【技术实现步骤摘要】
本技术涉及平面度检测，尤其涉及一种平面度检测装置。
技术介绍
1、镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材大多由多种金属焊接而成，容易变形，而溅射面材料多为高纯度金属或特种金属，因为靶材的贵重性，溅射面加工余量有限，加之很多特种金属容易变形，靶材也有材料厚度均匀性要求，所以加工前需要进行平面度检测，检测合格方能继续加工。
2、现有检测工具多为水平尺，十字架等，需要配合塞尺使用，将十字架或水平尺固定于靶材表面，通过在各个点位放置塞尺的数量判定靶材表面平面度，存在无法准确读取数值以及浪费时间的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种平面度检测装置，以解决产品的平面度检测无法实现数据可视化，以及检测过程操作复杂，浪费时间，且造成平面度检测值不准确的问题。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、提供一种平面度检测装置，包括：
4、安装架组件，所述安装架组件用于与待检测产品的表面接触；
5、深度表，设有至少一个，所述深度表滑动设置于所述安装架组件上，所述深度表的检测端与所述待检测产品的表面接触，用于检测所述待检测产品各点位处的凹陷值。
6、作为优选，所述安装架组件包括：
7、第一安装架，所述第一安装架包括至少两个安装杆，至少两个所述安装杆交叉设置，至少一个所述安装杆上滑动设有至少一个所述深度表，所述安装杆与所述待检测产品
8、第一辅助件，所述第一辅助件与所述第一安装架连接，所述第一辅助件用于辅助人工取放所述安装架于所述待检测产品上。
9、作为优选，所述第一辅助件包括多个第一辅助杆，相邻的两个所述安装杆之间分别连接有至少一个所述第一辅助杆。
10、作为优选，相邻的两个所述安装杆相向的侧壁分别设有至少一个卡槽，所述第一辅助杆的两端卡接于所述卡槽内。
11、作为优选，至少一个所述安装杆上沿所述安装杆的长度方向设有滑槽，所述滑槽内滑动设有滑动件，所述滑动件上设有所述深度表。
12、作为优选，每个所述安装杆上沿所述安装杆的长度方向分别设有滑槽，所述滑槽内滑动设有滑动件，所述深度表可拆卸连接于任一滑动件。
13、作为优选，所述滑动件上螺接有锁紧件，所述锁紧件能抵压于所述滑槽的槽底。
14、作为优选，所述平面度检测装置还包括磁吸组件，所述安装架组件上与所述待检测产品接触的一侧设有至少一个磁吸组件。
15、作为优选，所述安装架组件还可以包括：
16、第二安装架，所述第二安装架为环形件，所述深度表滑动且可拆卸地设置于所述第二安装架上；
17、第二辅助件，设置于所述第二安装架上，所述第二辅助件用于辅助人工取放所述安装架于所述待检测产品上，所述第二辅助件包括第二辅助杆，所述第二辅助杆的一端与所述第二安装架的端面固定连接。
18、作为优选，所述第二安装架上设有深度表安装件，所述深度表安装件与所述第二安装架的内侧壁或外侧壁滑动连接，所述深度表与所述深度表安装件可拆卸连接。
19、本技术的有益效果：
20、本技术所提供的平面度检测装置包括安装架组件和深度表，安装架组件用于将平面度检测装置放置于待检测产品的表面，深度表的检测端与产品的表面接触，用于检测产品各点位处的凹陷值，安装架组件和深度表可整体使用，灵活取放于待检测产品表面的各点位，实现平面度检测数据可视化，且安装架和深度表整体的移动或转动能检测出多处点位的凹陷值，深度表滑动设置于安装架组件上，可使平面度检测装置在安装架不移动位置时，检测产品上多处点位的凹陷值，在检测产品平面度时，操作简便，节约时间。
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1.一种平面度检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述安装架组件(1)包括：
3.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，所述第一辅助件(12)包括多个第一辅助杆，相邻的两个所述安装杆之间分别连接有至少一个所述第一辅助杆。
4.根据权利要求3所述的平面度检测装置，其特征在于，相邻的两个所述安装杆相向的侧壁分别设有至少一个卡槽，所述第一辅助杆的两端卡接于所述卡槽内。
5.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，至少一个所述安装杆上沿所述安装杆的长度方向设有滑槽(111)，所述滑槽(111)内滑动设有滑动件，所述滑动件上设有所述深度表(2)。
6.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，每个所述安装杆上沿所述安装杆的长度方向分别设有滑槽(111)，所述滑槽(111)内滑动设有滑动件，所述深度表(2)可拆卸连接于任一滑动件。
7.根据权利要求5或6所述的平面度检测装置，其特征在于，所述滑动件上螺接有锁紧件，所述锁紧件能抵压于所述滑槽(111)的槽
8.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述平面度检测装置还包括磁吸组件(4)，所述安装架组件(1)上与所述待检测产品(3)接触的一侧设有至少一个磁吸组件(4)。
9.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述安装架组件(1)还可以包括：
10.根据权利要求9所述的平面度检测装置，其特征在于，所述第二安装架(13)上设有深度表安装件，所述深度表安装件与所述第二安装架(13)的内侧壁或外侧壁滑动连接，所述深度表(2)与所述深度表安装件可拆卸连接。
...【技术特征摘要】
1.一种平面度检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述安装架组件(1)包括：
3.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，所述第一辅助件(12)包括多个第一辅助杆，相邻的两个所述安装杆之间分别连接有至少一个所述第一辅助杆。
4.根据权利要求3所述的平面度检测装置，其特征在于，相邻的两个所述安装杆相向的侧壁分别设有至少一个卡槽，所述第一辅助杆的两端卡接于所述卡槽内。
5.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，至少一个所述安装杆上沿所述安装杆的长度方向设有滑槽(111)，所述滑槽(111)内滑动设有滑动件，所述滑动件上设有所述深度表(2)。
6.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，每个所述安装杆上沿所述安装杆的长度...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，沈文华，王学泽，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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