【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，具体来说，涉及一种过滤器用预处理回收箱。
技术介绍
1、半导体制造过程中需要使用多种化学品，其中溶剂是不可或缺的一部分，半导体制造过程中需要使用各种高纯度的溶剂来清洗、腐蚀和刻蚀半导体器件，在溶剂的使用过程中，为了提高溶剂的利用率，通常会对溶剂回收进行二次利用，但是溶剂具有时效性，失去效果的溶剂通过需要过滤器对其进行过滤，再通过冷却分离，得到有价值的有机溶剂，进行再次利用。
2、但是现有的过滤器在使用过程中，由于没有提前在回收箱内对回收的溶剂进行过滤，溶剂中存在有大量杂质，容易堵塞过滤器，减少过滤器使用时间，以及回收箱内的溶剂容易残留在底端，不能完全回收或排出。
技术实现思路
1、针对相关技术中的问题，本技术提出一种过滤器用预处理回收箱，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。
2、为此，本技术采用的具体技术方案如下：
3、一种过滤器用预处理回收箱，包括回收箱本体，回收箱本体顶端设有进液管，回收箱本体底端设有排液管，排液管与过滤器本体相连接，回收箱本体内部设有筛板，筛板上设有振动机构，筛板下方设有隔板，隔板上设有预过滤机构。
4、进一步的，为了能够提前对回收溶剂内部杂质进行过滤，预过滤机构包括设于隔板上的隔层滤网，隔板两侧设有滑块，回收箱本体内部设有滑槽，滑块与滑槽相匹配，滑块一端设有第一开口，第一开口内部设有第一弹簧，第一弹簧两端与卡块相连接，回收箱本体内壁上设有卡槽，卡块与卡槽相匹配。
5、进一步
6、进一步的，振动机构包括设于筛板下方的第二弹簧，第二弹簧与固定板相连接，固定板与回收箱本体相连接，筛板两侧设有连接块，回收箱本体内壁上设有凹槽，连接块置于凹槽内部，一个连接块一侧连接有移动块，回收箱本体上设有第三开口，移动块穿过第三开口置于回收箱本体外侧，移动块外侧设有驱动机构。
7、进一步的，驱动机构包括设于移动块外侧的转轴，转轴一端与固定桩相连接，固定桩与回收箱本体相连接，转轴另一端与旋转电机相连接，旋转电机底端与安装板固定连接，安装板与回收箱本体相连接，转轴上设有转板。
8、进一步的，为了能够对回收箱内的溶剂的入箱时间进行测量，保证溶剂的时效性，回收箱本体内部底端设有压力传感器，压力传感器与控制器电性连接，控制器设于回收箱本体一侧，控制器与定时器电性连接，定时器设于控制器上，排液管上设有电磁阀，电磁阀与控制器电性连接。
9、进一步的，回收箱本体一侧设有回流管，回流管与水泵相连接，水泵与控制器电性连接，水泵与连接管相连接，连接管与供应箱相连接。
10、进一步的，为了能够对回收箱内的溶剂的液位机芯测量，回收箱本体内部设有液位传感器，液位传感器与控制器相连接，回收箱本体底端设有支柱。
11、本技术的有益效果为：
12、(1)、通过设置预过滤机构，方便通过隔层滤网对溶剂中的微型杂质进行过滤，延长过滤器的使用寿命，以及通过在隔板两侧设置滑块，方便对隔板进行拆卸，方便对隔板进行更换，通过在滑块上设置卡块，使隔板与回收箱本体连接的更加紧密，并且通过设置第一弹簧和拉杆，方便将卡块与卡槽分离，方便对隔板进行拆卸。
13、(2)、通过设置筛板，方便对溶剂中的大型杂质进行过滤，方便溶剂通过回流管进入供应箱对溶剂进行二次利用，防止溶剂中的大型杂质对溶剂的使用造成影响，以及通过设置驱动机构和振动机构，方便通过启动旋转电机带动转板进行转动，通过转板撞击移动块带动第二弹簧进行上下移动，带动筛板进行上下移动，方便对加快溶剂通过筛板的速度，防止筛板被堵塞。
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1.一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，包括回收箱本体(1)，所述回收箱本体(1)顶端设有进液管(2)，所述回收箱本体(1)底端设有排液管(3)，所述排液管(3)与过滤器本体(4)相连接，所述回收箱本体(1)内部设有筛板(5)，所述筛板(5)上设有振动机构(6)，所述筛板(5)下方设有隔板(7)，所述隔板(7)上设有预过滤机构(8)。
2.根据权利要求1所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述预过滤机构(8)包括设于隔板(7)上的隔层滤网(801)，所述隔板(7)两侧设有滑块(802)，所述回收箱本体(1)内部设有滑槽(803)，所述滑块(802)与所述滑槽(803)相匹配，所述滑块(802)一端设有第一开口(804)，所述第一开口(804)内部设有第一弹簧(805)，所述第一弹簧(805)两端与卡块(806)相连接，所述回收箱本体(1)内壁上设有卡槽(807)，所述卡块(806)与卡槽(807)相匹配。
3.根据权利要求2所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述卡块(806)一侧设有拉杆(10)，所述拉杆(10)穿过滑块(802)置于滑
