【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于vcsel，尤其涉及一种具有抗湿功能的垂直腔面发射激光器。
技术介绍
1、垂直腔面发射激光器（vertical-cavity surface-emitting laser，vcsel）具有低成本、低功耗、易于集成、高转换效率、高质量光束、波长范围广等优点。其输出光斑呈圆形对称分布，使其易于与光纤实现耦合；垂直腔面的激射特点，使其更适合二维平面光电集成；且阈值电流低，光电转换效率高，使用寿命长，能够与大规模集成电路集成；vcsel的波长范围广，可覆盖可见-近红外光，可以广泛到不同领域，例如以原子钟为代表的量子传感、活体检测、医疗美容行业、ar/vr技术及机器人识别、激光雷达及自动驾驶辅助等领域。在特殊情况下，vcsel会应用于高湿度环境，在高湿度环境下，湿气可能导致vcsel的性能下降、寿命缩短甚至失效。对于不使vcsel的芯片封装化而向基板直接安装的板上芯片方式，在该情况下，提高vcsel自身的抗湿能力至关重要。因此，需要vcsel具备耐湿性能。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术创造旨在提供一种垂直腔面发射激光器，以解决vcsel在高湿度环境下性能下降的技术问题。
2、为达到上述目的，本专利技术创造的技术方案是这样实现的：
3、一种垂直腔面发射激光器，包括激光器本体、耐高温绝缘层、加热丝和控温电路；耐高温绝缘层全覆盖在激光器本体的表面；加热丝全覆盖在耐高温绝缘层的表面；控温电路包括微处理器、运算放大器、a/d转换器、开关和热敏电阻；其中，
4、进一步的，耐高温绝缘层的材料为su-8光刻胶、氧化铝陶瓷或氮化硅陶瓷。
5、进一步的，耐高温绝缘层的厚度为150-250μm。
6、进一步的，加热丝的材料为镍铬合金或铁铬铝合金。
7、进一步的，激光器本体从下至上依次包括n面电极、衬底、n型dbr层、有源层、p型dbr层和p面电极。
8、与现有技术相比，本专利技术创造能够取得如下有益效果：
9、1、耐高温绝缘层可以有效增强vcsel在高湿度环境下的抗湿能力，提升其在高湿度环境下工作的稳定性。
10、2、加热丝能够进一步提高vcsel的抗湿能力，提升器件性能。
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1.一种垂直腔面发射激光器，包括激光器本体，其特征在于：还包括耐高温绝缘层、加热丝和控温电路；
2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述耐高温绝缘层的材料为SU-8光刻胶、氧化铝陶瓷或氮化硅陶瓷。
3.根据权利要求1或2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述耐高温绝缘层的厚度为150-250μm。
4.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述加热丝的材料为镍铬合金或铁铬铝合金。
5.根据权利要求4所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述激光器本体从下至上依次包括N面电极、衬底、N型DBR层、有源层、P型DBR层和P面电极。
【技术特征摘要】
1.一种垂直腔面发射激光器，包括激光器本体，其特征在于：还包括耐高温绝缘层、加热丝和控温电路；
2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述耐高温绝缘层的材料为su-8光刻胶、氧化铝陶瓷或氮化硅陶瓷。
3.根据权利要求1或2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于：所述耐高...
【专利技术属性】
技术研发人员：张星，
申请(专利权)人：长春中科长光时空光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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