【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池制造，尤其是一种pecvd用石墨舟卡点及其安装方法。
技术介绍
1、目前的pecvd法制备topcon电池路线，其中pecvd步中需要在同一台机器内生长隧穿氧化层和非晶硅层。其中，隧穿氧化层的质量直接影响topcon电池最终el良率。在pecvd设备中，石墨舟卡点是保证硅片与石墨舟之间导通电流以及承载硅片的部件。
2、传统石墨舟卡点为一体化结构，例如专利公开号为cn205170969u的专利中公开了一种pecvd用石墨舟卡点，包括圆柱固定部及对称设置在圆柱固定部两侧的圆柱卡接部，圆柱卡接部包括第一圆柱卡接部和两端分别与第一圆柱卡接部和圆柱固定部连接的第二圆柱卡接部，第一圆柱卡接部、第二圆柱卡接部和圆柱固定部同轴布置，圆柱卡接部和圆柱固定部为一体式结构。
3、上述的石墨舟卡点结构，由于一体化结构，如图1所示，传统石墨舟卡点结构，在实际工作中在尖端放电处会产生尖端放电现象，导致卡点周围的隧穿氧化层偏厚，影响最终产品电性能。
技术实现思路
1、本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供pecvd用石墨舟卡点及其安装方法，避免卡点形状导致的电场干扰问题，从而避免pecvd法制备的topcon太阳能电池el不良的产生。
2、本专利技术所采用的技术方案如下：一种pecvd用石墨舟卡点，包括相互独立的第一不导电部件、导电部件和第二不导电部件；所述导电部件安装在石墨舟上，所述第一不导电部件和第二不导电部件对称安装在导电部件的两侧；所述第一
3、作为上述技术方案的进一步改进：
4、优选的，所述第一不导电部件和第二不导电部件两者之间的结构相同。
5、优选的，所述第一不导电部件和第二不导电部件的截面形状均为梯形状或矩形状。
6、优选的，截面形状为梯形状的第一不导电部件的短边朝向右侧，长边朝向左侧，长边的两侧与斜边接触端设置圆角；截面形状为梯形状的第二不导电部件的短边朝向左侧，长边朝向右侧，长边的两侧与斜边接触端设置圆角。
7、一种pecvd用石墨舟卡点的安装方法，包括以下步骤：
8、步骤一：将第一不导电部件、导电部件和第二不导电部件进行点清洗；
9、步骤二：将导电部件安装在石墨舟上；
10、步骤三：在石墨舟和导电部件之间进行氮化硅绝缘层饱和；
11、步骤四：依次在导电部件两侧安装第一不导电部件和第二不导电部件；
12、步骤四：进行pecvd工艺。
13、优选的，在步骤一中的点清洗具体是：石墨舟和导电部件通过水、氢氟酸、盐酸以及硝酸的混合溶液清洗；第一不导电部件和第二不导电部件使用氢氧化钠或者氢氧化钾清洗。
14、优选的，混合溶液中，水：氢氟酸：盐酸：硝酸之间的体积比是2000：1000：200：1000。
15、优选的，在步骤二中将导电部件安装在石墨舟上具体是：在石墨舟上预先设置匹配导电部件的卡槽，将导电部件楔入卡槽内。
16、优选的，在步骤四中安装第一不导电部件和第二不导电部件的具体过程是：在导电部件的两侧分别设置有与第一不导电部件和第二不导电部件相匹配的安装卡槽，分别将第一不导电部件和第二不导电部件楔入两侧对应的安装卡槽内。
17、本专利技术的有益效果如下：
18、本专利技术结构紧凑、装配合理并且操作方便，通过位于两侧的第一不导电部件和第二不导电部件以及位于中部的导电部件组合装配而成，中部的导电部件是石墨材质制成并且与石墨舟匹配，保证硅片与石墨接触部分导电，而两侧的不导电部件是不导电的陶瓷或石英材质制成的环状部件，两侧不导电也就不会影响卡点处的电场，可以有效保证该处隧穿氧化层膜厚与其他地方保持一致，本专利技术的pecvd用石墨舟卡点直接通过卡点结构本身进行并参加整个工艺，无需附加任何遮盖结构，就可以改善正常生产镀膜工艺过程中的电场，还能保证后续使用过程中的良率。
