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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学检测,具体涉及一种液态防护膜激光诱导损伤的识别的实时探测方法。
技术介绍
1、目前,大功率激光器的快速发展和广泛应用,也促进了激光损伤防护研究领域的兴起。针对高能量的激光辐照,采用激光防护薄膜对器件保护是一种行之有效的方法。激光防护膜种类繁多,通过镀制一层具有高激光损伤阈值的保护膜,以及通过采用相变材料进行激光能量的吸收进而保护器件不被损伤。例如名称为:一种液态自修复激光防护膜,公开号为cn115032725a的中国专利技术专利申请,其中的液态介质可在激光损坏后自我修复,只要基底不被损坏,就可以无限次使用并且实现激光防护效果。
2、对于激光防护膜而言,判断其是否发生损伤甚至失效,至关重要。通常的薄膜激光损伤检测是采用等离子体闪光法或将破坏后的样品置于光学显微镜下,观察其是否发生破坏。上述方法对于常规种类的激光防护膜来讲,尽管过程繁琐,但是基本能够保证有效性。但是,对于液态自修复激光防护膜而言却往往失去效果,无法得到有效结论。这是由于液态自修复防护膜发生等离子体闪光并不代表其真正的发生了激光破坏,而更多是源于内部的液态介质被击穿,随后迅速通过自身修复仍可以获得同等的防护效果,因此等离子体闪光无法证明是否真正被损坏。此外,如果置于显微镜下判断,则需要拆开外面的两块基片,去除液态介质从而破坏了防护膜结构,这样无论其本身是否发生事实性破坏,都将因为拆卸损坏而丧失了功能性和防护效用。因此,如果能够找到一种合适的方法,对于该薄膜进行准确有效并且实时的损伤判定,将具有非常大的经济效益与应用价值。
【技术保护点】
1.一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述探测装置包括两片基底(1),容置于这两片基底(1)之间的支撑层(2)、电极(3)、摩擦电材料(5)、密封粘结层(6),以及电压测量装置;
2.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述基底(1)为BK7玻璃、石英或氧化硅中任一种。
3.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述支撑层(2)由柔性材质制成,包括聚酰亚胺、聚氨酯、硅胶和橡胶中任一种。
4.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述电极(3)为铜、钛、铝、银、金、铂、铁、锰、铝、铬、镍或上述材料以任意比例组成的混合物所制成的箔状或片状物。
5.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述摩擦电材料(5)为聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、全氟乙烯丙烯共聚物、聚酰亚胺、聚丙烯、聚乙烯、聚氨酯、聚对苯二甲酸乙二酯、尼龙、腈纶和橡胶中任一种。
6.根据权利要求1所
7.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述液体介质为水、甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇、聚乙二醇、硅油、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、甘油、聚乙烯基吡咯烷酮、二甲基硅油、甲基氢硅氧烷聚合物、聚硅氧烷-多烷氧基醚共聚物,或上述物质以任意比例的混合物;或含有粒径为0.5nm~100um,质量百分数为0.01~60%的氧化硅、氧化锆、氧化钽、氧化铪、氧化铌、氧化钒、氧化钛、氧化铝、氧化锡颗粒的胶体或溶液。
8.一种权利要求1所述的液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置的制备方法,其特征在于,按照以下步骤制备液态防护膜的激光损伤的探测装置:
9.一种权利要求1所述的液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置的应用方法,其特征在于,首先按照以下步骤对液态防护膜的激光损伤进行探测:采用单模激光对该液态防护膜进行激光辐照,使得光束贯穿两片基底之间填充的液态介质,设置激光的波长、重复频率、脉冲宽度、辐照间隔时间,然后进行测试;当电压测量装置采集的电压信号突变时,则判定为发生激光损伤,记录此时脉冲电压信号的突变值;
...【技术特征摘要】
1.一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述探测装置包括两片基底(1),容置于这两片基底(1)之间的支撑层(2)、电极(3)、摩擦电材料(5)、密封粘结层(6),以及电压测量装置;
2.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述基底(1)为bk7玻璃、石英或氧化硅中任一种。
3.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述支撑层(2)由柔性材质制成,包括聚酰亚胺、聚氨酯、硅胶和橡胶中任一种。
4.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述电极(3)为铜、钛、铝、银、金、铂、铁、锰、铝、铬、镍或上述材料以任意比例组成的混合物所制成的箔状或片状物。
5.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述摩擦电材料(5)为聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、全氟乙烯丙烯共聚物、聚酰亚胺、聚丙烯、聚乙烯、聚氨酯、聚对苯二甲酸乙二酯、尼龙、腈纶和橡胶中任一种。
6.根据权利要求1所述的一种液态防护膜激光损伤的自驱动实时探测装置,其特征在于,所述密封粘结层(6)为氰基丙烯酸乙酯、丁苯胶、聚氨酯、硝酸...
【专利技术属性】
技术研发人员:许程,韩笋,郝子为,刘浩杰,彭梓闰,冯培忠,
申请(专利权)人:中国矿业大学,
类型:发明
国别省市:
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