【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体元件加工，特别是涉及龙门机构及其制造方法、装片机。
技术介绍
1、半导体元件非常精密，其加工设备也需要较高的精度。普通的芯片装片机的精度能够达到10μm。
2、例如10μm倒装装片机包括多结构、多零件，通过叠加安装。该设备能够形成例如两个独立的坐标系统，使得许多模组的累计误差大，在空间行程上也存在夹角风险。普通精度要求的产品生产中，能够使用这类倒装装片机。
3、随着芯片的集成化程度增加，在芯片加工领域，例如倒装芯片键合领域，需要更高精度的装片机。
技术实现思路
1、本公开实施方式提供用于制造龙门机构的方法，该方法包括：形成基座；形成间隔设置的两个立柱，及将立柱固定于所述基座上；形成沿第一方向滑动连接于两个立柱的横梁组件，形成横梁组件的步骤包括：形成滑动连接于一个立柱的第一横梁座，及形成一体式结构的横梁导轨座，横梁导轨座的第二横梁座滑动连接于另一个立柱，横梁导轨座的横梁柔性连接于第一横梁座；形成沿第二方向滑动连接于横梁组件的安装平台，包括：在安装板形成第一安装部，及在安装板形成第二安装部；装配用于控制横梁组件滑动的第一控制装置和第二控制装置；以及装配用于控制安装平台滑动的第三控制装置。
2、本公开实施方式的方法通过在安装板形成第一安装部和第二安装部，能够将例如贴片头和视觉定位装置都安装在安装平台，使得两个模组在同一个坐标系内，结构简单紧凑；有利于制造运动精度高的龙门机构。本公开实施方式的方法通过制造整体机构与装配多个控制装置，能够制
3、在一些实施方式中，装配第一控制装置的步骤包括：装配用于控制第一横梁座滑动的第一直线电机和用于驱动第一直线电机的第一驱动器；装配第二控制装置的步骤包括：装配用于控制横梁导轨座滑动的第二直线电机和用于驱动第二直线电机的第二驱动器；装配第三控制装置的步骤包括：装配用于控制安装平台滑动的第三直线电机和用于驱动第三直线电机的第三驱动器；方法还包括：利用激光干涉仪测量安装平台相对基座的移动，对第一驱动器、第二驱动器及/或第三驱动器进行精度补偿。
4、如此设置，能够利用激光干涉仪精准地识别安装平台相对基座的移动，保证驱控一体精确同步。
5、在一些实施方式中，形成两个立柱的步骤包括：在至少一个立柱形成定位边；方法还包括：在两个立柱上形成相互平行的四个第一方向导轨，其中每个立柱上设置有对应的两个第一方向导轨以滑动连接于横梁组件，包括：贴靠定位边地设置一个第一方向导轨；从一个第一方向导轨的中间位置向两端依次锁紧多个螺丝；以及，利用千分表调试另外三个第一方向导轨；形成位于横梁一侧的相互平行的两个第二方向导轨，以滑动连接安装平台。
6、如此设置，有助于保证直线度。
7、在一些实施方式中，用于制造龙门机构的方法还包括：通过对天然大理石进行自然时效，形成基座；其中，形成立柱的步骤包括：通过开模铸造形成预制立柱；及，对预制立柱进行多次时效处理；形成横梁座的步骤包括：通过开模铸造形成预制横梁座；及，对预制横梁座进行多次时效处理；形成横梁导轨座的步骤包括：通过开模铸造形成预制横梁导轨座，其中，形成横梁的步骤包括形成经过力学仿真设计的圆形减重孔；及，对预制横梁导轨座进行多次时效处理。
8、如此设置，能够形成稳定性高的基座，配合立柱和横梁组件，保证了机构刚性，增加了第一方向的刚性；横梁在结构轻巧的基础上，保证刚性地支撑安装平台；横梁易于柔性连接到第一横梁座，避免热胀冷缩导致的精度丢失。
9、本公开实施方式提供龙门机构，该龙门机构包括；基座；间隔设置的两个立柱，两个立柱固定于基座上；横梁组件，包括第一横梁座和一体式结构的横梁导轨座，横梁导轨座包括第二横梁座和横梁，第一横梁座沿第一方向滑动连接于一个立柱，第二横梁座滑动连接于另一个立柱，横梁柔性连接于第一横梁座；第一控制装置和第二控制装置，用于控制横梁组件滑动；安装平台，包括安装板、设置于安装板的第一安装部及设置于安装板的第二安装部，安装板滑动连接于横梁组件；以及第三控制装置，用于控制安装平台滑动。
10、本公开实施方式的龙门机构结构稳定，能够实现更高精度。通过设置安装平台包括两个安装部，能够将例如贴片头和视觉定位装置都安装在安装平台，安装平台上能够同时安装两个重要的关键模组，使得两个模组在同一个坐标系内，结构简单紧凑；两个模组能够进行同步运动，二者的相对位置恒定，无需计算二者的相对位置变化，提高了运动精度，减少了计算量。
11、此外，通过立柱、一体式的横梁导轨座，保证了整体机构的联动模组较少，有利于减少多模组之间的相互扰动；还保证了整体机构刚性。
12、在一些实施方式中，第一控制装置包括：用于控制第一横梁座滑动的第一直线电机和用于驱动第一直线电机的第一驱动器；第二控制装置包括：用于控制横梁导轨座滑动的第二直线电机和用于驱动第二直线电机的第二驱动器；第三控制装置包括：用于控制安装平台滑动的第三直线电机和用于驱动第三直线电机的第三驱动器；第一驱动器、第二驱动器及/或第三驱动器被配置为：经过精度补偿，精度补偿通过利用激光干涉仪测量安装平台相对基座的移动实现。
