【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，尤其是一种晶圆片自动寻边器。
技术介绍
1、发光二极管，简称led(light emitting diode)，是一种能将电能转化为光能的固态半导体发光器件，因其高效、节能、寿命长等特征，在照明领域得到广泛应用。在led芯片生产过程中，部分加工设备要求对晶圆片的朝向有着严格的要求，需要将晶圆片的平边定位于某一固定方向。因此，为了确保加工设备的正常工作以及产品质量，将待加工晶圆片的平边统一朝向之后，再进行后续加工。
2、现有技术中，通常采用手动寻边器来调整晶圆片的朝向，如中国专利201420064446.6公开了一种手动寻边器，包括底板、定位挡板以及寻边转轴，寻边转轴依次穿过两块定位挡板并与挡板轴连接，在定位挡板间的寻边转轴上设有晶片接触轮。操作人员手动旋转把手，转动寻边转轴，继而寻边转轴带动晶片接触轮转动，带动晶圆片旋转使晶圆片的平边调节至统一朝下。这种方式虽然能统一平边朝向，但是质量受到人为因素的影响，无法进行有效的质量控制。当操作人员操作失误时，如旋转速度过快、违规调节旋转方向等，易对晶圆片形成较大摩擦，进而造成破损、划伤、污染等问题，对产品的质量造成影响，甚至导致产品的报废。
技术实现思路
1、为了克服以上不足，本技术提供了一种晶圆片自动寻边器，采用电机驱动传动杆旋转，可对旋转速度、时间、方向等进行控制。
2、本技术提供的技术方案为：
3、一种晶圆片自动寻边器，包括：
4、支撑底座，表面配置有用于放置料盒的
5、用于驱动所述晶圆片于所述料盒中转动的驱动组件；
6、传动组件，包括一配置于所述支撑结构中间区域、与所述驱动组件连接的传动杆，所述传动杆用于在所述驱动组件的驱动下带动晶圆片转动直至平边到达传动杆的上方，所述晶圆片的非平边与所述传动杆的上表面接触、平边与所述传动杆的上表面之间存在间隙，且所述传动杆垂直于所述晶圆片所在平面的方向配置。
7、进一步优选地，所述驱动组件包括一驱动电机，所述传动组件中还包括一传动连杆和一联轴器，所述传动连杆的一端与所述传动杆固定连接、另一端与所述联轴器固定连接，所述联轴器的另一端与驱动电机的输出端连接，且所述联轴器、传动连杆及传动杆的轴心位于同一水平线上。
8、进一步优选地，所述驱动组件中还包括一用于调节所述驱动电机转速的电机调速器，所述电机调速器与所述驱动电机导电连接。
9、进一步优选地，所述驱动组件中还包括一用于控制所述驱动组件通断的延时继电器，所述延时继电器与所述驱动电机导电连接。
10、进一步优选地，所述驱动组件还包括一配置于所述支撑底座侧边、垂直于水平面设置的电机支架，所述驱动电机沿纵向方向滑动安装于所述电机支架上。
11、进一步优选地，所述支撑底座包括一水平基板，及于传动杆两侧、垂直水平面配置于所述水平支撑基板下方的两块支撑板，所述两块支撑板的同一高度上分别开设有一定位孔；所述水平基板表面配置有镂空区域，所述镂空区域位于所述传动杆的下方区域；所述晶圆片自动寻边器还包括一按压板、插接于按压板两侧的定位销及至少一压板连杆，其中，所述按压板部分位于水平基板下方、部分延伸配置于支撑底座外部形成按压部，通过两侧的定位销旋转安装于支撑板中开设的定位孔内；所述压板连杆的下端固定于按压板表面、上端于传动杆的两端位置处开设有通孔，设有通孔的一端从水平基板表面的镂空区域穿出转动连接于传动杆的两端。
12、进一步优选地，所述压板连杆包括分别配置于传动杆的两端的第一压板连杆和第二压板连杆；所述水平基板表面配置有可分别容纳第一压板连杆和第二压板连杆的第一镂空区域和第二镂空区域；所述第一压板连杆的下端固定于按压板表面、上端通过第一镂空区域转动连接于传动杆的第一端；所述第二压板连杆的下端固定于按压板表面、上端通过第二镂空区域转动连接于传动杆的第二端。
13、进一步优选地，所述两块支撑板存在预设高度差，所述高度差为5mm-10mm。
14、进一步优选地，按压板和支撑基座的水平基板之间还设有弹性件；于水平基板下表面中央位置设有一内凹型的限位槽，弹性件一端连接于限位槽正下方的按压板表面、另一端固定连接于所述限位槽中。
15、进一步优选地，所述支撑底座表面的支撑结构包括固定于支撑底座表面的多个定位柱及沿传动杆的延伸方向配置于传动杆两侧的两个平行的定位槽；所述多个定位柱垂直于基板表面、对称配置于所述定位槽两侧；所述定位槽中形成与所述料盒的底部相适配的凹槽。
16、本技术提供的晶圆片自动寻边器，至少能带来以下有益效果：