4.根据权利要求1所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述振动机构(6)包括设于筛板(5)下方的第二弹簧(601)，所述第二弹簧(601)与固定板(602)相连接，所述固定板(602)与回收箱本体(1)相连接，所述筛板(5)两侧设有连接块(603)，所述回收箱本体(1)内壁上设有凹槽(604)，所述连接块(603)置于凹槽(604)内部，一个所述连接块(603)一侧连接有移动块(605)，所述回收箱本体(1)上设有第三开口(606)，所述移动块(605)穿过第三开口(606)置于回收箱本体(1)外侧，所述移动块(605)外侧设有驱动机构(9)。
5.根据权利要求4所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述驱动机构(9)包括设于移动块(605)外侧的转轴(901)，所述转轴(901)一端与固定桩(902)相连接，所述固定桩(902)与回收箱本体(1)相连接，所述转轴(901)另一端与旋转电机(903)相连接，所述旋转电机(903)底端与安装板(904)固定连接，所述安装板(904)与回收箱本体(1)相连接，所述转轴(901)上设有转板(905)。
6.根据权利要求1所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述回收箱本体(1)内部底端设有压力传感器(13)，所述压力传感器(13)与控制器(14)电性连接，所述控制器(14)设于回收箱本体(1)一侧，所述控制器(14)与定时器(15)电性连接，所述定时器(15)设于控制器(14)上，所述排液管(3)上设有电磁阀(16)，所述电磁阀(16)与控制器(14)电性连接。
7.根据权利要求1所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述回收箱本体(1)一侧设有回流管(17)，所述回流管(17)与水泵(18)相连接，所述水泵(18)与控制器(14)电性连接，所述水泵(18)与连接管(19)相连接，所述连接管(19)与供应箱(20)相连接。
8.根据权利要求1所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述回收箱本体(1)内部设有液位传感器(21)，所述液位传感器(21)与控制器(14)相连接，所述回收箱本体(1)底端设有支柱(22)。
...【技术特征摘要】
1.一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，包括回收箱本体(1)，所述回收箱本体(1)顶端设有进液管(2)，所述回收箱本体(1)底端设有排液管(3)，所述排液管(3)与过滤器本体(4)相连接，所述回收箱本体(1)内部设有筛板(5)，所述筛板(5)上设有振动机构(6)，所述筛板(5)下方设有隔板(7)，所述隔板(7)上设有预过滤机构(8)。
2.根据权利要求1所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述预过滤机构(8)包括设于隔板(7)上的隔层滤网(801)，所述隔板(7)两侧设有滑块(802)，所述回收箱本体(1)内部设有滑槽(803)，所述滑块(802)与所述滑槽(803)相匹配，所述滑块(802)一端设有第一开口(804)，所述第一开口(804)内部设有第一弹簧(805)，所述第一弹簧(805)两端与卡块(806)相连接，所述回收箱本体(1)内壁上设有卡槽(807)，所述卡块(806)与卡槽(807)相匹配。
3.根据权利要求2所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述卡块(806)一侧设有拉杆(10)，所述拉杆(10)穿过滑块(802)置于滑块(802)外侧，所述隔板(7)一端与拉板(11)相连接，所述回收箱本体(1)上设有第二开口(12)，所述拉板(11)一端穿过第二开口(12)置于回收箱本体(1)外侧。
4.根据权利要求1所述的一种过滤器用预处理回收箱，其特征在于，所述振动机构(6)包括设于筛板(5)下方的第二弹簧(601)，所述第二弹簧(601)与固定板(602)相连接，所述固定板(602)与回收箱本体(1)相连接，所述筛板(5)两侧设有连接块(603)，所述回收箱本体(1)内壁上设有凹槽(604)，所述连接块(603)置于凹槽(604)内部...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘亮，徐志先，
申请(专利权)人：上海博纳微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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