【技术实现步骤摘要】
所属的技术人员能够理解，本公开的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本公开的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施方式、完全的软件实施方式(包括固件、微代码等)，或硬件和软件方面结合的实施方式，这里可以统称为“电路”、“模块”或“系统”。本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的专利技术后，将容易想到本公开的其他实施方式。本公开旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施方式仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限定。
技术介绍
1、在半导体生产过程中，机台控制参数为影响产品合格率的重要因素之一，因此往往会确定一个最佳机台控制参数。
2、确定最佳机台控制参数的传统作法为单变量线性模型搭配ewma平滑曲线方法，但是该方法的计算核心需要各个机台配置对应的量测点，同时该量测点的抽样率为100％。但是在实际生产过程中，量测点的覆盖率很难达到100％，同时各量测点的抽样率和也很难达到100％，因此在实际生产过程中很难得到一个最佳的机台控制参数。
3、因此，目前机台控制参数的确定方法适用性较差。
技术实现思路
1、本公开提供了一种机台控制参数确定、机台控制方法、装置、介质和设备，
2、第一方面，本公开一个实施例提供了一种机台控制参数确定方法，应用于目标工艺段，目标工艺段至少包括多个具有量测节点的第一机台节点，以及多个不具有量测节点的第二机台节点，量测节点用于测量对应的第一机台节点的实际线宽；该方法包括：
3、获取各第一机台节点的实际线宽，以及目标工艺段中各机台节点的加工影响参数；
4、针对各第一机台节点，基于实际线宽与第一机台节点对应的加工影响参数确定第一机台节点的第一机台控制参数；
5、针对各第二机台节点，基于与第二机台节点相邻的第一机台节点的第一机台控制参数，以及第二机台节点对应的加工影响参数确定第二机台节点的第二机台控制参数。
6、在本公开一个可选的实施例中，针对各第一机台节点，基于实际线宽与第一机台节点对应的加工影响参数确定第一机台节点的第一机台控制参数，包括：
7、针对各第一机台节点，基于预先训练得到的线宽预测模型与各第一机台节点对应的加工影响参数确定各第一机台节点的预估线宽；
8、针对当前第一机台节点，基于上一第一机台节点的预估线宽对当前第一机台节点的实际线宽进行修正，得到当前第一机台节点的修正线宽；其中，上一第一机台节点是指在目前工艺段中位于当前第一机台节点之前，且与当前第一机台节点相邻的第一机台节点；
9、针对当前第一机台节点，基于修正线宽与对应的机台加工参数确定第一机台控制参数。
10、在本公开一个可选的实施例中，在针对各第一机台节点，基于预先训练得到的线宽预测模型与各第一机台节点对应的加工影响参数确定各第一机台节点的预估线宽之前，该方法还包括：
11、确定第一机台节点对应的当前量测节点的样本抽样率；
12、若样本抽样率大于预设抽样率，则将第一机台节点中量测得到的各线宽确定为实际线宽。
13、在本公开一个可选的实施例中，上述机台控制参数确定方法还包括：
14、若样本抽样率不大于预设抽样率，则基于预先训练得到的线宽预测模型与第一机台节点的加工影响参数确定第一机台节点的预估线宽。
15、在本公开一个可选的实施例中，针对当前第一机台节点，基于上一第一机台节点的预估线宽对当前第一机台节点的实际线宽进行修正，得到当前第一机台节点的修正线宽，包括：
16、针对当前第一机台节点，计算上一第一机台节点的预估线宽与当前第一机台节点的实际线宽之间的差值，得到当前第一机台节点的修正线宽。
17、在本公开一个可选的实施例中，上述机台控制参数确定方法还包括：
18、获取第一机台节点中特征机台节点的机台控制参数，得到特征机台控制参数；其中，特征机台节点是指在目标工艺段中位于第二机台节点之后，且与第二机台节点相邻的第一机台节点；
19、对应的，针对各第二机台节点，基于与第二机台节点相邻的第一机台节点的第一机台控制参数，以及第二机台节点对应的加工影响参数确定第二机台节点的第二机台控制参数，包括：
20、针对与特征机台节点相邻的特征第二机台节点，基于特征机台控制参数，以及特征第二机台节点对应的加工影响参数确定特征第二机台节点的第二机台控制参数。
21、在本公开一个可选的实施例中，针对各第二机台节点，基于与第二机台节点相邻的第一机台节点的第一机台控制参数，以及第二机台节点对应的加工影响参数确定第二机台节点的第二机台控制参数，还包括：
22、针对当前第二机台节点，基于下一第二机台节点的第二机台控制参数，以及当前第二机台节点对应的加工影响参数确定当前第二机台节点的第二机台控制参数；其中，当前第二机台节点是指在目前工艺段中位于特征第二机台节点之前第二机台节点。
23、在本公开一个可选的实施例中，特征机台节点为目标工艺段中的最后一个机台节点。
24、在本公开一个可选的实施例中，机台加工参数的数量为多个。
25、在本公开一个可选的实施例中，上述机台控制参数确定方法还包括：
26、获取目标工艺段中各机台节点的线宽影响参数与对应的实际线宽；
27、根据线宽影响参数与对应的实际线宽构建线宽预测模型。
28、在本公开一个可选的实施例中，根据线宽影响参数与对应的实际线宽构建线宽预测模型，包括：
29、确定各线宽影响参数在目标工艺段中的影响系数；
30、根据影响系数最高的预设数量个线宽影响参数，与对应的实际线宽构建线宽预测模型。
31、第二方面，本公开一个实施例提供了一种机台控制方法，应用于目标工艺段，目标工艺段至少包括多个具有量测节点的第一机台节点，以及多个不具有量测节点的第二机台节点，量测节点用于测量对应的第一机台节点的实际线宽，该方法包括：
32、获取目标工艺段中第一机台节点的第一机台控制参数，以及第二机台节点的第二机台控制参数；其中，第一基于控制参数与第二机台控制参数是根据如上任一项的机台控制参数确定方法得到的；
