【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学设备，尤其涉及一种动态压弯调节装置及光学仪器。
技术介绍
1、随着衍射极限型同步光源和高相干自由电子激光装置等先进光源的发展，如何保持高亮度高相干的光子传输对束线光学元件的面形精度和波前保持提出了更高的要求。压弯装置既要实现反射镜的曲率半径动态可调且保持稳定，又需保持反射镜具有超高的面形精度。
2、现有技术中，如图1和图2所示，目前在x射线领域使用较多的反射镜压弯技术为四辊压弯装置10，该四辊压弯装置10通过四个圆辊对反射镜进行夹持和压弯，两个圆辊位于反射镜背面负责支撑，另外两个圆辊位于反射镜镜面负责提供力矩，使反射镜弯曲。结构上，镜面上的两个圆辊分别位于两个摇臂上，而两个摇臂通过轴承分别连接前后两个支撑窗，反射镜背面的两个圆辊也通过轴承与前后两个支撑窗相连。然而，由于采用了多个轴承的结构，轴承的圆跳动、间隙会对压弯精度产生影响，导致该压弯装置的压弯精度较差。影响x射线光束的质量，最终影响实验性能。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的是为了克服现有技术中的不足，提供了一种动态压弯调节装置。
2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：
3、第一方面，本申请实施例提供了一种动态压弯调节装置，该动态压弯调节装置包括：
4、基座；
5、架体，设置有两个，两个所述架体间隔设置在所述基座上，所述架体具有互相垂直的第一方向、第二方向和第三方向，每个所述架体沿所述第一方向具有相对设置的两个第一开口、沿所述第二方向具
6、驱动件，设置有两个，两个所述驱动件沿所述第一方向间隔设置；
7、连接件，设置有两个，每个所述连接件分别能够与一个所述驱动件的输出端抵接，每个所述连接件穿设于所述第二开口；
8、摇臂支撑件，设置有两个，每个所述摇臂支撑件分别对应的设置于所述容纳腔内，且每个所述摇臂支撑件分别设置有用于安装反射镜端部的固定位，每个所述摇臂支撑件分别与一个所述连接件远离所述驱动件的一端固定连接；
9、柔性铰链结构，分别设置于每个所述架体的所述第三开口处并与所述架体固定连接，所述柔性铰链结构的活动端分别与所述摇臂支撑件连接。
10、本申请提供的动态压弯调节装置，通过两个驱动件沿相反的输出方向给予连接件施加推力，以使每个连接件带动相应的摇臂支撑件转动，从而对反射镜进行压弯，由于通过柔性铰链结构与摇臂支撑件连接，使其减少机械传递造成的力矩损失，同时柔性铰链结构弯转方式，避免了轴承的圆跳动和间隙导致的反射镜压弯精度的问题，更好的减小了该装置对反射镜的压弯误差，提高了反射镜的压弯精度。
11、另外，根据本申请的动态压弯调节装置，还可具有如下附加的技术特征：
12、在本申请的其中一个实施例中，所述柔性铰链结构包括三个第一柔性铰链结构和一个第二柔性铰链结构；
13、其中，两个所述第一柔性铰链结构对应的设置于一个所述架体的两个所述第三开口处且分别与一个所述摇臂支撑件的相对两面连接；一个所述第一柔性铰链结构设置于另一个所述架体的一个所述第三开口处且与另一个所述摇臂支撑件的一面连接，一个所述第二柔性铰链结构设置于该架体的另一个所述第三开口处且与该摇臂支撑件的另一面连接。
14、在本申请的其中一个实施例中，所述第一柔性铰链结构包括第一固定部、第一柔性部和第一活动部，所述第一固定部与所述架体连接，所述第一固定部上开设有第一贯穿孔，所述第一活动部位于所述第一贯穿孔内且与一个所述摇臂支撑件连接，所述第一柔性部的一端与所述第一贯穿孔的孔壁连接，另一端与所述第一活动部连接，且所述第一柔性部位于所述第一固定部和所述第一活动部之间。
15、在本申请的其中一个实施例中，所述第一柔性部设置有多个，多个所述第一柔性部沿所述第一活动部的周向间隔设置。
16、在本申请的其中一个实施例中，所述第一固定部、多个所述第一柔性部和所述第一活动部一体成型制成。
17、在本申请的其中一个实施例中，所述第一固定部与所述架体通过螺栓固定连接；和/或，所述第一活动部与所述摇臂支撑件通过螺栓固定连接。
18、在本申请的其中一个实施例中，所述第二柔性铰链结构包括第二固定部、多个片状柔性部、连接部、第二柔性部和第二活动部，所述第二固定部与所述架体连接，所述第二固定部上开设有第二贯穿孔，所述连接部通过多个所述片状柔性部连接，且多个所述片状柔性部位于所述第二固定部和所述连接部之间；所述连接部上开设有连接孔，所述第二活动部位于所述连接孔内，且所述第二柔性部的一端与所述连接孔的孔壁连接，所述第二柔性部的另一端与所述第二活动部连接，所述第二活动部与一个所述摇臂支撑件连接。
19、在本申请的其中一个实施例中，所述连接部的相对两侧分别连接有多个所述片状柔性部，且所述连接部的边角处设置有豁口。