19、本专利技术还具有以下优点：
20、本专利技术将两侧的不导电部件的截面设置为梯形状，使硅片的插片更方便，同时也不容易划伤硅片。
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1.一种PECVD用石墨舟卡点，其特征在于：包括相互独立的第一不导电部件(1)、导电部件(2)和第二不导电部件(3)；
2.如权利要求1所述的PECVD用石墨舟卡点，其特征在于：所述第一不导电部件(1)和第二不导电部件(3)两者之间的结构相同。
3.如权利要求2所述的PECVD用石墨舟卡点，其特征在于：所述第一不导电部件(1)和第二不导电部件(3)的截面形状均为梯形状。
4.如权利要求3所述的PECVD用石墨舟卡点，其特征在于：截面形状为梯形状的第一不导电部件(1)的短边朝向右侧，长边朝向左侧，长边的两侧与斜边接触端设置圆角。
5.如权利要求3所述的PECVD用石墨舟卡点，其特征在于：截面形状为梯形状的第二不导电部件(3)的短边朝向左侧，长边朝向右侧，长边的两侧与斜边接触端设置圆角。
6.一种PECVD用石墨舟卡点的安装方法，其特征在于：
7.如权利要求6所述的PECVD用石墨舟卡点的安装方法，其特征在于：在步骤一中的点清洗具体是：石墨舟和导电部件(2)通过水、氢氟酸、盐酸以及硝酸的混合溶液清洗；第一不导电部
8.如权利要求7所述的PECVD用石墨舟卡点的安装方法，其特征在于：所述混合溶液中，水：氢氟酸：盐酸：硝酸之间的体积比是2000:1000:200:1000。
9.如权利要求6所述的PECVD用石墨舟卡点的安装方法，其特征在于：在步骤二中将导电部件(2)安装在石墨舟上具体是：在石墨舟上预先设置匹配导电部件(2)的卡槽，将导电部件(2)楔入卡槽内。
10.如权利要求6所述的PECVD用石墨舟卡点的安装方法，其特征在于：在步骤四中安装第一不导电部件(1)和第二不导电部件(3)的具体过程是：在导电部件(2)的两侧分别设置有与第一不导电部件(1)和第二不导电部件(3)相匹配的安装卡槽，分别将第一不导电部件(1)和第二不导电部件(3)楔入两侧对应的安装卡槽内。
...【技术特征摘要】
1.一种pecvd用石墨舟卡点，其特征在于：包括相互独立的第一不导电部件(1)、导电部件(2)和第二不导电部件(3)；
2.如权利要求1所述的pecvd用石墨舟卡点，其特征在于：所述第一不导电部件(1)和第二不导电部件(3)两者之间的结构相同。
3.如权利要求2所述的pecvd用石墨舟卡点，其特征在于：所述第一不导电部件(1)和第二不导电部件(3)的截面形状均为梯形状。
4.如权利要求3所述的pecvd用石墨舟卡点，其特征在于：截面形状为梯形状的第一不导电部件(1)的短边朝向右侧，长边朝向左侧，长边的两侧与斜边接触端设置圆角。
5.如权利要求3所述的pecvd用石墨舟卡点，其特征在于：截面形状为梯形状的第二不导电部件(3)的短边朝向左侧，长边朝向右侧，长边的两侧与斜边接触端设置圆角。
6.一种pecvd用石墨舟卡点的安装方法，其特征在于：
7.如权利要求6所述的pecvd用石墨舟卡点的安装方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆敏，卓倩武，张旭冉，俞玉松，
申请(专利权)人：无锡松煜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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