33、基于各第一机台控制参数控制对应的第一机台节点运行，以及基于各第二机台控制参数控制对应的第二机台节点运行。
34、第三方面，本公开一个实施例提供了一种机台控制参数确定装置，应用于目标工艺段，目标工艺段至少包括多个具有量测节点的第一机台节点，以及多个不具有量测节点的第二机台节点，量测节点用于测量对应的第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种机台控制参数确定方法，其特征在于，应用于目标工艺段，所述目标工艺段至少包括多个具有量测节点的第一机台节点，以及多个不具有所述量测节点的第二机台节点，所述量测节点用于测量对应的所述第一机台节点的实际线宽；所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，针对各所述第一机台节点，基于所述实际线宽与所述第一机台节点对应的所述加工影响参数确定所述第一机台节点的第一机台控制参数，包括：
3.根据权利要求2所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，在所述针对各所述第一机台节点，基于预先训练得到的线宽预测模型与各所述第一机台节点对应的所述加工影响参数确定各所述第一机台节点的预估线宽之前，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求2所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述针对当前第一机台节点，基于上一第一机台节点的所述预估线宽对所述当前第一机台节点的所述实际线宽进行修正，得到所述当前第一机台节点的修正线宽，包括：
6.根据权利要求1所述
7.根据权利要求6所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述针对各所述第二机台节点，基于与所述第二机台节点相邻的所述第一机台节点的所述第一机台控制参数，以及所述第二机台节点对应的所述加工影响参数确定所述第二机台节点的第二机台控制参数，还包括：
8.根据权利要求6所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述特征机台节点为所述目标工艺段中的最后一个机台节点。
9.根据权利要求2所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述机台加工参数的数量为多个。
10.根据权利要求2所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述方法还包括：
11.根据权利要求10所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述根据所述线宽影响参数与对应的所述实际线宽构建所述线宽预测模型，包括：
12.一种机台控制方法，其特征在于，应用于目标工艺段，所述目标工艺段至少包括多个具有量测节点的第一机台节点，以及多个不具有所述量测节点的第二机台节点，所述量测节点用于测量对应的所述第一机台节点的实际线宽，所述方法包括：
13.一种机台控制参数确定装置，其特征在于，应用于目标工艺段，所述目标工艺段至少包括多个具有量测节点的第一机台节点，以及多个不具有所述量测节点的第二机台节点，所述量测节点用于测量对应的所述第一机台节点的实际线宽；所述装置包括：
14.一种机台控制参数确定装置，其特征在于，应用于目标工艺段，所述目标工艺段至少包括多个具有量测节点的第一机台节点，以及多个不具有所述量测节点的第二机台节点，所述量测节点用于测量对应的所述第一机台节点的实际线宽，所述装置包括：
15.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至12任一项所述的方法。
16.一种电子设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种机台控制参数确定方法，其特征在于，应用于目标工艺段，所述目标工艺段至少包括多个具有量测节点的第一机台节点，以及多个不具有所述量测节点的第二机台节点，所述量测节点用于测量对应的所述第一机台节点的实际线宽；所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，针对各所述第一机台节点，基于所述实际线宽与所述第一机台节点对应的所述加工影响参数确定所述第一机台节点的第一机台控制参数，包括：
3.根据权利要求2所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，在所述针对各所述第一机台节点，基于预先训练得到的线宽预测模型与各所述第一机台节点对应的所述加工影响参数确定各所述第一机台节点的预估线宽之前，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求2所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述针对当前第一机台节点，基于上一第一机台节点的所述预估线宽对所述当前第一机台节点的所述实际线宽进行修正，得到所述当前第一机台节点的修正线宽，包括：
6.根据权利要求1所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.根据权利要求6所述的机台控制参数确定方法，其特征在于，所述针对各所述第二机台节点，基于与所述第二机台节点相邻的所述第一机台节点的所述第一机台控制参数，以及所述第二机台节点对应的所述加工影响参数确定所述第二机台节点的第二机台控制参数，还包括：
8.根据权利要求6所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈振豪，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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