17、1）采用驱动电机驱动传动杆旋转，当晶圆片放置在料盒中与传动杆接触时，传动杆的旋转会带动晶圆片一同旋转，直至平边朝向传动杆，此时晶圆片不与传动杆接触，晶圆片则会停止转动；这一过程无需人工手动旋转，避免了手动旋转晶圆片时可能出现的人为失误，并且晶圆片自动寻边器的旋转方向是固定的，进一步保证了平边过程中晶圆片的稳定性。
18、2）在供电方面，通过电池对驱动电机供电，无需接入电源插座即可使用，不受时间、地点限制，极大地提高了工作效率和灵活性。
19、3）通过延时继电器自行设定平边时间，实现驱动电机的自动通断，这一功能不仅节省了人力资源，还优化了设备的能源使用效率。
20、4）加装有电机调速器来实现对驱动电机旋转速度的精确调节，可以在不同情况下灵活调整旋转速度，匹配不同情况下的多样化需求。
21、5）设计了电机支架结合按压板的结构，通过压板连杆实现按压板与传动杆的连接。在操作过程中，对按压板施力，则力会通过压板连杆传递给传动杆，驱动电机同时在电机支架上随着传动杆一起上下移动。启动驱动电机，传动杆转动，即可带动晶圆片平边统一旋转至任意方向。
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1.一种晶圆片自动寻边器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，所述驱动组件包括一驱动电机，所述传动组件中还包括一传动连杆和一联轴器，所述传动连杆的一端与所述传动杆固定连接、另一端与所述联轴器固定连接，所述联轴器的另一端与驱动电机的输出端连接，且所述联轴器、传动连杆及传动杆的轴心位于同一水平线上。
3.如权利要求2所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，所述驱动组件中还包括一用于调节所述驱动电机转速的电机调速器，所述电机调速器与所述驱动电机导电连接。
4.如权利要求1-3任意一项所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，所述驱动组件中还包括一用于控制所述驱动组件通断的延时继电器，所述延时继电器与所述驱动组件导电连接。
5.如权利要求2或3所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，所述驱动组件包括一配置于所述支撑底座侧边、垂直于水平面设置的电机支架，所述驱动电机沿纵向方向滑动安装于所述电机支架上。
6.如权利要求1-3任意一项所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，
7.如权利要求6所述的晶圆片自
8.如权利要求6所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，所述两块支撑板存在预设高度差，所述高度差为5mm-10mm。
9.如权利要求6所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，
10.如权利要求1或2或3或7或8或9所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆片自动寻边器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，所述驱动组件包括一驱动电机，所述传动组件中还包括一传动连杆和一联轴器，所述传动连杆的一端与所述传动杆固定连接、另一端与所述联轴器固定连接，所述联轴器的另一端与驱动电机的输出端连接，且所述联轴器、传动连杆及传动杆的轴心位于同一水平线上。
3.如权利要求2所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，所述驱动组件中还包括一用于调节所述驱动电机转速的电机调速器，所述电机调速器与所述驱动电机导电连接。
4.如权利要求1-3任意一项所述的晶圆片自动寻边器，其特征在于，所述驱动组件中还包括一用于控制所述驱动组件通断的延时继电器，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶骏，闵辉，
申请(专利权)人：晶能光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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