一种高效率的退火炉制造技术

技术编号:42063639 阅读:16 留言:0更新日期:2024-07-19 16:48
本申请公开了一种高效率的退火炉,属于硅芯退火加工技术领域,该高效率的退火炉,包括退火炉炉膛、两个台车和一个电源柜,所述退火炉炉膛内部的顶壁和中位分别安装有第一加热设备和第二加热设备,所述退火炉炉膛内部的两侧形成两个腔室,所述退火炉炉膛外部的左右两侧均开设有多个硅芯进出口。在退火炉炉膛外部的两侧开设多个硅芯进出方孔,将硅芯叠放在退火炉炉膛两侧的台车上,使得多根硅芯从两侧的硅芯进出方孔处插入退火炉炉膛内,由此仅对硅芯的1000毫米处进行退火,节省了退火炉炉膛内大部分空间,使得里面的热量分散均匀,不易在硅芯表面产生彩色物质,且一次可对两车硅芯进行退火,提高了退火炉的退火效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于硅芯退火加工,尤其涉及一种高效率的退火炉


技术介绍

1、退火工序是硅芯切割过程重要的一道工序,通过此工序能够消除氧并且高温烧掉方硅芯表面的污染物。

2、现在的退火炉在使用过程中,预先将多根硅芯摆在两个台车上,将台车推入退火炉内进行退火,但是,退火炉使用时,存在有以下缺点:

3、1、两个台车上的硅芯轮流进入退火炉炉体内,分别对硅芯退火,使得每次退火的硅芯数量有限,未退火硅芯积压较多;

4、2、硅芯台车将硅芯完全牵引进入退火炉炉体内进行高温退火,将所有的硅芯进行高温退火,退火的硅芯表面积更大,消耗的退火时长更长;

5、3、硅芯台车将硅芯完全牵引进入退火炉炉体内进行高温退火,由于高温退火时,硅芯整体进入炉内,使得退火的温度较高需要达到750°-800°之间,使能耗较高;

6、4、硅芯车完全进入退火炉膛内,使得炉膛内空间变小,在高温退火时,空间较小导致炉膛内热气流分散不均匀,硅芯表面温度不均匀,在硅芯表面形成彩色物质,影响硅芯的质量。


技术实现思路

1、本申请的目的在于:为了解决上述所提出的相关问题,而提出的一种高效率的退火炉。

2、为了实现上述目的,本申请采用了如下技术方案:

3、一种高效率的退火炉,包括退火炉炉膛、两个台车和一个电源柜,所述退火炉炉膛内部的顶壁和中位分别安装有第一加热设备和第二加热设备,所述退火炉炉膛内部的两侧形成两个腔室,所述退火炉炉膛外部的左右两侧均开设有多个硅芯进出口,两个所述台车分别位于退火炉炉膛外部的两侧,且二者共线,两个台车均可朝向或背离退火炉炉膛运动,两个台车的上方均放置有多根硅芯,其分别与多个硅芯进出口的位置一一对应,所述电源柜位于退火炉炉膛一旁,电源柜通过线缆对第一加热设备和第二加热设备供电。

4、作为上述技术方案的进一步描述:

5、所述退火炉炉膛上方的两侧均安装有风机,所述电源柜通过线缆对两个风机进行供电。

6、作为上述技术方案的进一步描述:

7、所述退火炉炉膛外部的四角处均安装有电线盒,所述线缆分别位于四个电线盒的内部。

8、作为上述技术方案的进一步描述:

9、所述退火炉炉膛内部的中位安装有隔离墙,所述第二加热设备安装于隔离墙外部的两侧。

10、作为上述技术方案的进一步描述:

11、所述退火炉炉膛的下方安装有两个平行放置的轨道,两个所述台车下方的两侧均安装有多个车轮,多个所述车轮分别沿着两个轨道滚动。

12、作为上述技术方案的进一步描述:

13、两个所述台车的上方均安装有台车炉衬砌体,多根所述硅芯位于台车炉衬砌体的上方,且上下有多层,每层硅芯之间均由退火横梁隔开,多个所述硅芯进出口呈矩形阵列。

14、综上所述,由于采用了上述技术方案,本申请的有益效果是:

