【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻工艺，具体涉及一种匀胶显影机的光阻补液装置。
技术介绍
1、光阻是匀胶显影机中主重要的消耗化学品，通常价格昂贵，是匀胶显影机运行的主要成本。
2、如图2所示，光阻会存储在专用光阻瓶10内，一般是1加仑的容积。使用时把光阻瓶10放置在匀胶显影机的化学柜里面，然后盖上瓶盖12，该瓶盖12上有连接有一根加压管14和连接管18，加压管14里通上氮气，让光阻从光阻瓶10内沿着连接管18补给到缓存瓶20内。缓存瓶20包括出液管26和排气管22。补液时，打开加压阀16和排气阀23，通过氮气加压，使光阻补充到缓存瓶20内，直到液面满到排气管22口，然后关闭排气阀23和加压阀16，补液动作完成。但是现有的缓存瓶20的排气管22上的排气阀23是手动阀门，补液时需要人工操作打开，补液结束时再人工关闭，比较繁琐，而且稍不注意将有光阻溢出排气管22，溢出的光阻不能回收，导致浪费。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种匀胶显影机的光阻补液装置，该装置结构简单，操作方便，能够自动控制氮气加压，从而实现对缓存瓶的自动补液。
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种匀胶显影机的光阻补液装置，包括光阻瓶和缓存瓶，所述光阻瓶包括光阻瓶瓶身和盖在光阻瓶瓶身的瓶口位置的瓶盖，所述光阻瓶瓶身具有用于盛装液体的第一空腔，所述瓶盖上穿设有氮气加压管，该加压管的一端伸入第一空腔内顶部，所述缓存瓶具有第二空腔，所述瓶盖上设有与所述缓存瓶顶部连接能供第一空腔内液体流入
4、采用上述技术方案，通过气压的方式将光阻瓶内光阻沿着连接管补给到缓存瓶内，由液位传感器进行检测缓存瓶内补液是否完成，并通过控制器的控制实现加压阀和排气阀的同时打开或关闭。这样，不仅减少人工操作的强度、大大提高工作效率，还有效避免光阻溢出排气管而造成的浪费，且结构简单、操作方便。
5、在本技术的优选实施方式中：所述液位传感器位于排气阀上方。当液位传感器位于排气阀上方，这样可以检测到第二空腔内补液完成，同时可以保证排气阀关闭后第二空腔内部不会留有气体。
6、作为本技术的改进中：所述加压阀和所述排气阀均为气动阀，所述控制器由电磁阀和控制气管构成。所述加压阀和所述排气阀都连接于同一根所述控制气管上，所述控制气管上设置有所述电磁阀，通过所述电磁阀的控制所述加压阀和所述排气阀能够同时打开或者关闭。气动阀具有耐用、成本低、结构简单、而且安装方便的优点。
7、作为本技术进一步的改进中：所述缓存瓶底部连接有出液管。
8、综上所述，本技术的光阻补液装置不仅减少人工操作的强度、大大提高工作效率，还能避免光阻从排气管溢出而造成浪费，且结构简单、操作方便。
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1.一种匀胶显影机的光阻补液装置，包括光阻瓶和缓存瓶，所述光阻瓶包括光阻瓶瓶身和盖在光阻瓶瓶身的瓶口位置的瓶盖，所述光阻瓶瓶身具有用于盛装液体的第一空腔，所述瓶盖上穿设有氮气加压管，该加压管的出口端伸入第一空腔的顶部，所述缓存瓶具有第二空腔，所述瓶盖上设有与所述缓存瓶顶部连接能供第一空腔内液体流入第二空腔的连接管，该连接管的进口端伸入第一空腔的底部，出口端伸入第二空腔的顶部，所述缓存瓶顶部设有排气管，所述加压管上设有加压阀，所述排气管上设有排气阀，其特征在于：还包括一个与所述加压阀和所述排气阀连接并能够控制所述加压阀和所述排气阀同时打开或关闭的控制器，所述排气管上还设有用于检测第二空腔内液体是否盛满的液位传感器。
2.根据权利要求1所述的匀胶显影机的光阻补液装置,其特征在于：所述液位传感器位于排气阀上方。
3.根据权利要求1所述的匀胶显影机的光阻补液装置,其特征在于：所述加压阀和所述排气阀均为气动阀，所述控制器由电磁阀和控制气管构成，所述加压阀和所述排气阀都连接于同一根所述控制气管上，所述控制气管上设置有所述电磁阀，通过所述电磁阀的控制所述加压阀和所述排气
4.根据权利要求1所述的匀胶显影机的光阻补液装置,其特征在于：所述缓存瓶底部连接有出液管。
5.根据权利要求1所述的匀胶显影机的光阻补液装置,其特征在于：所述光阻瓶为加仑光阻瓶。
...【技术特征摘要】
1.一种匀胶显影机的光阻补液装置，包括光阻瓶和缓存瓶，所述光阻瓶包括光阻瓶瓶身和盖在光阻瓶瓶身的瓶口位置的瓶盖，所述光阻瓶瓶身具有用于盛装液体的第一空腔，所述瓶盖上穿设有氮气加压管，该加压管的出口端伸入第一空腔的顶部，所述缓存瓶具有第二空腔，所述瓶盖上设有与所述缓存瓶顶部连接能供第一空腔内液体流入第二空腔的连接管，该连接管的进口端伸入第一空腔的底部，出口端伸入第二空腔的顶部，所述缓存瓶顶部设有排气管，所述加压管上设有加压阀，所述排气管上设有排气阀，其特征在于：还包括一个与所述加压阀和所述排气阀连接并能够控制所述加压阀和所述排气阀同时打开或关闭的控制器，所述排气管上还设有用于检测第二空腔内液体是否盛满的液位...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡伟，
申请(专利权)人：上海至纯半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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