【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其涉及晶圆盒装载设备。
技术介绍
1、晶圆盒是用于在晶圆转运过程暂存晶圆，并维持其密闭状态的存储设备。如图1所示为目前通行的前开式晶圆传送盒(foup)，该晶圆盒包括侧开口的盒体，可密闭覆盖侧开口的盒盖以及设置于盒体底部的底板，且盒盖与盒体之间设置有锁紧机构，可通过外部的开锁件伸入盒盖上的锁孔实现解锁盒盖，并通过外部的固定件与盒盖固定实现转移盒盖，使得盒盖可完全脱离盒体。
2、通常，在晶圆工艺设备前方设置有晶圆盒装载设备(loadport)，并配合晶圆盒传输机械臂以及工艺设备晶圆传输机械臂，实现晶圆取放，以取走晶圆为例，循环实现以下步骤：晶圆盒传输机械臂将晶圆盒放置于装载设备上→装载设备开盒并检测→工艺设备晶圆传输机械臂转运晶圆→晶圆盒空，装载设备闭盒→晶圆盒传输机械臂取走晶圆盒。
3、目前的晶圆盒装载设备通常包括开盒板以及设置在开盒板上的开关盒机构和吸盘，通过开盒板贴合盒盖，且开关盒机构和吸盘分别与盒盖的锁孔以及盒盖对接实现开盒并固定盒盖。随着半导体工艺的发展，对于工艺设备内的环境清洁度要求越来越高，但是在工艺设备与晶圆盒对接后，经常会出现工艺设备内环境清洁度降低的问题。
技术实现思路
1、本申请的目的在于解决现有技术中，晶圆盒装载设备开盒导致外部气体进入工艺设备内的问题。因此，本申请提供了晶圆盒装载设备，通过在窗口处形成密封空间，并对其内的气体置换，从而实现对晶圆盒与开盒装置之间环境的清洁，避免晶圆盒与开盒装置之间的外部空气进入工艺设
2、本申请实施例提供了一种晶圆盒装载设备，包括：
3、支撑板，具有沿第一方向相背设置的第一侧面和第二侧面，且由所述第一侧面向所述第二侧面贯通设置有窗口；
4、晶圆盒密封机构，活动设置于所述第一侧面，且可带动所述晶圆盒覆盖所述窗口；
5、开盒装置，活动设置于所述第二侧面，且包括密封罩，所述密封罩可覆盖所述窗口，并与覆盖所述窗口的所述晶圆盒配合形成密封空间；
6、换气装置，与所述密封空间连通，并用于置换所述密封空间内的气体；
7、所述开盒装置还包括设置于所述密封空间内的安装板和作业板，所述安装板与所述密封罩固定连接，所述作业板与所述安装板活动连接，且可相对所述安装板沿所述第一方向移动，所述安装板上设置有开锁驱动机构，所述作业板背离所述安装板的一侧设置有与晶圆盒盒盖匹配的开锁组件和吸取组件，且所述开锁组件与所述开锁驱动机构连接。
8、采用上述技术方案，利用晶圆盒覆盖窗口与开盒装置的密封罩覆盖窗口配合形成密封空间，可实现将待装载的晶圆盒先与工艺设备隔离，再通过对密封空间内的气体置换，从而实现对晶圆盒与开盒装置之间环境的清洁，避免晶圆盒与开盒装置之间的外部空气进入工艺设备内部，导致工艺设备内环境清洁度降低；并且通过作业板和安装板的分离，作业板安装开锁组件和吸取组件，安装板安装开锁驱动机构，控制了作业板重量，提高了作业板运行稳定性，从而提高作业可靠性，并且提高了作业过程中密封罩覆盖窗口的稳定性，从而提高了密封空间的可靠性，进而降低了外部气体进入工艺设备内的风险。
9、在一些实施例中，所述开锁组件包括两个开锁件，且所述两个开锁件分别连接独立设置的两个所述开锁驱动机构。
10、采用上述技术方案，可分别调试两个开锁驱动机构，从而提高了每一开锁件与晶圆盒盒盖上的锁孔匹配精度，提高了作业精度，降低了调试难度和加工难度，且两个开锁驱动机构可分别维护，降低了维护成本。
11、在一些实施例中，所述开锁件具有开锁位置和关锁位置；
12、所述开锁驱动机构包括伸缩杆和传动杆，所述伸缩杆的两端分别与所述传动杆、所述安装板转动连接，所述传动杆背离所述伸缩杆的一端与所述开锁件在所述第一方向上滑动连接，在垂直于所述第一方向的第二方向上固定连接；
13、所述开锁件在所述传动杆的带动下转动，并在所述开锁位置和所述关锁位置之间转换。
14、采用上述技术方案，通过伸缩杆带动传动杆转动，传动杆带动开锁件转动实现开关锁，相对于常规的腰型孔内滑动并转动实现开关锁，运行噪音小，且运行可靠性更高。
15、在一些实施例中，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有安装座；
16、所述开锁件包括锁扣和与所述锁扣固定连接的锁杆，所述锁扣位于所述作业板背离所述安装板的一侧且与所述晶圆盒盒盖的锁孔匹配，所述锁杆依次贯穿所述作业板和所述安装座，并与所述传动杆在所述第一方向上滑动连接，在垂直于所述第一方向的第二方向上固定连接。
17、采用上述技术方案，提高了开锁件在作业板运动过程中以及随传动件运动过程中的稳定性，从而提高了作业可靠性。
18、在一些实施例中，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有第一限位件和第二限位件，以使所述传动杆在第一位置和第二位置之间转动；
19、所述传动杆处于所述第一位置时，所述传动杆带动所述开锁件处于所述开锁位置；
20、所述传动杆处于所述第二位置时，所述传动杆带动所述开锁件处于所述关锁位置。
21、采用上述技术方案，通过对传动杆运动轨迹的限制提高了同步运动的开锁件作业可靠性和安全性。
22、在一些实施例中，所述伸缩杆的一端与所述传动杆之间设置有连接件，所述连接件的一端与所述伸缩杆的一端固定连接，另一端与所述传动杆转动连接，且所述连接件朝向所述安装座的一侧设置有避让槽，以避让所述安装座。
23、采用上述技术方案，提高了伸缩杆、传动杆以及开锁件之间紧凑度，从而提高了安装板上的两个开锁驱动机构之间的紧凑度，有效控制了安装板面积，从而控制了本设备的体积。