13、如此设置，龙门机构能实现驱控一体精确同步。
14、在一些实施方式中，龙门机构还包括第一光栅尺、第一读数头、第二光栅尺、第二读数头、第三光栅尺及第三读数头，第一光栅尺和第二光栅尺分别设置于两个立柱并位于两个立柱的内侧，第一光栅尺、第二光栅尺及第三光栅尺分别为绝对式光栅尺，第一读数头和第二读数头设置于横梁组件的下部，分别用于识别第一光栅尺和第二光栅尺，第三光栅尺设置于横梁的下部，第三读数头设置于安装平台的下部，第三读数头用于识别第三光栅尺。
15、如此设置，在龙门机构运行时，能够判别安装平台相对基座的位置；绝对式光栅尺的使用，能够避免中途停机要回零影响精度及效率.并减少霍尔线、光电感应器线缆，避免物料拉扯力对整定精度的影响。
16、在一些实施方式中，至少一个立柱包括定位边；龙门机构还包括：相互平行的四个第一方向导轨，立柱上设置有对应的两个第一方向导轨以滑动连接于横梁组件，定位边贴靠有第一方向导轨，贴靠于定位边的第一方向导轨通过多个螺丝连接于立柱；龙门机构还包括：相互平行的两个第二方向导轨，位于横梁一侧。
17、如此设置，有利于保证横梁组件沿第一方向相对立柱的滑动精度；还有利于保证稳定性。
18、在一些实施方式中，基座的材料为天然大理石材料，两个立柱设置于基座上；第一横梁座和横梁导轨座分别为铸造件，横梁包括圆形减重孔。
19、如此设置，既保证了稳定性，又保证了连接装配方便；龙门机构整体刚性好，运动惯性小，相互运动扰动小，运动精度高。
20、本公开实施方式提供装片机，该装片机包括：前述的龙门机构，龙门机构具有上料位和加工位；贴片头，设置于第一安装部；以及视觉定位装置，设置于第二安装部。
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【技术保护点】
1.用于制造龙门机构的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于制造龙门机构的方法，其特征在于，装配所述第一控制装置的步骤包括：装配用于控制所述第一横梁座滑动的第一直线电机和用于驱动所述第一直线电机的第一驱动器；
3.根据权利要求1所述的用于制造龙门机构的方法，其特征在于，形成所述两个立柱的步骤包括：在至少一个所述立柱形成定位边；
4.根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的用于制造龙门机构的方法，其特征在于，还包括：通过对天然大理石进行自然时效，形成所述基座；
5.龙门机构，其特征在于，包括；
6.根据权利要求5所述的龙门机构，其特征在于，所述第一控制装置包括：用于控制所述第一横梁座滑动的第一直线电机和用于驱动所述第一直线电机的第一驱动器；
7.根据权利要求5所述的龙门机构，其特征在于，还包括第一光栅尺、第一读数头、第二光栅尺、第二读数头、第三光栅尺及第三读数头，所述第一光栅尺和所述第二光栅尺分别设置于所述两个立柱并位于所述两个立柱的内侧，所述第一光栅尺、所述第二光栅尺及所述第三光栅尺分别为绝对
8.根据权利要求5所述的龙门机构，其特征在于，至少一个所述立柱包括定位边；
9.根据权利要求5所述的龙门机构，其特征在于，所述基座的材料为天然大理石材料；
10.装片机，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.用于制造龙门机构的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于制造龙门机构的方法，其特征在于，装配所述第一控制装置的步骤包括：装配用于控制所述第一横梁座滑动的第一直线电机和用于驱动所述第一直线电机的第一驱动器；
3.根据权利要求1所述的用于制造龙门机构的方法，其特征在于，形成所述两个立柱的步骤包括：在至少一个所述立柱形成定位边；
4.根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的用于制造龙门机构的方法，其特征在于，还包括：通过对天然大理石进行自然时效，形成所述基座；
5.龙门机构，其特征在于，包括；
6.根据权利要求5所述的龙门机构，其特征在于，所述第一控制装置包括：用于控制所述第一横梁座滑动的第一直线电机和用于驱动所述第一直线电机的第一驱动器；...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁琛琦，白璐，侯腾，
申请(专利权)人：马丁科瑞半导体浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：
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