【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体外延生长设备领域，特别涉及一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置及方法。
技术介绍
1、化学气相沉积（cvd）技术是一种新型的材料制备方法，它可以用于制备各种粉体材料、块体材料、新晶体材料、陶瓷纤维、半导体及金刚石薄膜等多种类型的材料，广泛应用于宇航工业上的特殊复合材料、原子反应堆材料、刀具材料、耐热耐磨耐腐蚀及生物医用材料等领域。同传统材料制备技术相比，cvd 技术具有以下优点：（1）可以在远低于材料熔点的温度进行材料合成；（2）可以控制合成材料的元素组成、晶体结构、微观形貌(粉末状、纤维状、枝状、管状、块状等)；（3）不需要烧结助剂，可以高纯度合成高密度材料；（4）可以实现材料结构微米级、亚微米级甚至纳米级控制；（5）能够进行复杂形状结构件及图层的制备；（6）能够制备梯度复合材料及梯度涂层和多层涂层；（7）能够进行亚稳态物质及新材料的合成。目前，cvd 已成为大规模集成电路的铁电材料、绝缘材料、磁性材料、光电子材料、高温热结构陶瓷基复合材料及纳米粉体材料不可或缺的制备技术。
2、在碳化硅外延生长cvd的过程中，由于原料、保温材料石墨毡、cvd基材等含有的金属元素化合物杂质，在高温还原气氛下被还原为活性金属颗粒，随着副反应生成氯硅烷的高聚物、碳粉以及其他颗粒物杂质流出反应炉，进入真空泵，对泵体正常运行产生不良影响，此类混合颗粒物具有一定的粘性，易黏附于管壁以及阀门接口处堵塞管路和阀门，造成安全隐患。
技术实现思路
1、为了解决现有技术的问题，本专
2、一方面，提供了一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，所述处理装置包括：旋风分离器；
3、所述旋风分离器的侧壁开设有进气口，顶部开设有出气口，底部开设有排灰口；
4、所述进气口通过第一管道与反应炉的尾气出口连接，所述出气口通过第二管道与真空泵尾气进口连接；
5、所述旋风分离器的漏斗内壁连接有抖动组件；
6、所述旋风分离器的内部固定连接有初滤网，所述初滤网位于所述进气口的正上方。
7、进一步地，所述抖动组件包括：电磁铁、滑杆和磁性滑块；
8、所述电磁铁的底部固定连接在所述旋风分离器的漏斗内壁上，所述电磁铁内部为中空状，所述电磁铁内部固定连接有磁芯，所述磁芯上缠绕有通电线圈；
9、所述磁性滑块的内部为中空状，且所述磁性滑块靠近所述滑杆的一端开设有通孔，所述磁性滑块远离所述滑杆的一端固定连接有抖动板；
10、所述滑杆的一端与所述电磁铁固定，另一端经所述通孔进入所述磁性滑块内部，且所述滑杆的另一端固定连接有限位环。
11、进一步地，所述抖动板与所述旋风分离器的漏斗内壁之间连接有防尘橡胶套。
12、进一步地，所述旋风分离器的内侧顶部固定连接有环形滤网，所述环形滤网位于所述出气口的正下方，且位于所述初滤网的上方。
13、进一步地，所述旋风分离器的外侧连接有水冷套。
14、所述第一管道上通过三通管连接有尾气进气阀和维护气进气阀，所述反应炉的尾气出口与所述尾气进气阀连接；
15、所述第二管道上通过三通管连接有尾气出气阀和维护气出气阀，
16、所述真空泵的尾气进口与所述尾气出气阀连接；
17、所述排灰口通过第三管道连接有星形阀，所述星形阀上连接有积灰仓。
18、另一方面，提供了一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理方法，通过所述一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置进行处理，所述方法包括：反应炉产生的尾气通过进气口进入旋风分离器内，
19、尾气中的一部分颗粒物与所述旋风分离器内壁摩擦失去动能落入所述旋风分离器底部的漏斗中，通过抖动组件将颗粒物抖动下去，通过排灰口排出；
20、尾气被初滤网过滤剩余颗粒物，然后通过出气口进入真空泵内。
21、进一步地，所述通过抖动组件将颗粒物抖动下去具体包括：
22、当颗粒物落到抖动板后，给通电线圈通入交流电，使得电磁铁携带磁性，磁性在不断的变化，使得磁性滑块在滑杆外侧来回滑动，产生抖动，带动抖动板抖动，将抖动板上固体颗粒抖动到排灰口。
23、进一步地，所述方法还包括：
24、尾气处理完成后，通过所述进气口通入惰性气体将所述旋风分离器内的气体进行置换，
25、然后通过所述进气口通入惰性气体、水蒸气和氧气，其中水蒸气和氧气结合将活性金属颗粒物反应生成对应的氢氧化物和氧化物，
26、放出热量被惰性气体带出部分，剩余的由水冷套将热量移出。
27、与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
28、在本专利技术中，大部分的颗粒物会在旋风分离当中被截留下来，通过抖动组件抖动落入积灰仓内，达到分离效果，微小颗粒物则在初滤网当中被拦截，以此确保过滤效果，管路和阀门不易堵塞，减少维护频次。其次，在出气口的下方连接环形滤网，过滤残余的细微固体颗粒，达到更好的除尘效果以保护真空泵。
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1.一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述处理装置包括：旋风分离器（1）；
2.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述抖动组件包括：电磁铁（10）、滑杆（11）和磁性滑块（12）；
3.根据权利要求2所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述抖动板（16）与所述旋风分离器（1）的漏斗内壁之间连接有防尘橡胶套（17）。
4.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述旋风分离器（1）的内侧顶部固定连接有环形滤网（18），所述环形滤网（18）位于所述出气口（3）的正下方，且位于所述初滤网（9）的上方。
5.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述旋风分离器（1）的外侧连接有水冷套（19）。
6.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述第一管道（5）上通过三通管连接有尾气进气阀（20）和维护 气进气阀（21），所述反应炉（6）的尾气出口与
7.一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理方法，其特征在于，利用权利要求1-6任一所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置进行处理，所述方法包括：
8.根据权利要求7所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理方法，其特征在于，所述通过抖动组件将颗粒物抖动下去具体包括：
9.根据权利要求7所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理方法，其特征在于，所述方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述处理装置包括：旋风分离器（1）；
2.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述抖动组件包括：电磁铁（10）、滑杆（11）和磁性滑块（12）；
3.根据权利要求2所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述抖动板（16）与所述旋风分离器（1）的漏斗内壁之间连接有防尘橡胶套（17）。
4.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述旋风分离器（1）的内侧顶部固定连接有环形滤网（18），所述环形滤网（18）位于所述出气口（3）的正下方，且位于所述初滤网（9）的上方。
5.根据权利要求1所述的一种用于外延生长的尾气...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋彪，朱佰喜，薛抗美，
申请(专利权)人：广州志橙半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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