处理液槽制造技术

一种处理液槽，具有工件经过口，能将工件经过口的开口面积控制在必要的最小限度，并能在短时间内可靠地开闭工件经过口整体。本发明专利技术的处理液槽包括供液机构和排液机构，并包括具有工件经过口（８８）的闸门装置（８５）。工件经过口（８８）具有：垂直姿势的板状工件能经过的上下方向细长的狭缝状开口部（８８ｂ）、形成在该狭缝状开口部（８８ｂ）的上端的扩张开口部（８８ａ），上述闸门装置（８５）包括：开闭狭缝状开口部（８８ｂ）的闸门部件、该闸门部件以外的开闭上述扩张开口部（８８ａ）的闸板（５０）。在上述闸板（１５０）上连动地连结有配置在处理液槽（１５）内的浮子（５１），通过处理液槽（１５）内的处理液的增减引起的浮子的升降，使闸板（５０）在打开位置与关闭位置之间变更位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种能供给、排出镀覆液等各种处理液的处理液槽，尤其涉及在短时间内进行处理液的供给、排出，并且包括具有垂直状态的板状工件不用升降就能经过的工件经过口的闸门装置的处理液槽。
技术介绍
镀覆处理装置等处理液槽中，在包括具有工件经过口的闸门装置时，该闸门装置在工件不经过时将工件经过口关闭，以便能朝处理液槽内填充处理液，在工件经过时将工件经过口打开。上述闸门装置的构造例如包括水平方向滑动自如的板状闸门部件，或包括以左右对开形式绕垂直轴转动自如的一对板状闸门部件，利用具有电动机和减速齿轮机构的机械式驱动机构来驱动闸门部件开闭(专利文献1)。 另外，作为其它开闭方式的闸门装置，也有这样的装置包括上下方向滑动自如的板状闸门部件，并在上述闸门部件上安装浮子(float)，通过处理液槽内的处理液的增加，使闸门部件与浮子一起上升，将工件经过口关闭(专利文献2)。 上述各闸门装置均具有矩形的宽度较宽的工件经过口，并利用驱动机构驱动一个或一对闸门部件来开闭上述工件经过口整体，因此，工件经过口的开闭费时，在连续处理许多工件时，无法在短时间内进行处理液的供给、排出，作业效率不好。 专利文献3中记载了一种针对上述具有工件经过口和闸门装置的处理液槽，将工件经过口的形状形成为具有工件和保持工件的部件能经过的大致最小限度的面积的形状的处理液槽。 专利文献3的处理液槽像图22那样，在镀覆液槽14与箱槽15之间的槽壁82、箱槽15与空平台16之间的槽壁83上形成有工件经过口 88。各工件经过口 88由垂直姿势的工件能经过的最小限度的窄宽度的狭缝状开口部88b、支撑工件上端部的保持部件能经过的扩张开口部88a构成。为了开闭狭缝状开口部88b，包括伸縮自如的袋状弹性部件制的闸门部件(未图示)，由此，可縮短处理液的供给、排出时间，提高闸门装置关闭时的密封功能。形成上述扩张开口部88a的原因是为了通过以工件的上端从镀覆液面(LI)沉下50mm左右的形态浸渍工件，来防止电流朝工件的上端部集中，防止电流集中引起的镀覆膜厚的不均。 专利文献1 :日本专利特开2004-99957号公报 专利文献2 :日本专利特开昭55-141558号公报 专利文献3 :日本专利特开2007-113066号公报 但是，即使像图22(专利文献3)那样由狭缝状开口部88b和扩张开口部88a来构成工件经过口 88，在只包括开闭狭缝状开口部88b的闸门部件时，扩张开口部88a始终打开，因而即便欲在处理液槽内收纳期望量的处理液，处理液也会从扩张开口部88a漏出，很难长期保持规定量的处理液。例如，若形成在箱槽15与空平台16之间的槽壁83上的开口88的扩张开口部88a始终打开，则在箱槽15装满时(实线所示的液平面LI)，镀覆液会从箱槽15通过扩张开口部88a泄漏到空平台16，镀覆液强有力地与空平台16的底面碰撞，产生泡沫。另外，在箱槽15排液时(双点划线所示的液面L2)，镀覆液会从镀覆液槽14通过槽壁82的扩张开口部88a泄漏到箱槽15内，镀覆液强有力地与箱槽15的排液面(L2)碰撞，产生泡沫。这样产生泡沫时，泡沫会从各槽15、 16溢出，污染装置的周围。另外，泡沫会附着在工件上，因此，在工件被搬运到下一道工序时，下一道工序的装置会被泡沫污染。对此，需要用于清洗工件和装置的工序和机构。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种处理液槽，在该处理液槽中，作为工件经过口，具有狭缝状开口部和扩张开口部，从而将工件经过口的开口面积控制在必要的最小限度，并且，即使是具有上述形状的工件经过口的处理液槽，也能在短时间内可靠地开闭工件经过口整体，并能维持工件经过口处的密封性。 