【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种确定到测量目标对象的距离的非接触式探头。
技术介绍
1、日本专利申请公开号2021-189143公开了一种具有非接触式探头的坐标测量机，非接触式探头用点状激光束(束斑)扫描工件的测量部分，并测量到测量部分的距离。非接触式探头具有接收激光束的光接收表面(具体地，线传感器)，并且当根据三角定位原理确定距离时，从由测量部分反射的激光束在光接收表面的像素列(一个像素列)上的图像形成位置来确定到测量部分的距离。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的问题
2、同时，如果固定透镜、反射镜或光接收光学系统的透镜的框架等由于测量期间温度变化的出现而膨胀或收缩，则在一些情况下光接收表面上的图像形成位置偏移。例如，担心如果图像形成位置在与像素列在光接收表面上排列的方向正交的正交方向上的偏移量变得不期望地大于像素列的像素尺寸，则不期望地不可能感测图像形成位置。注意，尽管也可以考虑通过升高像素列的像素尺寸来防止上述故障的发生，但是在这种情况下分辨率恶化。此外，由于可以应对的图像形成位置的偏移量限于不超过像素尺寸的偏移量，因此不可能应对非常大的偏移量。
3、因此，鉴于这些问题，做出了本公开，并且本公开的目的是即使发生温度变化，也能适当地感测图像形成位置。
4、解决问题的方法
5、本公开的一个方面提供了一种非接触式探头，包括：光照射部，用点状激光束扫描测量目标对象；图像捕获部，通过使用从包括多个像素列的光接收表面选择的多个像素列来捕获由测量目标对象反
6、此外，像素列改变部可以选择不同的多个像素列，使得图像形成位置在与像素列方向正交的正交方向上位于所选择的多个像素列的中心。
7、此外，非接触式探头还可以包括校准量计算部，校准量计算部基于当像素列改变部已改变像素列时图像形成位置从位置感测部上次感测的图像形成位置在列方向和正交方向上的移动的移动量，计算用于校准到测量目标对象的距离的校准量。
8、此外，非接触式探头还可以包括距离计算部，距离计算部通过将由校准量计算部计算的校准量添加到由位置感测部感测的图像形成位置来计算到测量目标对象的距离。
9、此外，非接触式探头还可以包括温度评估部，温度评估部基于在像素列改变部已改变像素列时图像形成位置从位置感测部上次感测的图像形成位置的移动的移动方向，评估外部温度是否有温度升高或温度降低。
10、此外，非接触式探头还可以包括温度获取部，温度获取部获取由温度传感器感测的外部温度，其中温度评估部可以在移动方向是与像素列方向正交的正交方向中的第一方向的情况下，评估由温度获取部获取的外部温度正在升高，并且在移动方向是与第一方向相反的第二方向的情况下，评估由温度获取部获取的外部温度正在降低。
11、此外，非接触式探头还可以包括校准量计算部，校准量计算部使得在温度评估部评估为存在温度升高的情况下对应于图像形成位置的温度的温度校准量不同于在温度评估部评估为存在温度降低的情况下对应于图像形成位置的温度的温度校准量。此外，校准量计算部可以使得在温度评估部评估为存在温度升高的情况下对应于图像形成位置的温度的温度校准量大于在温度评估部评估为存在温度降低的情况下对应于图像形成位置的温度的温度校准量。
12、此外，非接触式探头还可以包括距离计算部，距离计算部基于由校准量计算部确定的温度校准量来校准到测量目标对象的距离。
13、本专利技术的效果
14、本公开实现了即使发生温度变化也可以适当地感测图像形成位置的效果。
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1.一种非接触式探头，包括：
2.根据权利要求1所述的非接触式探头，其中，所述像素列改变部选择不同的多个像素列，使得所述图像形成位置在与像素列方向正交的正交方向上位于所选择的多个像素列的中心。
3.根据权利要求1所述的非接触式探头，还包括校准量计算部，所述校准量计算部基于当所述像素列改变部已改变所述像素列时图像形成位置从由所述位置感测部上次感测的图像形成位置在所述列方向和所述正交方向上移动的移动量，计算用于校准到所述测量目标对象的距离的校准量。
4.根据权利要求3所述的非接触式探头，还包括距离计算部，所述距离计算部通过将由所述校准量计算部计算的校准量添加到由所述位置感测部感测的所述图像形成位置来计算到所述测量目标对象的距离。
5.根据权利要求1所述的非接触式探头，还包括温度评估部，所述温度评估部基于当所述像素列改变部已改变所述像素列时的图像形成位置从由所述位置感测部上次感测的图像形成位置移动的移动方向，评估外部温度是否有温度升高或温度降低。
6.根据权利要求5所述的非接触式探头，还包括温度获取部，所述温度获取部获取由温度
7.根据权利要求6所述的非接触式探头，还包括校准量计算部，所述校准量计算部使得在所述温度评估部评估为存在温度升高的情况下与所述图像形成位置的温度对应的温度校准量和在所述温度评估部评估为存在温度降低的情况下与所述图像形成位置的温度对应的温度校准量不同。
8.根据权利要求7所述的非接触式探头，其中，所述校准量计算部使得在所述温度评估部评估为存在温度升高的情况下与所述图像形成位置的温度对应的所述温度校准量大于在所述温度评估部评估为存在温度降低的情况下与所述图像形成位置的温度对应的所述温度校准量。
9.根据权利要求7所述的非接触式探头，还包括距离计算部，所述距离计算部基于由所述校准量计算部确定的温度校准量来校准到所述测量目标对象的距离。
...【技术特征摘要】
1.一种非接触式探头，包括：
2.根据权利要求1所述的非接触式探头，其中，所述像素列改变部选择不同的多个像素列，使得所述图像形成位置在与像素列方向正交的正交方向上位于所选择的多个像素列的中心。
3.根据权利要求1所述的非接触式探头，还包括校准量计算部，所述校准量计算部基于当所述像素列改变部已改变所述像素列时图像形成位置从由所述位置感测部上次感测的图像形成位置在所述列方向和所述正交方向上移动的移动量，计算用于校准到所述测量目标对象的距离的校准量。
4.根据权利要求3所述的非接触式探头，还包括距离计算部，所述距离计算部通过将由所述校准量计算部计算的校准量添加到由所述位置感测部感测的所述图像形成位置来计算到所述测量目标对象的距离。
5.根据权利要求1所述的非接触式探头，还包括温度评估部，所述温度评估部基于当所述像素列改变部已改变所述像素列时的图像形成位置从由所述位置感测部上次感测的图像形成位置移...
【专利技术属性】
技术研发人员：高井利久，田村谦太郎，上岛泰，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：
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