【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆搬运，尤其涉及一种晶圆搬运系统。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在制造加工过程中，需要在进出料口到缓存料架、取片料架各工位之间进行传输。
2、经检索，公告号为cn217719538u的中国专利公开了自动晶圆搬运系统，包括推送臂、支撑铲、快速推升机构和容纳箱，支撑铲固定安装在推送臂上，还包括缓慢推升机构和水平校准器，缓慢推升机构固定安装在快速推升机构的底部，用于向上推动推送臂进而再次运动，水平校准器固定安装在容纳箱上，该自动晶圆搬运系统，通过设置缓慢推升机构带动支撑铲进行二次升降，不需要使用升降平台，直接使用固定平台即可，避免发生磨损误差，并且通过在容纳箱的侧面设置水平校准器，工人能够随时对支撑铲进行检测，当支撑铲的倾斜幅度达到预设值时，工人需要对其进行更换，并且水平校准器在不使用时，水平校准器能够收回到容纳箱的侧面，避免影响机械手的工作。但是该搬运系统不能实现对支撑铲水平方向的移动，影响支撑铲对晶圆搬运的范围，不能满足生产需求，实用性差。
技术实现思路
1、本技术目的在于提供一种晶圆搬运系统，以解决
技术介绍
中所提出的技术问题。
2、为实现上述目的，本技术的具体技术方案如下：一种晶圆搬运系统，包括横板、活动座、立板及基座，所述活动座沿着横板的长度方向自由活动，且所述横板上设置有用于驱动活动座移动的y轴驱动机构，所述立
3、优选地，所述横板的底部设置有底座，所述底座的长度及宽度均大于横板的长度及宽度，且所述底座的上表面四角处均设置有固定孔。
4、优选地，所述横板与立板垂直分布。
5、优选地，所述y轴驱动机构包括第一电机、丝杆及导轨，所述第一电机安装于横板的上表面，所述第一电机的轴部与丝杆连接，且所述丝杆的两端通过轴承转动连接有固定座，所述固定座的底部与横板的上表面固定连接，所述导轨的底部与横板的上表面固定连接，且所述z轴驱动机构的结构与y轴驱动机构的结构相同。
6、优选地，所述丝杆与导轨平行分布。
7、优选地，所述活动座的底部及基座的侧壁分别设置有与丝杆螺纹连接及与导轨滑动连接的螺纹块及滑块。
8、优选地，所述基座的上表面、大臂远离基座一端的上表面及小臂远离大臂一端的底部分别设置有第一安装槽、第二安装槽及第三安装槽，第一安装槽、第二安装槽及第三安装槽内分别安装有第二电机、第三电机及第四电机，所述第二电机的轴部与大臂的端部连接，第三电机的轴部与小臂的端部连接，第四电机的轴部与吸手的端部连接。
9、本技术的一种晶圆搬运系统具有以下优点：
10、该一种晶圆搬运系统，通过第二电机、第三电机、第四电机与大臂、小臂及吸手之间的配合，使得吸手实现三个旋转关节的目的，并配合y轴驱动机构及z轴驱动机构来使吸手完成任意姿态的运动，获得高灵敏度，实现对晶圆片的托举、平移及转动，实现在紧凑空间内对晶圆在不同工位之间完成精确定位且平稳高效的传递，它可以在有限的空间内工作，然后收回，适用于垂直方向及水平方向搬运、取出和放置晶圆，能较好的满足生产需求。
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1.一种晶圆搬运系统，其特征在于：包括横板(1)、活动座(4)、立板(5)及基座(7)，所述活动座(4)沿着横板(1)的长度方向自由活动，且所述横板(1)上设置有用于驱动活动座(4)移动的Y轴驱动机构(2)，所述立板(5)的底部与活动座(4)的上表面固定连接，所述基座(7)沿着立板(5)的长度方向自由活动，且所述立板(5)上设置有用于驱动基座(7)移动的Z轴驱动机构(6)，所述基座(7)的上表面转动连接有大臂(8)，所述大臂(8)远离基座(7)一端的上表面转动连接有小臂(9)，所述小臂(9)远离大臂(8)一端的底部转动连接有吸手(10)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运系统，其特征在于：所述横板(1)的底部设置有底座(3)，所述底座(3)的长度及宽度均大于横板(1)的长度及宽度，且所述底座(3)的上表面四角处均设置有固定孔。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运系统，其特征在于：所述横板(1)与立板(5)垂直分布。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运系统，其特征在于：所述Y轴驱动机构(2)包括第一电机(11)、丝杆(12)及导轨(14)
5.根据权利要求4所述的一种晶圆搬运系统，其特征在于：所述丝杆(12)与导轨(14)平行分布。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆搬运系统，其特征在于：所述活动座(4)的底部及基座(7)的侧壁分别设置有与丝杆(12)螺纹连接及与导轨(14)滑动连接的螺纹块(15)及滑块(16)。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运系统，其特征在于：所述基座(7)的上表面、大臂(8)远离基座(7)一端的上表面及小臂(9)远离大臂(8)一端的底部分别设置有第一安装槽、第二安装槽及第三安装槽，第一安装槽、第二安装槽及第三安装槽内分别安装有第二电机(17)、第三电机及第四电机，所述第二电机(17)的轴部与大臂(8)的端部连接，第三电机的轴部与小臂(9)的端部连接，第四电机的轴部与吸手(10)的端部连接。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运系统，其特征在于：包括横板(1)、活动座(4)、立板(5)及基座(7)，所述活动座(4)沿着横板(1)的长度方向自由活动，且所述横板(1)上设置有用于驱动活动座(4)移动的y轴驱动机构(2)，所述立板(5)的底部与活动座(4)的上表面固定连接，所述基座(7)沿着立板(5)的长度方向自由活动，且所述立板(5)上设置有用于驱动基座(7)移动的z轴驱动机构(6)，所述基座(7)的上表面转动连接有大臂(8)，所述大臂(8)远离基座(7)一端的上表面转动连接有小臂(9)，所述小臂(9)远离大臂(8)一端的底部转动连接有吸手(10)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运系统，其特征在于：所述横板(1)的底部设置有底座(3)，所述底座(3)的长度及宽度均大于横板(1)的长度及宽度，且所述底座(3)的上表面四角处均设置有固定孔。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运系统，其特征在于：所述横板(1)与立板(5)垂直分布。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运系统，其特征在于：所述y轴驱动机构(2)包括第一电机(11)、丝杆(12)及导轨(14)，所述第一电机(11)安装...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈海龙，
申请(专利权)人：杭州光研科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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