【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是关于一种电源供应设备。更具体而言本专利技术是关于一种用于与磁控管一起使用的具有功率因数校正的多相电源供应设备。
技术介绍
1、磁控管当前用于其中使用微波辐射的众多应用中。在工业设定中，磁控管常常用于产生适用于任何数目的材料处理应用的电浆，诸如用于制造半导体装置的化学气相沉积制程(下文的cvd)及类似者。举例而言，磁控管可用于提供具有充足激发能的微波辐射以在cvd制程期间点火且维持电浆腔室内的电浆。典型地，许多此等工业应用为复杂且耗时的。举例而言，一些cvd处理应用需要磁控管在长时间持续时间(最小为若干天)内连续地运行且系统性能变化极小。
2、当前，用于磁控管的众多电源供应器为可用的。一般而言，由于随时间推移的稳固性及稳定性为当使用磁控管时的关键考虑因素，因此此等典型地为大小、比例及操作要求显著大于处理操作及/或磁控管所需的不可断开电源供应器(ups)。因此，用于磁控管的已知电源供应器往往会大于所需电源供应器，且需要复杂回馈电路系统来监测其性能。另外，此等电源供应器常常需要复杂的管理系统及/或热管理系统。
3、因此，至少鉴于前述内容，需要一种用于与磁控管一起使用、能够提供高稳定性及可靠性的简单及紧凑电源供应器。
技术实现思路
1、本专利技术已构想且开发以提供对上述目标技术需求的解决方案，如将在以下描述中证明。
2、根据本专利技术的一具体实例，提出一种电源供应设备，其包含至少一个电路板及产生至少一个三相输入电压的至少一个电源供应器。至少一
3、根据本专利技术的其他态样，电源供应设备进一步包含至少第三pfc电路，该第三pfc电路具有与至少一个反相器连通的至少一个pfc装置，且与至少一个谐振(lc)电路电连通。至少一个变压器经由至少一个lc谐振电路与第三pfc电路连通。所产生至少一个三相输入电压为约200v至约400v。至少一个lc电路经组态以从第一单相pfc电路及第二pfc校正电路中的至少一者接收至少一个输出信号，且产生至少一个lc电路输出信号。lc电路包含谐振电路及准谐振电路中的一者。至少一个变压器包含单一绕组变压器、复绕组变压器、升压变压器或具有中心分接头组态的变压器中的一者。电源供应设备经组态以单相输入电压或多相输入电压工作。至少一个电源供应器包含能够以复数个输入电压操作的多相电源供应器。根据本专利技术的一态样的电源供应设备意欲用于与高电压磁控管一起使用。
4、关于本专利技术的此等及其他态样及优势的更详细解释结合本专利技术的例示性具体实例提供于此。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种电源供应设备，其包含：
2.如权利要求1的电源供应设备，其进一步包含至少一第三功率因数控制电路，该第三功率因数控制电路具有与该至少一个反相器连通的至少一个功率因数控制装置，且与该至少一个谐振(LC)电路电连通。
3.如权利要求2的电源供应设备，其中该至少一个变压器经由该至少一个谐振电路与该第三功率因数控制电路连通。
4.如权利要求1的电源供应设备，其中所产生的该至少一个三相输入电压为约200V至约400V。
5.如权利要求1的电源供应设备，其中该至少一个谐振电路经组态以从该第一单相功率因数控制电路及该第二功率因数控制校正电路中的至少一者接收至少一个输出信号，且产生至少一个谐振电路输出信号。
6.如权利要求1的电源供应设备，其中该至少一个谐振电路包含谐振电路及准谐振电路中的一种。
7.如权利要求1的电源供应设备，其中该至少一个变压器包含单一绕组变压器、复绕组变压器、升压变压器或具有中心分接头组态的变压器中的一种。
8.如权利要求1的电源供应设备，其中该电源供应设备经组态以单相输入电压或多相输
9.如权利要求1的电源供应设备，其中该至少一个电源供应器包含能够以复数个输入电压操作的多相电源供应器。
10.如权利要求1的电源供应设备，其中该电源供应设备与高电压磁控管一起使用。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种电源供应设备，其包含：
2.如权利要求1的电源供应设备，其进一步包含至少一第三功率因数控制电路，该第三功率因数控制电路具有与该至少一个反相器连通的至少一个功率因数控制装置，且与该至少一个谐振(lc)电路电连通。
3.如权利要求2的电源供应设备，其中该至少一个变压器经由该至少一个谐振电路与该第三功率因数控制电路连通。
4.如权利要求1的电源供应设备，其中所产生的该至少一个三相输入电压为约200v至约400v。
5.如权利要求1的电源供应设备，其中该至少一个谐振电路经组态以从该第一单相功率因数控制电路及该第二功率因数控制校正电路中的至少一者接收至少...
【专利技术属性】
技术研发人员：马可·加鲁提，法兰斯科·布拉希罗利，保罗·巴洛奇，马里欧·马沙，
申请(专利权)人：MKS仪器公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。