一种三向可调真空室门铰链结构制造技术

本技术公开了一种三向可调真空室门铰链结构，包括真空室、密封门板和铰链结构，所述铰链结构为上下两组关节组件中间由回转轴联接，所述关节组件包括固定在真空室上的固定端、连接密封门板的Z轴调整端、XY调整件和Z轴调整件，所述XY调整件一段通过长螺杆与固定端连接，另一端与Z轴调整件套设连接，Z轴调整件套设在回转轴上，所述固定端上开设长螺杆连接孔，长螺杆连接孔与长螺杆之间设计成有较大间隙的活动空间，所述固定端和XY调整件之间对应X轴方向和Y轴方向分别设有X轴固定板和Y轴固定板。本实用在关节连接孔中设计了较大的活动间隙，通过调整关节的相对位置从而实现矫正门板下垂和提高平行度的目的，同时实现三向调节。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空设备领域，尤其涉及一种三向可调真空室门铰链结构。

技术介绍

1、在真空领域中由于密封门板会受到负压，为了不让门板变形一般情况下门板会别设计的特别厚重，受力面越大门板一般也会越重，另外门板既要能灵活转动，又要满足关腔后能与腔体形成良好的密封效果，这就对铰链提出了较高的要求，除了要保证在重载使用条件下的安全性，还要保证关腔后门板与腔体密封面之间的平行度，确保门板内部携载的部件位置精度；另外，由于加工误差和装配间隙，安装后的门板多数情况下密封面的平行度不高且门板会下垂，不仅无法满足密封要求，门板内部携载的部件位置精度，还影响外观；已有的重载铰链中也有类似的结构，但是不具备关节可调性，通过加工精度保证门板安装要求，大大提高了加工成本，同时现场调试难度非常高，长期使用往复多次高低压形变后造成门板位置变化及密封性能下降后现场基本无法修复。

2、在现有技术中，门板铰链设计结构一般有两种形式，一种为多个独立铰链组合使用的形式，此方式各铰链回转轴不同轴，在重载工况下使用不易调整，容易造成门板旋转不顺畅情况。另一种就是使用大型的单体铰链结构，如上下两个关节共用一根回转轴的这种结构，此结构能够保证上下两个关节的同轴度，避免了门板活动不顺畅的问题，但是，其关节不具备可调性；针对加工误差和装配间隙造成的门板下垂平行度不够问题，因此需要一种调整关节的相对位置从而实现矫正门板下垂和提高平行度的真空室门板铰链结构。

技术实现思路

1、针对上述由于加工误差和装配间隙造成的门板下垂平行度不够的问题，本技术提供了一种三向可调真空室门铰链结构。

2、为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种三向可调真空室门铰链结构，包括真空室、密封门板和铰链结构，所述铰链结构为上下两组关节组件中间由回转轴联接，所述关节组件包括固定在真空室上的固定端、连接密封门板的z轴调整端、xy调整件和z轴调整件，所述xy调整件一段通过长螺杆与固定端连接，另一端与z轴调整件套设连接，所述z轴调整件套设在回转轴上，所述固定端上开设长螺杆连接孔，长螺杆连接孔与长螺杆之间设计成有较大间隙的活动空间，所述固定端和xy调整件之间对应x轴方向和y轴方向分别设有x轴固定板和y轴固定板，所述x轴固定板和y轴固定板通过固定板连接螺丝与固定端连接，通过止动螺丝和固定螺丝与xy调整件连接，所述z轴调整件与xy调整件之间为丝杆螺母副连接方式。

3、进一步的，所述固定端的长螺杆连接孔上设有垫板，长螺杆通过螺母固锁在垫板上。

4、进一步的，所述xy调整件和z轴调整件抵住z轴调整端，xy调整件和z轴调整件与z轴调整端之间设有垫片。

5、进一步的，所述z轴调整件上设有z轴锁紧圆螺母。

6、进一步的，z轴调整件与回转轴靠近z轴调整端连接处设有深沟球轴承、衬套、角接触球轴承。

7、由上述对本技术结构的描述可知，和现有技术相比，本技术具有如下优点：

8、本实用在关节连接孔中设计了较大的活动间隙，通过调整关节的相对位置从而实现矫正门板下垂和提高平行度的目的，同时实现三向调节，确保密封圈压缩量可控，能够保证密封面之间形成良好的密封效果，适合在重载条件下使用。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种三向可调真空室门铰链结构，包括真空室(20)、密封门板(19)和铰链结构，其特征在于：所述铰链结构为上下两组关节组件中间由回转轴(7)联接，所述关节组件包括固定在真空室上的固定端(1)、连接密封门板的Z轴调整端(2)、XY调整件(4)和Z轴调整件(6)，所述XY调整件(4)一段通过长螺杆(16)与固定端(1)连接，另一端与Z轴调整件(6)套设连接，所述Z轴调整件(6)套设在回转轴(7)上，所述固定端(1)上开设长螺杆连接孔(21)，长螺杆连接孔(21)与长螺杆(16)之间设计成有较大间隙的活动空间，所述固定端(1)和XY调整件(4)之间对应X轴方向和Y轴方向分别设有X轴固定板(14)和Y轴固定板(15)，所述X轴固定板(14)和Y轴固定板(15)通过固定板连接螺丝(13)与固定端(1)连接，通过止动螺丝(11)和固定螺丝(12)与XY调整件(4)连接，所述Z轴调整件(6)与XY调整件(4)之间为丝杆螺母副连接方式。

2.根据权利要求1所述一种三向可调真空室门铰链结构，其特征在于：所述固定端的长螺杆连接孔(21)上设有垫板(17)，长螺杆(16)通过螺母(18)固锁在垫板(17)上。

3.根据权利要求1所述一种三向可调真空室门铰链结构，其特征在于：所述XY调整件(4)和Z轴调整件(6)抵住Z轴调整端(2)，XY调整件(4)和Z轴调整件(6)与Z轴调整端(2)之间设有垫片(3)。

4.根据权利要求1所述一种三向可调真空室门铰链结构，其特征在于：所述Z轴调整件(6)上设有Z轴锁紧圆螺母(5)。

5.根据权利要求1所述一种三向可调真空室门铰链结构，其特征在于：Z轴调整件(6)与回转轴(7)靠近Z轴调整端连接处设有深沟球轴承(8)、衬套(9)、角接触球轴承(10)。

...

【技术特征摘要】

1.一种三向可调真空室门铰链结构，包括真空室(20)、密封门板(19)和铰链结构，其特征在于：所述铰链结构为上下两组关节组件中间由回转轴(7)联接，所述关节组件包括固定在真空室上的固定端(1)、连接密封门板的z轴调整端(2)、xy调整件(4)和z轴调整件(6)，所述xy调整件(4)一段通过长螺杆(16)与固定端(1)连接，另一端与z轴调整件(6)套设连接，所述z轴调整件(6)套设在回转轴(7)上，所述固定端(1)上开设长螺杆连接孔(21)，长螺杆连接孔(21)与长螺杆(16)之间设计成有较大间隙的活动空间，所述固定端(1)和xy调整件(4)之间对应x轴方向和y轴方向分别设有x轴固定板(14)和y轴固定板(15)，所述x轴固定板(14)和y轴固定板(15)通过固定板连接螺丝(13)与固定端(1)连接，通过止动螺丝(11)和固定螺丝(12)与xy调整件(4)连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲永鹏，林海奕，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：