【技术实现步骤摘要】
本申请涉及镀膜设备的，尤其是涉及一种镀膜设备的密封锁紧装置。
技术介绍
1、磁控溅射镀膜机是一种先进的镀膜设备，它在工业应用中广泛应用于制备各种金属、非金属薄膜，从而实现材料表面改性或功能化。磁控溅射镀膜机主要由真空室、电源系统、进样室、控制系统等组成。其核心部分是磁控溅射靶，通过在靶材表面产生高速电子与气体分子碰撞，使气体分子分解并沉积在基材表面，形成薄膜。
2、相关技术中，在磁控溅射镀膜机一侧设置有前装门，前装门一端与机体铰接，另一端设置有锁止结构，用于前装门与机体的连接或分离，当前装门与机体连接时，真空室与外界隔离，避免外界空气从连接处流到真空室内。
3、相关技术存在的问题是，锁止结构仅能起到将前装门与机体连接的作用，而不能保证前装门与机体连接处的密封效果，而且锁止结构都采用手动方式来控制，在经过长时间使用后，锁止结构内的各机械部件被磨损，锁止效果逐渐下降，导致前装门和机体连接处松动，影响二者之间的密封性。
技术实现思路
1、为了提高前装门与机体连接处的密封性能，本申请提供一种镀膜设备的密封锁紧装置。
2、本申请提供的一种镀膜设备的密封锁紧装置采用如下的技术方案：
3、一种镀膜设备的密封锁紧装置，包括镀膜机体和前装门，所述前装门的一侧与镀膜机体铰接，另一侧设置有手动锁紧机构，用于将前装门和镀膜机体连接，所述前装门的两端分别开设有凹槽，所述凹槽内设置有抵接件，所述抵接件与凹槽之间形成压紧槽，所述镀膜机体上设置有自动锁紧机构，所述自
4、通过采用上述技术方案，手动锁紧机构和自动锁紧机构配合设置，提高了前装门和镀膜机体之间的连接效果，保证密封，密封条的设置进一步减少外界空气从前装门和镀膜机体的连接处进入。
5、可选的，所述驱动组件包括安装于镀膜机体上的旋转气缸，以及连接于所述旋转气缸驱动端的连接件，所述连接件远离旋转气缸的一端与压紧辊连接。
6、通过采用上述技术方案，旋转气缸能够带动连接件转动，连接件带动压紧辊转动。
7、可选的，所述抵接件包括一体式设置的挤压部和保持部，所述保持部为与压紧辊相配合的弧形，所述挤压部被配置为当压紧辊经过时，能够被压紧辊挤压，使前装门向镀膜机体移动的结构。
8、通过采用上述技术方案，当压紧辊经过挤压部时，对其施加压力，使前装门向镀膜机体移动，前装门紧贴与镀膜机体的接触面，压紧辊最终位置固定于压紧槽内，保证密封效果。
9、可选的，所述手动锁紧机构包括转动安装于前装门一侧的锁壳，所述锁壳内设置有锁芯组件，所述锁芯组件用于与锁杆卡接，所述锁壳表面开设有可供锁杆通过的锁孔。
10、通过采用上述技术方案，转动锁壳可使锁孔与锁杆对应或错开，当锁杆进入锁孔内时，继续转动锁壳使锁芯组件与锁杆卡接，使前装门固定在镀膜机体上。
11、可选的，所述锁壳内设置有芯座，所述芯座与锁壳内壁之间形成一环形通道，所述环形通道内设置有两挡板，两所述挡板之间形成可供锁杆活动的锁槽，所述锁孔设置于锁槽的一端并与锁槽连通，所述芯座内形成有腔体，所述锁芯组件容置与腔体内。
12、通过采用上述技术方案，锁杆经锁孔进入锁槽内，两挡板的设置对锁杆的位置进行限定，使锁壳仅能在两挡板之间转动。
13、可选的，所述锁芯组件包括固定台、卡杆和弹簧，所述固定台一体式设置于芯座内，所述固定台内形成有滑槽，所述卡杆滑动设置于滑槽内，所述卡杆朝向滑槽底壁的一面开设有容置槽，所述弹簧一端与滑槽底壁连接，另一端延伸至容置槽内与卡杆抵接。
14、通过采用上述技术方案，卡杆与固定台滑动连接，当卡杆向远离固定台方向滑动时，弹簧拉伸，当卡杆朝固定台方向滑动时，弹簧压缩。
15、可选的，所述芯座表面开设有穿孔，所述卡杆远离固定台的一端穿过穿孔向外延伸至锁槽内，所述卡杆延伸至锁槽外的部分与其中一挡板之间形成卡腔，所述卡腔与锁杆相配合。
16、通过采用上述技术方案，卡杆穿过穿孔延伸至锁槽内，在锁壳转动时，锁杆向卡杆移动，卡杆缩回滑槽内供锁杆通过，锁杆完全通过后进入卡腔，卡杆在弹簧作用下重新伸出，与锁杆卡接，实现锁止。
17、可选的，所述锁壳的表面形成有把手，所述把手沿锁壳的径向延伸。
18、通过采用上述技术方案，把手方便工作人员转动锁壳和拉动前装门。
19、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
20、1.通过手动锁紧机构和自动锁紧机构的配合设置，关闭前装门时，锁杆通过锁孔进入锁槽内，进一步转动锁壳使锁杆通过卡杆进入卡腔，卡杆在弹簧作用下复位，与锁杆卡接，实现初步锁紧，同时，旋转气缸通过连接件带动压紧辊转动至凹槽内，经过抵接件时，对抵接件施加压力，使前装门向镀膜机体进一步移动，提高密封效果，压紧辊最终转动至压紧槽内固定，实现二次锁紧，避免外界空气从前装门和镀膜机体连接处流入。
