【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光电设备领域，尤其涉及一种激光直线度测量仪及其测量方法。
技术介绍
1、激光直线度测量仪是将激光束作为测量基准，釆用光电接收器来接收激光光斑产生的电信号，根据电信号的变化，得到相对位移变化的测量仪器。激光直线度测量仪的测量性能，主要取决于激光束的质量。光电接收器接收的是激光束中心的能量，但激光束通过带有像差的光学系统传输，会产生波前畸变，激光通过大气时，能量中心会偏移，能量大小会改变，由于激光技术的限制，所以现在的激光直线度测量仪的测量性能无法得到大的提升。激光束在传播过程中，光斑中心会发生偏移，现有的激光直线度测量仪是直接测量光斑中心位置的变化，激光束在传播过程中光斑中心的偏移量也包含在测量结果中，影响测量结果的准确度，因此，为了避免现有技术中存在的缺点，有必要对现有技术作出改进。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本专利技术一个方面提供一种激光直线度测量仪，包括，
2、激光发射装置，所述激光发射装置可发射激光及调整激光发射的角度；
3、激光接收装置，所述激光接收装置包括第一传感器、第二传感器，所述第一传感器及第二传感器设置在同一直线上并相互平行，两传感器的距离为d，激光发射至第一传感器接收光信号，部份激光线穿过第一传感器发射至第二传感器接收光信号；
4、根据第一传感器及第二传感器的位置读数差可测量激光接收装置与激光线的角度量，得到导轨或平面在各测量点的高度差，从而测量导轨或平面的直线度或平面度。
5、在一些实施方式中
6、在一些实施方式中，所述激光发射装置发射的激光束与所述激光接收装置所处位置的夹角为0°时，所述激光接收装置的位置传感器接收面与所述激光发射装置发射的激光束垂直，所述第一传感器和所述第二传感器的读数相同，激光接收装置的位置传感器接收面与激光发射光束不垂直，第一传感器和所述第二传感器的读数不相同，其读数差为y，则两者之间的夹角为β＝arctany/d，激光接收装置安装的跨距为l，则激光接收装置与前一测量点所处位置的高度差为h＝l·sinβ。
7、在一些实施方式中，所述激光发射装置上设置有激光发射器。
8、在一些实施方式中，所述第一传感器和所述第二传感器均为位移传感器。
9、本专利技术另一方面还提供了一种激光直线度测量方法，使用上述的激光直线度测量仪进行测量，包括以下步骤：
10、s1，根据被测量导轨或平面的大小选择合适的跨距长度及测量点数量，固定激光发射装置在被测量导轨或平面的一端，将激光接收装置固定在跨距装置的桥板上，将固定在跨距装置桥板上的激光接收装置放置在被测量导轨或平面的第一测量点上，启动激光发射装置发射激光至所述激光接收装置激光入射至所述第一传感器，部分激光透过第一传感器入射至所述第二传感器，接收到激光后所述第一传感器和所述第二传感器会分别产生电信号，根据所述第一传感器和所述第二传感器发送的电信号，提取第一测量点相应的激光位置信息，记录下所述第一传感器和所述第二传感器的示值；
11、s2，移动激光接收装置至最远测量点，调整激光发射装置的水平及垂直旋钮，使激光束在该测量点与第一测量点基本处在同一高度位置；
12、s3，移动激光接收装置至第一测量点上，然后对所述第一传感器和所述第二传感器置零；
13、s4，移动激光接收装置至第二测量点，保证第二测量点跨板的起始点与第一测量点的末点重合，记录下所述第一传感器和所述第二传感器的示值，两传感器读数差为y，两测量点的角度变化量为β＝arctany/d，激光接收装置安装的跨距为l，则两测量点的高度差为h＝lsinβ。
14、s5，继续移动激光接收装置至其他测量点，依次对所有测量点进行测量，根据所述第一传感器和所述第二传感器示值的差值，计算出激光接收装置与激光束在两相邻测量点偏移的角度β，根据偏移的角度β与激光接收装置安装的跨距l，可得到两相邻测量点的高度差，依次对所有测量点的高度差进行累加，可分别得到各测量点与第一测量点的高度差，根据直线度或平面度的算法，即可得到被测量导轨或平面的直线度或平面度。
15、本专利技术的一种激光直线度测量仪，能够提高直线度的测量精度，由于不是直接测量激光接收装置在相应测量点位移的变化量，而是测量点与激光束基准线的夹角，光斑中心的偏移不会对测量结果产生影响，可使激光直线度测量仪的测量性能得到很大的提高，避免激光束在传播过程中，光斑中心产生偏移而影响测量结果，以激光线作为基准的激光直线度测量仪可测量处于任意位置的直线度、平面度，结构简单，使用方便，测量精确度高。
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1.一种激光直线度测量仪，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光直线度测量仪，其特征在于，激光直线度测量仪还包括跨距装置，所述跨距装置包括桥板，所述激光接收装置设置在所述桥板上。
3.根据权利要求1所述的激光直线度测量仪，其特征在于，所述激光发射装置发射的激光束与所述激光接收装置所处位置的夹角为0°时，所述激光接收装置的位置传感器接收面与所述激光发射装置发射的激光束垂直，所述第一传感器和所述第二传感器的读数相同，激光接收装置的位置传感器接收面与激光发射光束不垂直，第一传感器和所述第二传感器的读数不相同，其读数差为y，则两者之间的夹角为β＝arctany/d，激光接收装置安装的跨距为L，则激光接收装置的高度变化量为H＝L·sinβ。
4.根据权利要求1～3任一项所述的激光直线度测量仪，其特征在于，所述激光发射装置上设置有激光发射器。
5.根据权利要求1～3任一项所述的激光直线度测量仪，其特征在于，所述第一传感器和所述第二传感器均为位移传感器。
6.一种激光直线度测量方法，其特征在于，使用权利要求1-5任一项所述的
...【技术特征摘要】
1.一种激光直线度测量仪，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光直线度测量仪，其特征在于，激光直线度测量仪还包括跨距装置，所述跨距装置包括桥板，所述激光接收装置设置在所述桥板上。
3.根据权利要求1所述的激光直线度测量仪，其特征在于，所述激光发射装置发射的激光束与所述激光接收装置所处位置的夹角为0°时，所述激光接收装置的位置传感器接收面与所述激光发射装置发射的激光束垂直，所述第一传感器和所述第二传感器的读数相同，激光接收装置的位置传感器接收面与激光发射光束不垂直，第一传感器和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁平，张勇，
申请(专利权)人：广东省计量科学研究院华南国家计量测试中心，
类型：发明
国别省市：
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