【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆解理设备，尤其涉及一种劈刀姿态调节治具。
技术介绍
1、半导体芯片在制造过程中，需要对晶圆进行划片和解理，划片是采用刀片在晶圆表面划出缺口，解理是采用解理设备沿着晶圆的解理痕迹进行劈裂，形成条状或者独立的单颗芯片。常见的解理设备的动作部件是劈刀，劈刀的安装与高度调节，显著影响了解理的质量。在调试过程中，对于劈刀的安装精度、位置精度具有非常精细的要求，需要得到微米级别，直接采用手动测量或者塞规调节很难把控尺寸精度，很容易出现形位尺寸超差的现象，导致晶圆解理的批量不良的风险。
2、综上所属，提供一种间接调节劈刀姿态的姿态检测电路及其调节治具，改善现有劈刀调节过程不便、精度不高的缺点，是非常有必要的。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提出了一种能够对劈刀的姿态进行预定位的、能够提供劈刀辅助调节参照的劈刀姿态调节治具。
2、本技术的技术方案是这样实现的：本技术提供了一种劈刀姿态调节治具，包括：
3、上安装座，用于安装劈刀；
4、下安装座，位于上安装座的正下方且正对上安装座设置；
5、若干仿形调节座，可拆卸的设置在下安装座的端面上，并朝着上安装座所在方向竖直延伸；各仿形调节座远离下安装座的端部的高度互不相同；
6、顶板，设置在若干仿形调节座远离下安装座的端部，并与若干仿形调节座铰连接设置；
7、所述顶板上设置有定位卡槽，定位卡槽的轮廓与劈刀的形状相适应；劈刀使用前通过调整与定位卡槽的相对姿态并
8、在以上技术方案的基础上，优选的，所述若干仿形调节座均包括中空的箱体、第一驱动电机、主动轮、从动轮、套管、摆杆和铰接部；箱体与下安装座可拆卸式连接，箱体上对应的设置有第一通孔和第二通孔，第一通孔与主动轮的中心正对设置，第二通孔与从动轮的中心正对设置，箱体内部设置有相互啮合的主动轮和从动轮；第一驱动电机的输出轴穿过第一通孔与主动轮的中心固定连接，套管的一端穿过第二通孔与从动轮的中心固定连接，套管的另一端还竖直的向着上安装座方向伸出，套管与箱体转动连接；套管内部中空，套管内部还设置有摆杆，摆杆伸入套管的一端与套管内表面螺纹啮合设置，摆杆远离下安装座的一端伸出套管外并向外延伸，摆杆的端部设置有铰接部，铰接部与摆杆远离下安装座的一端转动连接，铰接部的表面与顶板靠近下安装座的端面铰连接。
9、优选的，所述顶板靠近下安装座的端面上设置有若干弧形限位槽，若干弧形限位槽与若干仿形调节座的铰接部的表面一一对应铰连接。
10、进一步优选的，所述顶板相对于水平面呈倾角设置。
11、进一步优选的，所述定位卡槽包括相对设置的第一端面、第二端面和弧形过渡面；第一端面与第二端面的间距大于劈刀的刀刃部的厚度。
12、更进一步优选的，还包括plc、至少两对位置检测单元和若干压力检测单元；所述顶板上的定位卡槽沿着第一预设方向贯通设置，定位卡槽两侧的第一端面或者第二端面处贯通的设置有若干第三通孔，定位卡槽的弧形过渡面处贯通的设置有若干第四通孔，若干第三通孔和若干第四通孔均与定位卡槽连通；至少两对位置检测单元相对且间隔的嵌设在各第三通孔处并与第一端面或者第二端面平齐，若干压力检测单元嵌设在第四通孔处并与弧形过渡面的轮廓相适应，若干压力检测单元的检测部与劈刀的刀刃部相抵持；至少两对位置检测单元、若干压力检测单元和第一驱动电机均与plc电性连接。
13、再进一步优选的，所述至少两对位置检测单元的输出端和若干压力检测单元的输出端分别与plc的输入触点电性连接，plc的输出触点与第一驱动电机电性连接。
14、进一步优选的，所述上安装座还与若干第二驱动电机的输出轴连接，第二驱动电机带动上安装座和劈刀沿铅垂方向往复运动或者相对于顶板转动，改变劈刀相对于定位卡槽的间距或者姿态；第二驱动电机与plc的输出触点电性连接。
15、优选的，所述箱体与下安装座之间为磁性连接。
16、本技术提供的一种劈刀姿态调节治具，相对于现有技术，具有以下有益效果：
17、(1)本方案不是直接调节劈刀的姿态，而是通过劈刀下方设置的若干仿形调节座和底板共同对劈刀的姿态进行反馈，根据劈刀相对于底板的定位卡槽的扭转、摆动和间隙，反过来调节劈刀的姿态，使劈刀位于定位卡槽的中心处，省去传统塞规调节的不便，操作者也可以避免与劈刀的刀刃部直接接触；
18、(2)可拆卸设置的若干仿形调节座，可以根据需要放置和拆卸，不会对劈刀姿态调节后的解理工序造成影响。
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1.一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述若干仿形调节座(3)均包括中空的箱体(31)、第一驱动电机(32)、主动轮(33)、从动轮(34)、套管(35)、摆杆(36)和铰接部(37)；箱体(31)与下安装座(2)可拆卸式连接，箱体(31)上对应的设置有第一通孔(38)和第二通孔(39)，第一通孔(38)与主动轮(33)的中心正对设置，第二通孔(39)与从动轮(34)的中心正对设置，箱体(31)内部设置有相互啮合的主动轮(33)和从动轮(34)；第一驱动电机(32)的输出轴穿过第一通孔(38)与主动轮(33)的中心固定连接，套管(35)的一端穿过第二通孔(39)与从动轮(34)的中心固定连接，套管(35)的另一端还竖直的向着上安装座(1)方向伸出，套管(35)与箱体(31)转动连接；套管(35)内部中空，套管(35)内部还设置有摆杆(36)，摆杆(36)伸入套管(35)的一端与套管(35)内表面螺纹啮合设置，摆杆(36)远离下安装座(2)的一端伸出套管(35)外并向外延伸，摆杆(36)的端部设置有铰接部
