System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 蒸镀水冷辊组件及真空镀膜设备制造技术_技高网

蒸镀水冷辊组件及真空镀膜设备制造技术

技术编号:42024021 阅读:3 留言:0更新日期:2024-07-16 23:14
本发明专利技术公开了一种蒸镀水冷辊组件及真空镀膜设备,包括:冷却辊,其内设置冷却液存放的筒型空腔,冷却辊可转动,薄膜贴合冷却辊设置,并设置冷却液循环机构,用于连通该空腔以循环冷却液;负压辊,至少设置在所述冷却辊的进料的一侧;以及,若干导向辊;所述冷却辊和负压辊的作用面分别与处理基板的两表面接触配合,且冷却辊和负压辊圆心的连线不垂直于基板,其辊体上均设置负压组件,对与辊体表面接触的基板形成负压抽吸作用,利于进行展平及除湿。本发明专利技术由于冷却辊和负压辊错位且设置在膜材的两侧,两辊体产生方向相反的负压抽吸作用,还可对膜材形成对膜体的张紧作用,并实现对冷却水的抽吸干燥作用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及聚合物薄膜冷却设备,尤其涉及一种蒸镀水冷辊组件及真空镀膜设备


技术介绍

1、导电薄膜是一种表面镀有金属的一种高分子材料,其在蒸镀加工过程中,真空腔室内蒸发出的金属分子朝向薄膜移动,尤其是大蒸发量的情况下,会使得高分子薄膜表面温度上升,因此需要利用冷却辊对薄膜表面进行降温,一般蒸镀设备中会配置冷却辊,对薄膜进行冷却。

2、在实际生产中,由于冷却辊的冷却温度在0℃以下(后续会降低至更低温度);同时,蒸镀时,需要反复蒸镀多次,出仓时,膜温一般降低,显著低于车间温度(23℃左右),同时车间虽然会控制湿度,但是环境中还是会存在水汽,会冷凝附着在膜层表面,附着有冷凝水(雾)的薄膜再次进入真空室内进行蒸镀时,会影响镀层的附着力。

3、另外,薄膜是基于多组辊组导向及牵引,张力会存在不均匀的情况,会使得贴合冷却辊的薄膜出现褶皱,无法贴合冷却辊,进而会使得薄膜发生变形或者烫穿的情况。

4、现有技术中,如中国专利公告号cn202450148u,其公开了喷气方式改进的贴鼓式镀膜设备,包括主辊、弯辊和喷气装置,喷气装置是一根空心的喷气管,在喷气管管体的两端附近表面分别设有若干个、呈直线排列的微孔,喷气管位于薄膜和主辊夹角的最底部,喷气管的微孔朝向主辊与薄膜间夹角的中间位置。一方面可以保证辊体与薄膜的贴合性,褶皱情况可得到改善,也可为保证真空镀铝时,薄膜能够贴鼓设置。

5、但是,充气展平的方式,可能会造成气体外溢,影响蒸镀时金属气体的接触薄膜时的能量,另外,也无法解决冷凝水雾的问题。

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技术实现思路

1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本专利技术的一个目的在于提出一种蒸镀水冷辊组件,基于互配的同步抽吸的负压辊及冷却辊,实现对膜体的表面冷凝水汽的去除,并改善贴鼓性能。

2、本专利技术的另一个目的是,提供了基于上述组件的真空镀膜设备。

3、本专利技术的技术方案如下:

4、一种蒸镀水冷辊组件,本实施例中设置为贴鼓式,其结构包括:

5、冷却辊,其内设置冷却液存放的筒型空腔,冷却辊可转动,薄膜贴合冷却辊设置,并设置冷却液循环机构,用于连通该空腔以循环冷却液;

6、负压辊,至少设置在所述冷却辊的进料的一侧;

7、以及,若干导向辊,用于调节薄膜传输方向、并辅助调节张力;

8、其中,所述冷却辊和负压辊的作用面分别与处理基板的两表面接触配合,且冷却辊和负压辊圆心的连线不垂直于基板,其辊体上均设置负压组件,对与辊体表面接触的基板形成负压抽吸作用,利于进行展平及除湿。

