【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及生物传感检测，具体涉及一种并联双微环谐振腔传感仪器及其测试方法。
技术介绍
1、光学传感器由于其无污染、抗电磁干扰能力强、无标签检测等特征被广泛应用于生物传感领域。目前已经有很多类型的光学器件在现实中被成功实施，如微环谐振器、马赫-曾德尔干涉仪和光子晶体等。其中，微环传感器凭借紧凑的尺寸和高集成度而得到了广泛的应用。该器件可以使用成熟的半导体加工方法批量制造，从而使集成的微环谐振器阵列实现可重复利用并且降低成本。因为微环谐振器的谐振波长对波导表面的折射率变化非常敏感，所以微环谐振器具有功耗低、灵敏度高、选择性高等优点。
2、微环谐振器的芯层波导si易受到外界温度影响，并且其自身也会受到其它环境变化的影响，这严重限制了微环谐振腔传感器的传感性能。在实际测试过程中，光谱谐振峰的品质因子也是需要考虑的因素；品质因子与传感性能息息相关，能够直接影响到探测精度。低的品质因子不仅会降低探测精度，也会提高对设备的要求。
3、鉴于以上存在的技术问题，提出一个改善的技术方案。
技术实现思路
1、为了实现本专利技术的目的，本专利技术所采用的技术方案为：一种并联双微环谐振腔传感仪器，包括：输入光源，并联双微环谐振腔传感器和探测器，所述并联双微环谐振腔传感器的输入波导连接有输入光源，直通输出波导和耦合输出波导均连接有探测器；所述并联双微环谐振腔传感器的光栅耦合器用于光的耦合输入/输出；所述并联双微环谐振腔传感器的其中一环有着上包层作为参考环；另一环没有上包层，其传感窗
2、优选的，输入光源采用可调谐激光器或宽带光源。
3、优选的，光栅耦合器采用tm偏振模式。
4、优选的，参考环和传感环之间连接有上信道波导和下信道波导。
5、优选的，上信道波导和下信道波导在传感窗口裸露的长度之和等于传感环周长的一半，在上包层之下覆盖的长度之和等于参考环周长的一半。
6、优选的，一种用于并联双微环谐振腔传感仪器的测试方法，包括：
7、输入光源的光通过光栅耦合器耦合输入到并联双微环谐振腔传感器；
8、光与待测试剂相互作用后耦合输出到探测器，收集对应不同待测试剂的光谱；
9、并联双微环谐振腔传感器在进行传感测试时，输出光谱的两个相邻次谐振峰的波长差产生相应变化，通过计算机提取光谱变化。
10、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
11、通过并联两种不同的微环，一环用于监测外界环境变化，一环用于实际传感，降低外界环境的影响；检测方式有两种，分别是输入光源为可调谐激光器和探测器为光功率计，输入光源为宽带光源和探测器为光谱仪，检测方式灵活。当通过耦合输出波导检测输出光谱变化时，光谱次谐振峰有更高的品质因子，提高了探测精度。
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1.一种并联双微环谐振腔传感仪器，包括：输入光源，并联双微环谐振腔传感器和探测器，其特征在于，所述并联双微环谐振腔传感器的输入波导连接有输入光源，直通输出波导和耦合输出波导均连接有探测器；所述并联双微环谐振腔传感器的光栅耦合器用于光的耦合输入以及输出；所述并联双微环谐振腔传感器的其中一环有着上包层作为参考环；另一环没有上包层，其传感窗口接触不同浓度的待测试剂用于作为传感环。
2.根据权利要求1所述的一种并联双微环谐振腔传感仪器，其特征在于，所述输入光源采用可调谐激光器或宽带光源。
3.根据权利要求1所述的一种并联双微环谐振腔传感仪器，其特征在于，所述光栅耦合器采用TM偏振模式。
4.根据权利要求1所述的一种并联双微环谐振腔传感仪器，其特征在于，所述参考环和传感环之间连接有上信道波导和下信道波导。
5.根据权利要求1所述的一种并联双微环谐振腔传感仪器，其特征在于，所述上信道波导和下信道波导在传感窗口裸露的长度之和等于传感环周长的一半，在上包层之下覆盖的长度之和等于参考环周长的一半。
6.一种用于权利要求1至6任意一项所述并
7.根据权利要求6所述的一种联双微环谐振腔传感仪器的测试方法，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的一种联双微环谐振腔传感仪器的测试方法，其特征在于：
...【技术特征摘要】
1.一种并联双微环谐振腔传感仪器，包括：输入光源，并联双微环谐振腔传感器和探测器，其特征在于，所述并联双微环谐振腔传感器的输入波导连接有输入光源，直通输出波导和耦合输出波导均连接有探测器；所述并联双微环谐振腔传感器的光栅耦合器用于光的耦合输入以及输出；所述并联双微环谐振腔传感器的其中一环有着上包层作为参考环；另一环没有上包层，其传感窗口接触不同浓度的待测试剂用于作为传感环。
2.根据权利要求1所述的一种并联双微环谐振腔传感仪器，其特征在于，所述输入光源采用可调谐激光器或宽带光源。
3.根据权利要求1所述的一种并联双微环谐振腔传感仪器，其特征在于，所述光栅耦合器采用tm偏振模式。
【专利技术属性】
技术研发人员：苏国帅，张晓方，
申请(专利权)人：苏州集微光电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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