3.根据权利要求2所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述顶板(4)靠近下安装座(2)的端面上设置有若干弧形限位槽(200)，若干弧形限位槽(200)与若干仿形调节座(3)的铰接部(37)的表面一一对应铰连接。
4.根据权利要求3所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述顶板(4)相对于水平面呈倾角设置。
5.根据权利要求3所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述定位卡槽(100)包括相对设置的第一端面(101)、第二端面(102)和弧形过渡面(103)；第一端面(101)与第二端面(102)的间距大于劈刀的刀刃部的厚度。
6.根据权利要求5所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，还包括PLC、至少两对位置检测单元(5)和若干压力检测单元(6)；所述顶板(4)上的定位卡槽(100)沿着第一预设方向贯通设置，定位卡槽两侧的第一端面(101)或者第二端面(102)处贯通的设置有若干第三通孔(41)，定位卡槽(100)的弧形过渡面(103)处贯通的设置有若干第四通孔(42)，若干第三通孔(41)和若干第四通孔(42)均与定位卡槽连通；至少两对位置检测单元(5)相对且间隔的嵌设在各第三通孔(41)处并与第一端面(101)或者第二端面(102)平齐，若干压力检测单元(6)嵌设在第四通孔(42)处并与弧形过渡面(103)的轮廓相适应，若干压力检测单元(6)的检测部与劈刀的刀刃部相抵持；至少两对位置检测单元(5)、若干压力检测单元(6)和第一驱动电机(32)均与PLC电性连接。
7.根据权利要求6所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述至少两对位置检测单元(5)的输出端和若干压力检测单元(6)的输出端分别与PLC的输入触点电性连接，PLC的输出触点与第一驱动电机(32)电性连接。
8.根据权利要求6所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述上安装座(1)还与若干第二驱动电机的输出轴连接，第二驱动电机带动上安装座(1)和劈刀沿铅垂方向往复运动或者相对于顶板(4)转动，改变劈刀相对于定位卡槽(100)的间距或者姿态；第二驱动电机与PLC的输出触点电性连接。
9.根据权利要求2所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述箱体(31)与下安装座(2)之间为磁性连接。
...【技术特征摘要】
1.一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述若干仿形调节座(3)均包括中空的箱体(31)、第一驱动电机(32)、主动轮(33)、从动轮(34)、套管(35)、摆杆(36)和铰接部(37)；箱体(31)与下安装座(2)可拆卸式连接，箱体(31)上对应的设置有第一通孔(38)和第二通孔(39)，第一通孔(38)与主动轮(33)的中心正对设置，第二通孔(39)与从动轮(34)的中心正对设置，箱体(31)内部设置有相互啮合的主动轮(33)和从动轮(34)；第一驱动电机(32)的输出轴穿过第一通孔(38)与主动轮(33)的中心固定连接，套管(35)的一端穿过第二通孔(39)与从动轮(34)的中心固定连接，套管(35)的另一端还竖直的向着上安装座(1)方向伸出，套管(35)与箱体(31)转动连接；套管(35)内部中空，套管(35)内部还设置有摆杆(36)，摆杆(36)伸入套管(35)的一端与套管(35)内表面螺纹啮合设置，摆杆(36)远离下安装座(2)的一端伸出套管(35)外并向外延伸，摆杆(36)的端部设置有铰接部(37)，铰接部(37)与摆杆(36)远离下安装座(2)的一端转动连接，铰接部(37)的表面与顶板(4)靠近下安装座(2)的端面铰连接。
3.根据权利要求2所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述顶板(4)靠近下安装座(2)的端面上设置有若干弧形限位槽(200)，若干弧形限位槽(200)与若干仿形调节座(3)的铰接部(37)的表面一一对应铰连接。
4.根据权利要求3所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述顶板(4)相对于水平面呈倾角设置。
5.根据权利要求3所述的一种劈刀姿态调节治具，其特征在于，所述定位卡槽(...
【专利技术属性】
技术研发人员：李险峰，周露露，刘洋，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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