【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种加热器及喷淋头。
技术介绍
1、在薄膜沉积过程中，通常通过喷淋板，将材料以溶液或气体的形式喷洒到基底表面，然后在基底上沉积成薄膜。因此，温度控制对于液态材料的蒸发速率、溶解度和化学反应都至关重要。通过加热喷淋板，可以控制材料的温度，有助于确保所沉积的薄膜材料的均匀性以及薄膜材料的成分。
2、现有的喷淋板加热技术采用加热棒，利用热传导对喷淋板进行加热。但由于加热棒的线接触特性，使喷淋板无法均匀受热，导致热传导效率较低，且加热不够均匀。
3、为了克服现有技术存在的上述缺陷，本领域亟需一种加热器技术，用于实现喷淋头的面加热，以提高喷淋板加热的效率及均匀性，从而优化半导体器件的薄膜均匀性及性能参数。
技术实现思路
1、以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之前序。
2、为了克服现有技术存在的上述缺陷，本技术提供一种加热器，以及一种喷淋板，用于实现喷淋头的面加热，以提高喷淋板加热的效率及均匀性，从而优化半导体器件的薄膜均匀性及性能参数。
3、具体来说，根据本技术第一方面提供的加热器包括：加热层，用于在至少一个发热表面产生热量；储热层，其第一表面覆盖所述加热层的所述发热表面，用于储存其发出的热量
4、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述加热层包括两个所述发热表面，所述加热器包括两个所述储热层及两个所述导热层，其中，第一储热层的第一表面覆盖所述加热层的第一发热表面，第一导热层的第一表面覆盖所述第一储热层的第二表面，所述第一导热层的第二表面接触所述薄膜沉积装置的所述喷淋板，用于将所述第一储热层的第二表面的热量传输到所述喷淋板，以均匀加热所述喷淋板，第二储热层的第一表面覆盖所述加热层的第二发热表面，第二导热层的第一表面覆盖所述第二储热层的第二表面，所述第二导热层的第二表面位于所述喷淋板与上方的喷淋上盖之间的混气腔，用于将所述第二储热层的第二表面的热量传输到所述混气腔，以均匀加热所述混气腔中的气体。
5、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述加热层中集成有发热膜和/或加热丝，其分布的尺寸及形状适配所述喷淋板的尺寸及形状。
6、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述储热层中包含云母材料，用于对所述发热膜和/或所述加热丝进行绝缘、储存所述发热表面产生的热量，并在所述储热层的第二表面产生分布均匀的热量。
7、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述导热层由不锈钢材料制成，用于将所述储热层的第二表面产生的分布均匀的热量传输到所述喷淋板，并保护所述储热层免受机械伤害。
8、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述的加热器还包括电导线。所述电导线的第一端连接所述发热膜和/或所述加热丝，而其第二端经由所述储热层被引出所述导热层，以连接外部电源。
9、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述电导线与所述导热层的连接处设有保护罩，用于保护所述电导线免受机械伤害。
10、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述的加热器还包括多个夹紧螺钉。各所述夹紧螺钉分别穿过设于所述导热层、所述储热层及所述加热层的对应位置的通孔，以夹紧所述导热层、所述储热层及所述加热层。
11、根据本技术第二方面提供的喷淋头包括：喷淋板，其上设有多个过气孔，用于将输入的工作气体，均匀地喷洒到下方的工艺腔室；喷淋上盖，位于所述喷淋板的上方，并与所述喷淋板合围构成所述工作气体的混气腔；以及如本技术第一方面所述的加热器，用于均匀加热所述喷淋板。
12、进一步地，在本技术的一些实施例中，所述加热器将所述喷淋板均匀地加热到300℃以上的工作温度。
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1.一种加热器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热层包括两个所述发热表面，所述加热器包括两个所述储热层及两个所述导热层，其中，
3.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热层中集成有发热膜和/或加热丝，其分布的尺寸及形状适配所述喷淋板的尺寸及形状。
4.如权利要求3所述的加热器，其特征在于，所述储热层中包含云母材料，用于对所述发热膜和/或所述加热丝进行绝缘、储存所述发热表面产生的热量，并在所述储热层的第二表面产生分布均匀的热量。
5.如权利要求4所述的加热器，其特征在于，所述导热层由不锈钢材料制成，用于将所述储热层的第二表面产生的分布均匀的热量传输到所述喷淋板，并保护所述储热层免受机械伤害。
6.如权利要求5所述的加热器，其特征在于，还包括：
7.如权利要求6所述的加热器，其特征在于，所述电导线与所述导热层的连接处设有保护罩，用于保护所述电导线免受机械伤害。
8.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，还包括：
9.一种喷淋头，其特征在于，包括：
10.如权利要求9所述的喷淋头，其特征在于，所述加热器将所述喷淋板均匀地加热到300℃以上的工作温度。
...【技术特征摘要】
1.一种加热器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热层包括两个所述发热表面，所述加热器包括两个所述储热层及两个所述导热层，其中，
3.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热层中集成有发热膜和/或加热丝，其分布的尺寸及形状适配所述喷淋板的尺寸及形状。
4.如权利要求3所述的加热器，其特征在于，所述储热层中包含云母材料，用于对所述发热膜和/或所述加热丝进行绝缘、储存所述发热表面产生的热量，并在所述储热层的第二表面产生分布均匀的热量。
5.如权利要求4所述的加热器，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：何吉超，唐仁鹏，张强，刘润哲，路希龙，杨天奇，吉万顺，刘英明，
申请(专利权)人：拓荆科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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