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1.一种镀膜设备的密封锁紧装置，包括镀膜机体（1）和前装门（2），所述前装门（2）的一侧与镀膜机体（1）铰接，另一侧设置有手动锁紧机构（3），所述镀膜机体（1）上设置有相配合的锁杆（4），用于将前装门（2）和镀膜机体（1）连接，其特征在于：所述前装门（2）的两端分别开设有凹槽，所述凹槽内设置有抵接件（5），所述抵接件（5）与凹槽之间形成压紧槽（6），所述镀膜机体（1）上设置有自动锁紧机构（7），所述自动锁紧机构（7）包括压紧辊（71）和驱动组件（72），所述驱动组件（72）被配置为可带动压紧辊（71）移动至压紧槽（6）内，或从压紧槽（6）内移出的结构，所述前装门（2）朝向镀膜机体（1）的一面设置有密封条（8）。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述驱动组件（72）包括安装于镀膜机体（1）上的旋转气缸（721），以及连接于所述旋转气缸（721）驱动端的连接件（722），所述连接件（722）远离旋转气缸（721）的一端与压紧辊（71）连接。
3.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述抵接件（5）包括一体
4.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述手动锁紧机构（3）包括转动安装于前装门（2）一侧的锁壳（31），所述锁壳（31）内设置有锁芯组件（32），所述锁芯组件（32）用于与锁杆（4）卡接，所述锁壳（31）表面开设有可供锁杆（4）通过的锁孔（311）。
5.根据权利要求4所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述锁壳（31）内设置有芯座（312），所述芯座（312）与锁壳（31）内壁之间形成一环形通道，所述环形通道内设置有两挡板（313），两所述挡板（313）之间形成可供锁杆（4）活动的锁槽（314），所述锁孔（311）设置于锁槽（314）的一端并与锁槽（314）连通，所述芯座（312）内形成有腔体，所述锁芯组件（32）容置与腔体内。
6.根据权利要求5所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述锁芯组件（32）包括固定台（321）、卡杆（322）和弹簧（323），所述固定台（321）一体式设置于芯座（312）内，所述固定台（321）内形成有滑槽，所述卡杆（322）滑动设置于滑槽内，所述卡杆（322）朝向滑槽底壁的一面开设有容置槽，所述弹簧（323）一端与滑槽底壁连接，另一端延伸至容置槽内与卡杆（322）抵接。
7.根据权利要求6所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述芯座（312）表面开设有穿孔，所述卡杆（322）远离固定台（321）的一端穿过穿孔向外延伸至锁槽（314）内，所述卡杆（322）延伸至锁槽（314）外的部分与其中一挡板（313）之间形成卡腔，所述卡腔与锁杆（4）相配合。
8.根据权利要求4所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述锁壳（31）的表面形成有把手（9），所述把手（9）沿锁壳（31）的径向延伸。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备的密封锁紧装置，包括镀膜机体（1）和前装门（2），所述前装门（2）的一侧与镀膜机体（1）铰接，另一侧设置有手动锁紧机构（3），所述镀膜机体（1）上设置有相配合的锁杆（4），用于将前装门（2）和镀膜机体（1）连接，其特征在于：所述前装门（2）的两端分别开设有凹槽，所述凹槽内设置有抵接件（5），所述抵接件（5）与凹槽之间形成压紧槽（6），所述镀膜机体（1）上设置有自动锁紧机构（7），所述自动锁紧机构（7）包括压紧辊（71）和驱动组件（72），所述驱动组件（72）被配置为可带动压紧辊（71）移动至压紧槽（6）内，或从压紧槽（6）内移出的结构，所述前装门（2）朝向镀膜机体（1）的一面设置有密封条（8）。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述驱动组件（72）包括安装于镀膜机体（1）上的旋转气缸（721），以及连接于所述旋转气缸（721）驱动端的连接件（722），所述连接件（722）远离旋转气缸（721）的一端与压紧辊（71）连接。
3.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述抵接件（5）包括一体式设置的挤压部（51）和保持部（52），所述保持部（52）为与压紧辊（71）相配合的弧形，所述挤压部（51）被配置为当压紧辊（71）经过时，能够被压紧辊（71）挤压，使前装门（2）向镀膜机体（1）移动的结构。
4.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的密封锁紧装置，其特征在于：所述手动锁紧机构（3）包括转动安装于前装门（2）一侧的锁壳（31），所述锁壳（31）内设置有锁芯组件（3...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡冀，占兵，周家维，
申请(专利权)人：深圳市黄金屋真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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