24、在一些实施例中，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有第一位置检测件和第二位置检测件，所述连接件上设置有与所述第一位置检测件和所述第二位置检测件均适配的感应件；
25、所述开锁件处于所述开锁位置时，所述连接件上的所述感应件被所述第一位置检测件检测到；
26、所述开锁件处于所述关锁位置时，所述连接件上的所述感应件被所述第二位置检测件检测到。
27、采用上述技术方案，通过对连接件的位置检测实现对开锁件状态的检测，提高了本设备信息控制的可靠性。
28、在一些实施例中，所述安装板沿所述第一方向设置有避让孔，位于所述作业板上的所述吸取组件通过所述避让孔连接有管路。
29、采用上述技术方案，使得管路通过避让孔穿过安装板直接与吸取组件连接，使得气体输送路径的长短不受作业板相对安装板运动的影响，以及减小气体在连接处的逸散风险，从而确保气控精度和稳定性，尤其避免吸取组件固定晶圆盒盒盖后其吸力变化引发固定不稳的问题；同时也通过避让孔减轻安装板重量，从而提高开盒装置运行可靠性。
30、在一些实施例中，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有两个驱动件和两个导向件，且所述两个驱动件沿一本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆盒装载设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述开锁组件包括两个开锁件，且所述两个开锁件分别连接独立设置的两个所述开锁驱动机构。
3.根据权利要求2所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述开锁件具有开锁位置和关锁位置；
4.根据权利要求3所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有安装座；
5.根据权利要求3所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有第一限位件和第二限位件，以使所述传动杆在第一位置和第二位置之间转动；
6.根据权利要求4所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述伸缩杆的一端与所述传动杆之间设置有连接件，所述连接件的一端与所述伸缩杆的一端固定连接，另一端与所述传动杆转动连接，且所述连接件朝向所述安装座的一侧设置有避让槽，以避让所述安装座。
7.根据权利要求6所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有第一位置检测件和第二位置检测件，所述连接件上设置有与所述第一位置检测件和
8.根据权利要求1所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述安装板沿所述第一方向设置有避让孔，位于所述作业板上的所述吸取组件通过所述避让孔连接有管路。
9.根据权利要求1所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有两个驱动件和两个导向件，且所述两个驱动件沿一对角线设置，所述两个导向件沿另一对角线设置；
10.根据权利要求1所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述安装板背离所述作业板的一侧设置限位件组件，所述限位组件包括限位杆和设置于所述限位杆一端的限位块，所述限位杆的另一端贯穿所述安装板且与所述作业板固定连接，以使得所述限位杆可随所述作业板同步移动并带动所述限位块抵靠所述安装板。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒装载设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述开锁组件包括两个开锁件，且所述两个开锁件分别连接独立设置的两个所述开锁驱动机构。
3.根据权利要求2所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述开锁件具有开锁位置和关锁位置；
4.根据权利要求3所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有安装座；
5.根据权利要求3所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述安装板背离所述作业板的一侧设置有第一限位件和第二限位件，以使所述传动杆在第一位置和第二位置之间转动；
6.根据权利要求4所述的晶圆盒装载设备，其特征在于，所述伸缩杆的一端与所述传动杆之间设置有连接件，所述连接件的一端与所述伸缩杆的一端固定连接，另一端与所述传动杆转动连接，且所述连接件朝向所述安装座的一侧设置有避让槽，以避让所述安装座。
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【专利技术属性】
技术研发人员：倪萌，李壮，陈垒，周太君，丁光宇，
申请(专利权)人：上海大族富创得科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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