【技术实现步骤摘要】
技术涉及晶圆仓储，尤其是指一种用于晶圆的充氮智能仓储设备。
技术介绍
1、晶圆仓储时，cst料盒作为晶圆的载具，然后料盒放入智能仓储设备进行存储。料盒在存储状态下，盛放的晶圆处于和空气接触状态，由于长时间的接触，晶圆有被氧化的风险。
技术实现思路
1、为此，技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中晶圆在仓储物流中存在被氧化的风险的问题。
2、为解决上述技术问题，技术提供了一种用于晶圆的充氮智能仓储设备，包括：
3、仓储室，内部设有用于放置料盒的货架以及用于搬运料盒的机器人，仓储室上设有连通至其内部的排风口、进风口以及氮气接入口，排风口设有排风机，进风口设有洁净空气进风风机；氮气接入口与外部氮气箱通过管路连通，管路设有用于控制其通断的阀组；
4、氮气浓度传感器，设置在仓储室内；
5、氧气浓度传感器，设置在仓储室内；
6、压差传感器，设置在仓储室内；
7、自动仓储入口，设置在仓储室的一侧，自动仓储入口设有第一双层密封门，第一双层密封门包括第一内侧密封门、第一外侧密封门以及位于第一内侧密封门和第一外侧密封门之间的第一中转舱室；
8、控制部，与阀组、排风机、洁净空气进风风机、机器人、氮气浓度传感器、氧气浓度传感器、压差传感器、第一内侧密封门以及第一外侧密封门连接。
9、在技术的一个实施例中，氮气浓度传感器为多个，多个氮气浓度传感器沿仓储室的长度方向等间距间隔设置。
10、在技术的一个
11、在技术的一个实施例中，本申请还包括设置在仓储室一侧底部的手动存料入口，手动存料入口设有第二双层密封门，第二双层密封门与第一双层密封门的结构相同，第二双层密封门与控制部连接。
12、在技术的一个实施例中，仓储室中在靠近第二双层密封门的位置处设有氧气浓度传感器，氧气浓度传感器与控制部连接。
13、在技术的一个实施例中，本申请还包括设置在仓储室内的温湿度传感器，温湿度传感器与控制部连接。
14、在技术的一个实施例中，仓储室一侧的端部设有维修门，维修门与仓储室密封连接。
15、在技术的一个实施例中，维修门为两个，两个维修门位于仓储室的两端。
16、在技术的一个实施例中，仓储室内部靠近维修门的位置处也设有氧气浓度传感器，氧气浓度传感器与控制部连接。
17、在技术的一个实施例中，本申请还包括显示灯，显示灯与控制部连接。
18、技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
19、本技术所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，本申请主要能够实现仓储室中的氮气置换，氮气密封、氮气浓度检测与保持、氧气浓度检测、氮气泄露量检测。本申请在仓储室中充入高浓度氮气用来隔绝氧气，这样可以用于晶圆长期存储，避免晶圆被氧气氧化。由此可见，本申请解决晶圆在氧气环境中仓储物流存在的被氧化风险的问题。
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1.一种用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：所述氮气浓度传感器为多个，多个所述氮气浓度传感器沿所述仓储室的长度方向等间距间隔设置。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：所述氧气浓度传感器为多个，多个所述氧气浓度传感器沿所述仓储室的长度方向等间距间隔设置。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：还包括设置在所述仓储室一侧底部的手动存料入口，手动存料入口设有第二双层密封门，所述第二双层密封门与所述第一双层密封门的结构相同，所述第二双层密封门与所述控制部连接。
5.根据权利要求4所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：所述仓储室中在靠近所述第二双层密封门的位置处设有氧气浓度传感器，所述氧气浓度传感器与所述控制部连接。
6.根据权利要求1所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：还包括设置在所述仓储室内的温湿度传感器，所述温湿度传感器与所述控制部连接。
7.根据权利要求1所述的用
8.根据权利要求7所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：所述维修门为两个，两个所述维修门位于所述仓储室的两端。
9.根据权利要求8所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：所述仓储室内部靠近所述维修门的位置处也设有氧气浓度传感器，所述氧气浓度传感器与所述控制部连接。
10.根据权利要求9所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：还包括显示灯，所述显示灯与所述控制部连接。
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：所述氮气浓度传感器为多个，多个所述氮气浓度传感器沿所述仓储室的长度方向等间距间隔设置。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：所述氧气浓度传感器为多个，多个所述氧气浓度传感器沿所述仓储室的长度方向等间距间隔设置。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：还包括设置在所述仓储室一侧底部的手动存料入口，手动存料入口设有第二双层密封门，所述第二双层密封门与所述第一双层密封门的结构相同，所述第二双层密封门与所述控制部连接。
5.根据权利要求4所述的用于晶圆的充氮智能仓储设备，其特征在于：所述仓储室中在靠近所述第二双层密封门的位置处设有氧气浓度传感...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘志远，姚威，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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