20、在本申请的其中一个实施例中，所述第二柔性部设置有多个，多个所述第二柔性部沿所述第二活动部的周向间隔设置，且多个所述第二柔性部分别位于所述连接部和所述第二活动部之间。
21、在本申请的其中一个实施例中，所述第二固定部、多个所述片状柔性部、所述连接部、多个所述第二柔性部和所述第二活动部一体成型制成。
22、在本申请的其中一个实施例中，所述第二固定部与所述架体通过螺栓固定连接；和/或，所述第二活动部与所述摇臂支撑件通过螺栓固定连接。
23、在本申请的其中一个实施例中，所述摇臂支撑件包括支撑块和压块，所述连接件穿设于所述第二开口与所述支撑块固定连接，所述支撑块与所述柔性铰链结构连接，所述支撑块上开设有固定槽，所述固定槽为所述固定位，所述压块能够通过锁紧螺钉固定在所述固定槽的槽口处以抵接在所述固定槽内的所述反射镜端部。
24、在本申请的其中一个实施例中，所述固定槽的形状与所述反射镜端部的形状相匹配，以使所述固定槽的槽壁能够贴设于所述反射镜端部的表面上。
25、在本申请的其中一个实施例中，所述固定槽的至少一个槽壁上开设有避让槽。
26、在本申请的其中一个实施例中，该动态压弯调节装置还包括弹性补偿件，所述弹性补偿件分别抵接于所述驱动件和所述连接件之间，且所述弹性补偿件的底部与所述基座通过滑轨滑动连接。
27、在本申请的其中一个实施例中，所述连接件包括连接杆和连接块，所述连接块的一端穿设于所述第二开口与所述支撑块连接，所述连接块的另一端开设有螺纹孔，所述连接杆穿设于所述螺纹孔与所述弹性补偿件抵接，且所述连接杆通过锁紧螺母固定在所述连接块上。
28、第二方面，本申请的实施例还提供了一种光学仪器，包括上述任一实施例中的所述动态压缩调节装置。
29、本申请的实施例提供的光学仪器，具有上述任一实施例中的所述动态压弯调节装置，因此，具有上述任一实施例中所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种动态压弯调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述柔性铰链结构包括三个第一柔性铰链结构和一个第二柔性铰链结构；
3.根据权利要求2所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第一柔性铰链结构包括第一固定部、第一柔性部和第一活动部，所述第一固定部与所述架体连接，所述第一固定部上开设有第一贯穿孔，所述第一活动部位于所述第一贯穿孔内且与一个所述摇臂支撑件连接，所述第一柔性部的一端与所述第一贯穿孔的孔壁连接，另一端与所述第一活动部连接，且所述第一柔性部位于所述第一固定部和所述第一活动部之间。
4.根据权利要求3所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第一柔性部设置有多个，多个所述第一柔性部沿所述第一活动部的周向间隔设置。
5.根据权利要求4所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第一固定部、多个所述第一柔性部和所述第一活动部一体成型制成。
6.根据权利要求3所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第一固定部与所述架体通过螺栓固定连接；和/或，所述第一活动部与所述摇臂支撑件通过螺栓
7.根据权利要求2所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第二柔性铰链结构包括第二固定部、多个片状柔性部、连接部、第二柔性部和第二活动部，所述第二固定部与所述架体连接，所述第二固定部上开设有第二贯穿孔，所述连接部通过多个所述片状柔性部连接，且多个所述片状柔性部位于所述第二固定部和所述连接部之间；所述连接部上开设有连接孔，所述第二活动部位于所述连接孔内，且所述第二柔性部的一端与所述连接孔的孔壁连接，所述第二柔性部的另一端与所述第二活动部连接，所述第二活动部与一个所述摇臂支撑件连接。
8.根据权利要求7所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述连接部的相对两侧分别连接有多个所述片状柔性部，且所述连接部的边角处设置有豁口。
9.根据权利要求7所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第二柔性部设置有多个，多个所述第二柔性部沿所述第二活动部的周向间隔设置，且多个所述第二柔性部分别位于所述连接部和所述第二活动部之间。
10.根据权利要求9所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第二固定部、多个所述片状柔性部、所述连接部、多个所述第二柔性部和所述第二活动部一体成型制成。