9、基于上述技术方案,由于冷却辊和负压辊错位且设置在膜材的两侧,两辊体产生方向相反的负压抽吸作用,还可对膜材形成对膜体的张紧作用,并实现对冷却水的抽吸干燥作用。

10、进一步地,负压组件包括整体沿辊体轴向分布的若干组负压气路,以产生抽吸力;负压气路连通汇入至设置在与辊体端侧同轴线的腔管结构中,所述腔管结构接入外部负压设备。

11、进一步地,负压气路设置为管路,管路上开设有气孔。

12、基于上述技术方案,负压气路为气管,便于对气路进行布置。

13、进一步地,对应管路在辊体作用面开设安装槽体,用于管路的嵌设安装。

14、基于上述技术方案,可以避免设置管路时,影响辊体作用面的平整性。

15、进一步地,在管路外侧覆盖壳结构,形成作用面,壳结构对应管路开设通孔。

16、基于上述技术方案,适用无需开槽布置管路的情形。

17、进一步地,负压气路为设置在辊体表面的槽结构,并在槽结构表面覆盖设置密封结构,密封结构对应槽结构开设相连通的气孔。

18、基于上述技术方案,通过相关连通的槽结构和密封结构,以形成气路通道。

19、进一步地,腔管结构包括中空的轴体,和/或连接在轴体上的中空管体。

20、进一步地,冷却辊进料侧的膜材与辊体的夹角不小于出料侧的夹角。

21、基于上述技术方案,使得进料冷却时,膜材能够充分接触冷却辊,保证足够的接触包角及张紧力,且出料时,避免包角过大,使得张力及压力过大,反而影响膜面质量。

22、进一步地,辊体作用面对应的负压气路中轴向的两端部对应薄膜传输方向倾斜。

23、基于上述技术方案,气路的幅宽两侧形成倾斜,使得负压组件中对应辊体幅宽方向两端部的管路中会优先靠近薄膜并产生吸附力,可预先起到对薄膜横向张紧、展平的效果,配合对应或相邻管路的中部区域的管路,在利于薄膜横向展平同时,也方便进行抽吸。

24、一种真空镀膜设备,包含有上述水冷辊组件。

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【技术保护点】

1.一种蒸镀水冷辊组件,包括:

2.根据权利要求1所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,负压组件包括整体沿辊体轴向分布的若干组负压气路,以产生抽吸力;负压气路连通汇入至设置在与辊体端侧同轴线的腔管结构中,所述腔管结构接入外部负压设备。

3.根据权利要求2所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,负压气路设置为管路,管路上开设有气孔。

4.根据权利要求3所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,对应管路在辊体作用面开设安装槽体,用于管路的嵌设安装。

5.根据权利要求3所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,在管路外侧覆盖壳结构,形成作用面,壳结构对应管路开设通孔。

6.根据权利要求2所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,负压气路为设置在辊体表面的槽结构,并在槽结构表面覆盖设置密封结构,密封结构对应槽结构开设相连通的气孔。

7.根据权利要求2-6中任意一项所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,腔管结构包括中空的轴体,和/或连接在轴体上的中空管体。

8.根据权利要求7所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,冷却辊进料侧的膜材与辊体的夹角不小于出料侧的夹角。

9.根据权利要求2-6、8中任意一项所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,辊体作用面对应的负压气路中轴向的两端部对应薄膜传输方向倾斜。

10.一种真空镀膜设备,其特征在于,包含有权利要求9所述的蒸镀水冷辊组件。

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【技术特征摘要】

1.一种蒸镀水冷辊组件,包括:

2.根据权利要求1所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,负压组件包括整体沿辊体轴向分布的若干组负压气路,以产生抽吸力;负压气路连通汇入至设置在与辊体端侧同轴线的腔管结构中,所述腔管结构接入外部负压设备。

3.根据权利要求2所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,负压气路设置为管路,管路上开设有气孔。

4.根据权利要求3所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,对应管路在辊体作用面开设安装槽体,用于管路的嵌设安装。

5.根据权利要求3所述的蒸镀水冷辊组件,其特征在于,在管路外侧覆盖壳结构,形成作用面,壳结构对应管路开设通孔。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:伽龙刘志康吴明忠
申请(专利权)人:浙江柔震科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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