板，所述图像识别模块用于检测投影曝光图像是否正确；
2.根据权利要求1所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述承载模块包括U形框(7)，U形框(7)的两侧贯穿连接有连杆(15)，连杆(15)相互靠近的一端连接有放置架一(14)，放置架一(14)的两侧贯穿安装有调节板(16)，调节板(16)的顶部安装有限位板一(17)，且限位板一(17)位于放置架一(14)的内侧，调节板(16)的顶部贯穿安装有限位板二(18)，且限位板二(18)的外壁与限位板一(17)的外壁滑动连接，调节板(16)的底部安装有支撑框(19)，且支撑框(19)位于放置架一(14)的内侧，支撑框(19)的内壁安装有电动推杆三(20)，且电动推杆三(20)的输出端与限位板二(18)的正面固定连接，调节板(16)的顶部安装有导向架(21)，且导向架(21)位于放置架一(14)的外侧，导向架(21)的顶部滑动连接有滑动柱(23)，且滑动柱(23)的底部嵌入连接于调节板(16)的顶部，放置架一(1
3.根据权利要求2所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述承载模块和放置架一(14)的安装组数为两组，且上方一组承载模块贯穿支架(2)的背面，并与支架(2)固定连接，上方一组放置架一(14)用于放置掩膜板，下方一组承载模块位于横板(3)的下方，下方一组放置架一(14)用于放置基板。
4.根据权利要求2所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述U形框(7)的两侧贯穿安装有转动杆(24)，且转动杆(24)位于连杆(15)的前后两侧，转动杆(24)的外壁套设有传动轮(25)，且传动轮(25)位于U形框(7)内部，传动轮(25)的外壁套设有传动带(26)，且传动带(26)的底壁与连接杆的底部固定连接，转动杆(24)的外壁套设有蜗轮(27)，且蜗轮(27)对称分布在U形框(7)的两侧，安装台(1)的顶部安装有伺服电机(29)，伺服电机(29)的输出端连接有蜗杆(28)，且蜗杆(28)与蜗轮(27)啮合。
5.根据权利要求1所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述安装台(1)的顶部安装有电动推杆五(33)，且电动推杆二(13)位于支架(2)的后方，电动推杆五(33)的输出端安装有长杆(32)，长杆(32)相互靠近的表面连接有放置架二(34)，且放置架二(34)位于两组放置架一(14)之间，放置架二(34)用于放置透镜。
6.根据权利要求1所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述安装台(1)的顶部设置有安装架(30)，且安装架(30)位于支架(2)的后方，并且安装架(30)位于电动推杆二(13)的前方，上方一组承载模块的内壁与安装架(30)背面固定连接，下方一组承载模块的内壁与安装架(30)的背面滑动连接。
7.根据权利要求1所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述安装架(30)的底端安装有曝光光源(31)，且曝光光源(31)位于放置架一(14)的上方。
8.一种图像识别装置，适用于权利要求1所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述图像识别模块包括设置于安装台(1)顶部的图像识别器(8)，且图像识别器(8)位于支架(2)的右侧，图像识别器(8)的正面嵌入设置有显示屏(9)，图像识别器(8)的内部设置有无线信号收发器(10)、光学滤波器(11)和图像采集卡(12)，且图像采集卡(12)与显示屏(9)和光学滤波器(11)电性连接，且光学滤波器(11)与无线信号收发器(10)电性连接，且无线信号收发器(10)与电动推杆一(6)和电动推杆二(13)电性连接。
9.一种高精度光刻曝光系统及图像识别装置的使用方法，适用于权利要求1-8任意一项所述的一种高精度光刻曝光系统及图像识别装置，其特征在于，该高精度光刻曝光系统及图像识别装置的使用方法如下：
10.根据权利要求9所述的一种高精度光刻曝光系统及图像识别装置的使用方法，其特征在于，在所述步骤S1中，还包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种高精度光刻曝光系统，其特征在于，包括安装台、图像识别模块和承载模块，所述承载模块用于放置基板、透镜和掩膜板，所述图像识别模块用于检测投影曝光图像是否正确；
2.根据权利要求1所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述承载模块包括u形框(7)，u形框(7)的两侧贯穿连接有连杆(15)，连杆(15)相互靠近的一端连接有放置架一(14)，放置架一(14)的两侧贯穿安装有调节板(16)，调节板(16)的顶部安装有限位板一(17)，且限位板一(17)位于放置架一(14)的内侧，调节板(16)的顶部贯穿安装有限位板二(18)，且限位板二(18)的外壁与限位板一(17)的外壁滑动连接，调节板(16)的底部安装有支撑框(19)，且支撑框(19)位于放置架一(14)的内侧，支撑框(19)的内壁安装有电动推杆三(20)，且电动推杆三(20)的输出端与限位板二(18)的正面固定连接，调节板(16)的顶部安装有导向架(21)，且导向架(21)位于放置架一(14)的外侧，导向架(21)的顶部滑动连接有滑动柱(23)，且滑动柱(23)的底部嵌入连接于调节板(16)的顶部，放置架一(14)的外壁转动连接有电动推杆四(22)，电动推杆四(22)的输出端连接有凸块，且凸块套设于滑动柱(23)的外壁。
3.根据权利要求2所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述承载模块和放置架一(14)的安装组数为两组，且上方一组承载模块贯穿支架(2)的背面，并与支架(2)固定连接，上方一组放置架一(14)用于放置掩膜板，下方一组承载模块位于横板(3)的下方，下方一组放置架一(14)用于放置基板。
4.根据权利要求2所述的一种高精度光刻曝光系统，其特征在于：所述u形框(7)的两侧贯穿安装有转动杆(24)，且转动杆(24)位于连杆(15)的前后两侧，转动杆(24)的外壁套设有传动轮(25)，且传动轮(25)位于u形框(7)内部，传动轮(25)的外壁套设有传动带(26)，且传动带(26)的底壁与连接杆的底部固定连接，转动杆(24)的外壁套设有蜗轮(27)，且蜗轮(27)对称分布在u形...
【专利技术属性】
技术研发人员：周珅冬，周明，顾理建，
申请(专利权)人：江苏明芯微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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