【技术实现步骤摘要】
本技术属于太阳能光伏
,涉及一种氢化炉中的测温视镜,特别是涉及一种用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜。
技术介绍
近几年来,国内多晶硅生产技术高速发展,然而现在生产多晶硅80 %采用西门子法,西门子法制备多晶硅的同时,也生成了大量副产物SiC^、 SiCl4不仅浪费原材料,处理不当还会造成严重的环境污染问题,为了降低生产成本,循环利用生产原料,防止环境污染,急需能够有效处理SiCl4的氢化炉。 氢化炉运作时需要通过观察炉内温度对各工艺口进行控制,以保持设备稳定高效的运行,这就需要在氢化炉中设置一个或几个测温视镜。 目前,还没有氢化炉的专用视镜,常用视镜结构简单,而氢化炉是夹套结构,需要设置引出管连接视镜和设备,由于设备内部反应温度很高,筒体和夹套温差很大,造成引出管周期性的受热膨胀并导致焊缝疲劳破坏而出现裂缝,而且视镜玻璃的耐热温度有限,故而需要采用新的结构,既能对视镜的关键部位进行冷却,又能防止焊缝疲劳破坏。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜,用于解决氢化炉设备内筒体和夹套温差过大,而导致视镜引出管受热膨胀引起的焊缝疲劳破坏的技术问题,同时还要解决视镜玻璃的冷却问题。 为了实现本技术的目的,本技术的用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜,其依次包括固定相连接的外法兰、外视镜玻璃、中间法兰、内视镜玻璃和内法兰,所述内法兰通过引出管与氢化炉的内筒体相连接。所述引出管外套设有与其同轴心的波纹管,所述波纹管一端与所述内法兰相连,另一端与所述夹套筒体相连。 其中,所述外视镜玻璃、所述中间法兰和所述内视镜玻璃形成一水冷却室,所述中间法兰外侧分 ...
【技术保护点】
一种用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜,其特征在于,其依次包括固定相连接的外法兰(7)、外视镜玻璃(8)、中间法兰(6)、内视镜玻璃(12)和内法兰(4),所述内法兰(4)通过引出管(13)与氢化炉的内筒体(16)相连接,所述引出管(13)外套设有与其同轴心的波纹管(2),所述波纹管(2)一端与所述内法兰(4)相连,另一端与所述夹套筒体(15)相连。
【技术特征摘要】
一种用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜,其特征在于,其依次包括固定相连接的外法兰(7)、外视镜玻璃(8)、中间法兰(6)、内视镜玻璃(12)和内法兰(4),所述内法兰(4)通过引出管(13)与氢化炉的内筒体(16)相连接,所述引出管(13)外套设有与其同轴心的波纹管(2),所述波纹管(2)一端与所述内法兰(4)相连,另一端与所述夹套筒体(15)相连。2. 根据权利要求1所述的用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜,其特征在于,所述外视镜玻璃(8)、所述中间法兰(6)和所述内视镜玻璃(12)形成一水冷却室,所述中间法兰(6)外侧分别设有冷却水进水管(11)和冷却水出水管(5),并与所述水冷却室相通。3. 根据权利要求2所述的用于氢化...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴海龙,茅陆荣,李东曦,石兰,
申请(专利权)人:上海森松压力容器有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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