为了解决上述技术问题，本专利技术的处理液槽包括供液机构和排液机构，具有工件经过口的闸门装置设于槽壁，上述工件经过口具有垂直姿势的板状工件能经过的上下方向细长的狭缝状开口部、在该狭缝状开口部的上端形成且宽度比上述狭缝状开口部的宽度大的扩张开口部，上述闸门装置包括利用驱动机构在大致水平方向上移动或变形来开闭上述狭缝状开口部的闸门部件、该闸门部件以外的开闭上述扩张开口部的闸板，上述闸板包括配置在处理液槽内的浮子，通过处理液槽内的处理液的增减引起的浮子的升降，使上述闸板在打开位置与关闭位置之间变更位置。 (1)根据上述结构，能将工件经过口的开口面积限制成工件和工件保持部件能经过的大致最小的面积，因此，能抑制处理液从工件经过口漏出。(2)由于利用在水平方向上滑动或变形自如的闸门部件来开闭狭缝状开口部，并利用绕水平的转动轴转动自如的快门来开闭扩张开口部，因此能在短时间内开闭工件经过口整体，能提高连续的工件处理作业的效率。即，对应各开口部的形状分别包括滑动或变形式的闸门部件和转动式的闸板，因此，能大幅度縮短工件经过口整体的开闭时间。(3)由于利用配置在处理液槽内的浮子来使闸板工作，因此不必为了开闭闸板而包括电动机等特殊的驱动机构，能简化闸门装置。 本专利技术中，在上述结构中，可将上述扩张开口部形成为V字形。 根据上述结构，狭缝状开口部及与其上方连续的扩张开口部的形成作业容易。本专利技术中，在上述结构中，可采用这样的构造上述浮子固接于闸板的转动轴，并能与闸板一体转动。 根据上述结构，能将浮子与闸板一体地紧凑配置。 本专利技术中，在上述结构中，作为转动式浮子的代替，可采用这样的构造通过线状部件在闸板上连结浮子，使上述线状部件从闸板朝下方延伸并通过转向滑轮朝上方折回，在折回的上端部连结上述浮子。 根据上述结构，能在处理液槽内的期望的位置上配置浮子。即，浮子的布置自由度增加。附图说明 图1是本专利技术的第一实施方式，是镀覆装置的整体俯视图。 图2是图1的镀覆槽和箱槽附近的纵截面放大图。 图3是图2的III-III截面放大图。 图4是图2的IV-IV截面放大图。 图5是图1的镀覆槽、箱槽和空平台的纵截面简图。 图6是图5的箱槽的俯视图。 图7是图6的VII-VII剖视图。 图8是图7的闸门装置的俯视放大图。 图9是表示工件经过口处于打开状态的闸门装置的作用说明图。 图10是表示工件经过口处于关闭状态的闸门装置的作用说明图。 图11是本专利技术的第二实施方式，是闸板处于打开状态的处理液槽的纵截面简图。 图12是与图11相同的处理液槽，是表示闸板处于关闭状态的纵截面简图。 图13是本专利技术的第三实施方式，是闸板处于打开状态的处理液槽的俯视图。 图14是图13的XIV-XIV剖视图。 图15是本专利技术的第四实施方式，是闸板处于关闭状态的处理液槽的纵截面简图。 图16是本专利技术的第五实施方式，是处理液槽的俯视图。 图17是图16的XVIHVII剖视图。 图18是本专利技术的第六实施方式，是处理液槽的俯视图。 图19是图18的XIX-XIX剖视图。 图20是本专利技术的第七实施方式，是处理液槽的纵截面简图。 图21是图21的XXI-XXI剖视图。 图22是表示以往的处理液槽的排液和供液时的作用的立体图。(符号说明) 15箱槽(处理液槽的一例) 46排出口栓(排液机构的一例) 47柱槽(供液机构的一例) 85闸门装置 88工件经过口 88a狭缝状开口部 88b扩张开口部 93可动闸门部件 94可动闸门部件的驱动机构 150闸禾反 151 f孚子 152闸板的转动轴 161绳(线状体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种处理液槽，包括供液机构和排液机构，具有工件经过口的闸门装置设于槽壁，其特征在于，　　所述工件经过口具有：垂直姿势的板状工件能经过的上下方向细长的狭缝状开口部、在该狭缝状开口部的上端形成且宽度比所述狭缝状开口部的宽度大的扩张开口部，　　所述闸门装置包括：利用驱动机构在大致水平方向上移动或变形来开闭所述狭缝状开口部的闸门部件、该闸门部件以外的开闭所述扩张开口部的闸板，　　所述闸板包括配置在处理液槽内的浮子，通过处理液槽内的处理液的增减引起的浮子的升降，使所述闸板在打开位置与关闭位置之间变更位置。

【技术特征摘要】
JP 2008-10-28 2008-276477一种处理液槽，包括供液机构和排液机构，具有工件经过口的闸门装置设于槽壁，其特征在于，所述工件经过口具有垂直姿势的板状工件能经过的上下方向细长的狭缝状开口部、在该狭缝状开口部的上端形成且宽度比所述狭缝状开口部的宽度大的扩张开口部，所述闸门装置包括利用驱动机构在大致水平方向上移动或变形来开闭所述狭缝状开口部的闸门部件、该闸门部件以外的开闭所述扩张开口部的闸板，所述闸板包括配置在处理液槽内的浮子，通过处理液槽内的处...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川佳三，奈良田忠昭，
申请(专利权)人：上村工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]