【技术实现步骤摘要】
本技术涉及超纯电子特气离线痕量杂质分析前期样品处理，特别涉及一种超纯电子特气在线吸附装置。
技术介绍
1、超纯电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气净化后的痕量金属杂质含量愈加关键和重要。随着半导体产业的快速发展，超纯电子特气的市场需求也在高速增长，同时对品质要求也越来越高。然而在如何将超纯电子特气转化为既可代表当前特气取样代表性，又能满足后续上机检测的要求，目前未有统一的在线电子特气吸附装置，其不规范的取样流程，严重影响后续超纯电子特气的品质判定。
2、因此，本专利着重从取样的代表性、污染源的规避、取样量的精准控制等来彻底解决，保障超纯电子特气生产厂家在批量取样使用的需求。
3、目前国内超纯电子特气生产厂取样装置，在实际的使用存在以下问题：
4、1、材料的选择存在杂质析出问题，严重影响产品的品质判定。
5、2、在线取样的方式无法满足样品代表性问题。
6、3、吸附体积的控制存在偏差。
7、因此，提出一种超纯电子特气在线吸附装置来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种超纯电子特气在线吸附装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
3、一种超纯电子特气在线吸附装置，包括盛装有特气吸附液的吸附瓶，还包括
4、优选的，所述吸附管从吸附瓶的顶部接入，且接入端位于特气吸附液液面以下。
5、优选的，所述尾气管的两端分别从吸附瓶和尾气吸附瓶的顶部接入，且接入吸附瓶的一端位于特气吸附液液面以上，接入尾气吸附瓶的一端位于尾气消解液以下。
6、优选的，所述吸附管上还设置有减压阀。
7、优选的，所述尾气管上设置有气体流量计以及止回阀。
8、优选的，所述吸附瓶和尾气吸附瓶上均设置有透明观察条。
9、优选的，尾气吸附瓶的一侧下端连接有排液口，所述排液口上设置有控制阀。
10、优选的，还包括清洁组件；所述清洁组件包括从尾气吸附瓶顶部接入的清洗管，所述清洗管的底部连通有十字管，所述十字管的外侧连通有环形管，所述环形管的底部均匀设置有与尾气吸附瓶内腔侧壁对应的喷头。
11、有益效果
12、与现有技术相比，本技术提供了一种超纯电子特气在线吸附装置，具备以下有益效果：
13、1、该超纯电子特气在线吸附装置，吸附瓶、尾气吸附瓶、吸附管、尾气管、取样三通阀、气体流量计便于实现对特气的吸附和尾气处理，减压阀为减压并调节现场工艺管内特气压力至合理范围内，并保持稳定，气体流量计为计量吸附特气的体积，解决了以往装置因材质选取不合理而造成的杂质析出问题，解决了以往装置存在取样代表性不充分问题，缩小了以往装置吸附体积控制偏差问题。
14、2、该超纯电子特气在线吸附装置，透明观察条便于观察吸附瓶和尾气吸附瓶内部的情况，排液口和控制阀的配合设置便于使用后废液的排出处理，清洗管、十字管、环形管、喷头的配合设置可以外接清洁水源绝对尾气吸附瓶的内壁进行清洗。
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1.一种超纯电子特气在线吸附装置，包括盛装有特气吸附液的吸附瓶(1)，其特征在于，还包括盛装有尾气消解液的尾气吸附瓶(8)，所述吸附瓶(1)和尾气吸附瓶(8)之间通过尾气管(3)连接，所述吸附瓶(1)上还连接有吸附管(2)，所述吸附管(2)上设置有取样三通阀(5)以及与取样三通阀(5)对应的吹扫管(9)。
2.根据权利要求1所述的一种超纯电子特气在线吸附装置，其特征在于：所述吸附管(2)从吸附瓶(1)的顶部接入，且接入端位于特气吸附液液面以下。
3.根据权利要求2所述的一种超纯电子特气在线吸附装置，其特征在于：所述尾气管(3)的两端分别从吸附瓶(1)和尾气吸附瓶(8)的顶部接入，且接入吸附瓶(1)的一端位于特气吸附液液面以上，接入尾气吸附瓶(8)的一端位于尾气消解液以下。
4.根据权利要求3所述的一种超纯电子特气在线吸附装置，其特征在于：所述吸附管(2)上还设置有减压阀(4)。
5.根据权利要求4所述的一种超纯电子特气在线吸附装置，其特征在于：所述尾气管(3)上设置有气体流量计(6)以及止回阀(7)。
6.根据权利要求5
7.根据权利要求6所述的一种超纯电子特气在线吸附装置，其特征在于：尾气吸附瓶(8)的一侧下端连接有排液口(12)，所述排液口(12)上设置有控制阀(13)。
8.根据权利要求7所述的一种超纯电子特气在线吸附装置，其特征在于：还包括清洁组件；所述清洁组件包括从尾气吸附瓶(8)顶部接入的清洗管(10)，所述清洗管(10)的底部连通有十字管(14)，所述十字管(14)的外侧连通有环形管(15)，所述环形管(15)的底部均匀设置有与尾气吸附瓶(8)内腔侧壁对应的喷头(16)。
...【技术特征摘要】
1.一种超纯电子特气在线吸附装置，包括盛装有特气吸附液的吸附瓶(1)，其特征在于，还包括盛装有尾气消解液的尾气吸附瓶(8)，所述吸附瓶(1)和尾气吸附瓶(8)之间通过尾气管(3)连接，所述吸附瓶(1)上还连接有吸附管(2)，所述吸附管(2)上设置有取样三通阀(5)以及与取样三通阀(5)对应的吹扫管(9)。
2.根据权利要求1所述的一种超纯电子特气在线吸附装置，其特征在于：所述吸附管(2)从吸附瓶(1)的顶部接入，且接入端位于特气吸附液液面以下。
3.根据权利要求2所述的一种超纯电子特气在线吸附装置，其特征在于：所述尾气管(3)的两端分别从吸附瓶(1)和尾气吸附瓶(8)的顶部接入，且接入吸附瓶(1)的一端位于特气吸附液液面以上，接入尾气吸附瓶(8)的一端位于尾气消解液以下。
4.根据权利要求3所述的一种超纯电子特气在线吸附装置，其特征在于：所述吸附管(2)上...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨昊，白圣玉，孙康康，马嘉宸，周游，
申请(专利权)人：弘元能源科技包头有限公司，
类型：新型
国别省市：
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