【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化工设备领域，特别是一种低耗能硅烷生产设备。
技术介绍
1、硅烷生产的传统工艺，其是通过前置的氢化装置生产的三氯氢硅（tcs）经过精馏提纯后，进行歧化反应生成二氯二氢硅（dcs），再由dcs进行歧化反应生成硅烷（ms），来实现硅烷的生产。
2、其传统的工艺流程为，氢化生产的tcs经精馏塔提纯后，再经换热器冷凝成液相，存入喂料罐中，加压后引入dcs反应器，其反应器内具体的反应方程式为：
3、2sihcl3→sicl4+sih2cl2
4、反应生成dcs及四氯化硅（stc），与未反应的tcs一起经两个精馏塔将杂质成分stc及tcs分离，再经换热器冷凝后，存入喂料罐中，加压后引入硅烷反应器，其反应器内的具体反应方程式为：
5、3sih2cl2→sih4+2sihcl3
6、生成硅烷及tcs，经三个精馏塔分离后即得电子级硅烷产品。
7、传统工艺的能耗较高，其主要体现在精馏塔需要蒸汽或电加热的方式进行精馏，每个精馏塔都需要自己的再沸器，将物料进行升温，平均一个塔的加热蒸汽使用量可达5吨/每小时；
8、传统工艺系统较为臃肿，其精馏塔一般拥有7个塔器进行产品的精馏提纯，其塔器较多，造成了耗能较高的情况。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的目的是提供一种低耗能硅烷生产设备，减少了精馏塔的数量，简化结构，同时利用塔与塔之间的温度差进行热耦合，减少了加热蒸汽的使用量，降低能耗。
2、本技术采用以
3、在本实施例中，还包括热耦合换热器b、再沸器和精馏塔b，精馏塔a底部通过管道与热耦合换热器b、再沸器及精馏塔b连接，热耦合换热器b和再沸器与精馏塔a侧部之间分别通过管道连接，精馏塔b顶部和热耦合换热器b之间通过管道连接。
4、在本实施例中，还包括缓冲罐，缓冲罐顶部热耦合换热器b之间通过管道连接，缓冲罐底部连接有分别通往精馏塔b侧部以及吸附床和热耦合换热器a之间管道的回流管。
5、与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：本技术低耗能硅烷生产设备减少了精馏塔的数量，简化结构，同时利用塔与塔之间的温度差进行热耦合，减少了加热蒸汽的使用量，降低能耗；减少了tcs进料后的脱重精馏塔及脱轻精馏塔，取而代之一个吸附床，进行杂质的吸附，减少了后段金属杂质的处理压力。
6、为使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下将通过具体实施例和相关附图，对本技术作进一步详细说明。
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1.一种低耗能硅烷生产设备，其特征在于：包括通过管道依次连接的吸附床、热耦合换热器A、反应器A、精馏塔A、热耦合换热器C、反应器B、硅烷精馏塔A和硅烷精馏塔B；所述热耦合换热器A与精馏塔A以及热耦合换热器C通过管道连接，所述热耦合换热器C与硅烷精馏塔A底部通过管道连接。
2.根据权利要求1所述的低耗能硅烷生产设备，其特征在于：还包括热耦合换热器B、再沸器和精馏塔B，精馏塔A底部通过管道与热耦合换热器B、再沸器及精馏塔B连接，热耦合换热器B和再沸器与精馏塔A侧部之间分别通过管道连接，精馏塔B顶部和热耦合换热器B之间通过管道连接。
3.根据权利要求2所述的低耗能硅烷生产设备，其特征在于：还包括缓冲罐，缓冲罐顶部热耦合换热器B之间通过管道连接，缓冲罐底部连接有分别通往精馏塔B侧部以及吸附床和热耦合换热器A之间管道的回流管。
【技术特征摘要】
1.一种低耗能硅烷生产设备，其特征在于：包括通过管道依次连接的吸附床、热耦合换热器a、反应器a、精馏塔a、热耦合换热器c、反应器b、硅烷精馏塔a和硅烷精馏塔b；所述热耦合换热器a与精馏塔a以及热耦合换热器c通过管道连接，所述热耦合换热器c与硅烷精馏塔a底部通过管道连接。
2.根据权利要求1所述的低耗能硅烷生产设备，其特征在于：还包括热耦合换热器b、再沸器和精馏塔...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕磊，杨忠林，贺克领，郑付天，张琨，颜可，谢世鹏，廖鸿昌，
申请(专利权)人：福建恒申电子材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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