11.根据权利要求7所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第二固定部与所述架体通过螺栓固定连接；和/或，所述第二活动部与所述摇臂支撑件通过螺栓固定连接。
12.根据权利要求1-11中任一项所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述摇臂支撑件包括支撑块和压块，所述连接件穿设于所述第二开口与所述支撑块固定连接，所述支撑块与所述柔性铰链结构连接，所述支撑块上开设有固定槽，所述固定槽为所述固定位，所述压块能够通过锁紧螺钉固定在所述固定槽的槽口处以抵接在所述固定槽内的所述反射镜端部。
13.根据权利要求12所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述固定槽的形状与所述反射镜端部的形状相匹配，以使所述固定槽的槽壁能够贴设于所述反射镜端部的表面上。
14.根据权利要求12所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述固定槽的至少一个槽壁上开设有避让槽。
15.根据权利要求12所述的动态压弯调节装置，其特征在于，还包括弹性补偿件，所述弹性补偿件分别抵接于所述驱动件和所述连接件之间，且所述弹性补偿件的底部与所述基座通过滑轨滑动连接。
16.根据权利要求15所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述连接件包括连接杆和连接块，所述连接块的一端穿设于所述第二开口与所述支撑块连接，所述连接块的另一端开设有螺纹孔，所述连接杆穿设于所述螺纹孔与所述弹性补偿件抵接，所述连接杆为螺纹杆，且所述连接杆通过锁紧螺母固定在所述连接块上。
17.一种光学仪器，其特征在于，包括如权利要求1-16中任一项所述的动态压弯调节装置。
...【技术特征摘要】
1.一种动态压弯调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述柔性铰链结构包括三个第一柔性铰链结构和一个第二柔性铰链结构；
3.根据权利要求2所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第一柔性铰链结构包括第一固定部、第一柔性部和第一活动部，所述第一固定部与所述架体连接，所述第一固定部上开设有第一贯穿孔，所述第一活动部位于所述第一贯穿孔内且与一个所述摇臂支撑件连接，所述第一柔性部的一端与所述第一贯穿孔的孔壁连接，另一端与所述第一活动部连接，且所述第一柔性部位于所述第一固定部和所述第一活动部之间。
4.根据权利要求3所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第一柔性部设置有多个，多个所述第一柔性部沿所述第一活动部的周向间隔设置。
5.根据权利要求4所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第一固定部、多个所述第一柔性部和所述第一活动部一体成型制成。
6.根据权利要求3所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第一固定部与所述架体通过螺栓固定连接；和/或，所述第一活动部与所述摇臂支撑件通过螺栓固定连接。
7.根据权利要求2所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述第二柔性铰链结构包括第二固定部、多个片状柔性部、连接部、第二柔性部和第二活动部，所述第二固定部与所述架体连接，所述第二固定部上开设有第二贯穿孔，所述连接部通过多个所述片状柔性部连接，且多个所述片状柔性部位于所述第二固定部和所述连接部之间；所述连接部上开设有连接孔，所述第二活动部位于所述连接孔内，且所述第二柔性部的一端与所述连接孔的孔壁连接，所述第二柔性部的另一端与所述第二活动部连接，所述第二活动部与一个所述摇臂支撑件连接。
8.根据权利要求7所述的动态压弯调节装置，其特征在于，所述连接部的相对两侧分别连接有多个所述片状柔性部，且所述连接部的边角处设置有豁口。
9.根据权利要求7所述的动态压弯调...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐彬豪，计展，秦宏亮，赵文斌，张未卿，
申请(专利权)人：深圳综合粒子设施研究院，
类型：发明
国别省市：
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