15、1、本申请中,在退火炉炉膛外部的两侧开设多个硅芯进出方孔,将硅芯叠放在退火炉炉膛两侧的台车上,使得多根硅芯从两侧的硅芯进出方孔处插入退火炉炉膛内,由此仅对硅芯的1000毫米处进行退火,节省了退火炉炉膛内大部分空间,使得里面的热量分散均匀,不易在硅芯表面产生彩色物质,且一次可对两车硅芯进行退火,提高了退火炉的退火效率。

16、其中,由于只是对硅芯头部1000毫米处退火,整体进入炉膛内的硅芯数量少,需要高温加热的硅芯长度减短,可以缩短硅芯的加热时间,且所需的高温热量相对减少,能耗降低。

17、2、本申请中,退火炉炉膛内部的中位安装有隔离墙,隔离墙上安装有加热设备,且退火炉炉膛的顶壁也安装有加热设备,可对退火炉炉膛内部的两侧进行均匀加热,使两车硅芯独立封闭加热,从而缩短加热退火的时间,提高效率,且通过将退火炉改造成此种结构,使得退火炉的整体可减小,降低设备生产的成本。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高效率的退火炉,其特征在于:包括退火炉炉膛(1)、两个台车(3)和一个电源柜(7),所述退火炉炉膛(1)内部的顶壁和中位分别安装有第一加热设备(12)和第二加热设备(14),所述退火炉炉膛(1)内部的两侧形成两个腔室,所述退火炉炉膛(1)外部的左右两侧均开设有多个硅芯进出口(11),两个所述台车(3)分别位于退火炉炉膛(1)外部的两侧,且二者共线,两个台车(3)均可朝向或背离退火炉炉膛(1)运动,两个台车(3)的上方均放置有多根硅芯(6),其分别与多个硅芯进出口(11)的位置一一对应,所述电源柜(7)位于退火炉炉膛(1)一旁,电源柜(7)通过线缆对第一加热设备(12)和第二加热设备(14)供电。

2.根据权利要求1所述的一种高效率的退火炉,其特征在于:所述退火炉炉膛(1)上方的两侧均安装有风机(8),所述电源柜(7)通过线缆对两个风机(8)进行供电。

3.根据权利要求2所述的一种高效率的退火炉,其特征在于:所述退火炉炉膛(1)外部的四角处均安装有电线盒(9),所述线缆分别位于四个电线盒(9)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种高效率的退火炉,其特征在于:所述退火炉炉膛(1)内部的中位安装有隔离墙(13),所述第二加热设备(14)安装于隔离墙(13)外部的两侧。

5.根据权利要求1所述的一种高效率的退火炉,其特征在于:所述退火炉炉膛(1)的下方安装有两个平行放置的轨道(2),两个所述台车(3)下方的两侧均安装有多个车轮(10),多个所述车轮(10)分别沿着两个轨道(2)滚动。

6.根据权利要求1所述的一种高效率的退火炉,其特征在于:两个所述台车(3)的上方均安装有台车炉衬砌体(4),多根所述硅芯(6)位于台车炉衬砌体(4)的上方,且上下有多层,每层硅芯(6)之间均由退火横梁(5)隔开,多个所述硅芯进出口(11)呈矩形阵列。

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【技术特征摘要】

1.一种高效率的退火炉,其特征在于:包括退火炉炉膛(1)、两个台车(3)和一个电源柜(7),所述退火炉炉膛(1)内部的顶壁和中位分别安装有第一加热设备(12)和第二加热设备(14),所述退火炉炉膛(1)内部的两侧形成两个腔室,所述退火炉炉膛(1)外部的左右两侧均开设有多个硅芯进出口(11),两个所述台车(3)分别位于退火炉炉膛(1)外部的两侧,且二者共线,两个台车(3)均可朝向或背离退火炉炉膛(1)运动,两个台车(3)的上方均放置有多根硅芯(6),其分别与多个硅芯进出口(11)的位置一一对应,所述电源柜(7)位于退火炉炉膛(1)一旁,电源柜(7)通过线缆对第一加热设备(12)和第二加热设备(14)供电。

2.根据权利要求1所述的一种高效率的退火炉,其特征在于:所述退火炉炉膛(1)上方的两侧均安装有风机(8),所述电源柜(7)通过线缆对两个风机(8)进行供电。

3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:李帅刘小明雍定利吴海啸汪万贵覃荣化邢瑞栋
申请(专利权)人:宁夏和光新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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