【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及能谱成像，尤其涉及能谱成像方法、装置、设备和存储介质。
技术介绍
1、现有半导体器件失效领域中的光谱成像分析，通常控制能量色散x射线光谱仪（energy dispersive x-ray spectroscopy，eds）对样品进行扫描。由于eds的空间分辨率一般为亚纳米到纳米，因此，如果eds要对一个宽度为几微米到几百微米的区域进行全面扫描，需要耗费数十分钟到数小时。
2、因此有必要提供一种能谱成像方法以提高样品能谱图的确定速度。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种能谱成像方法、装置、设备和存储介质，以解决现有能谱成像方法存在无法快速确定样品能谱图的问题。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种能谱成像方法，该方法包括：
3、对目标样品的显微图像进行图像分割，得到包括至少两个区域的图像分割结果；
4、针对至少两个区域中的各区域，初始化当前区域的区域能谱图，在当前区域中确定至少两个采样点，并控制能谱分析设备采集至少两个采样点的能谱数据；
5、基于至少两个采样点的能谱数据，更新当前区域的区域能谱图；
6、在区域能谱图与图像分割结果中的当前区域之间存在匹配失败区域的情况下，基于所有已知采样点的坐标，在匹配失败区域以及匹配失败区域的设定邻域中确定至少两个采样点；
7、返回获取至少两个采样点的能谱数据的步骤，直至当前区域的区域能谱图与图像分割结果中的当前区域不存在匹配失败区域，根据所有区域
8、根据本专利技术的另一方面，提供了一种能谱成像装置，该装置包括：
9、图像分割模块，用于对目标样品的显微图像进行图像分割，得到包括至少两个区域的图像分割结果；
10、能谱数据获取模块，用于针对至少两个区域中的各区域，初始化当前区域的区域能谱图，在当前区域中确定至少两个采样点，并获取至少两个采样点的能谱数据；
11、第一能谱图模块，基于至少两个采样点的能谱数据，更新当前区域的区域能谱图；
12、优化模块，用于在区域能谱图与图像分割结果中的当前区域之间存在匹配失败区域的情况下，基于所有已知采样点的坐标，在匹配失败区域以及匹配失败区域的设定邻域中确定至少两个采样点；
13、迭代模块，用于返回获取至少两个采样点的能谱数据的步骤，直至当前区域的区域能谱图与图像分割结果中的当前区域不存在匹配失败区域，根据所有区域的区域能谱图确定目标样品的样品能谱图。
14、根据本专利技术的另一方面，提供了一种电子设备，该电子设备包括：至少一个处理器；以及与至少一个处理器通信连接的存储器；其中，存储器存储有可被至少一个处理器执行的计算机程序，计算机程序被至少一个处理器执行，以使至少一个处理器能够执行本专利技术任一实施例的能谱成像方法。
15、根据本专利技术的另一方面，提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质存储有计算机指令，计算机指令用于使处理器执行时实现本专利技术任一实施例的能谱成像方法。
16、本专利技术实施例的技术方案，通过对目标样品的显微图像进行图像分割，得到包括至少两个区域的图像分割结果；针对各区域，确定当前区域的至少两个采样点，并获取该至少两个采样点的能谱数据，以及该至少两个采样点的能谱数据对应的区域能谱图；对区域能谱图和与对应区域进行匹配，若不存在匹配失败区域，则表明当前所有采样点的能谱数据对应的区域能谱图具有较高的准确性；若存在匹配失败区域，则在匹配失败区域和匹配失败区域的邻域增加采样点，然后获取增加的采样点的能谱数据，并将其添加到对应区域能谱图的对应位置中以更新区域能谱图，再确定更新后的区域能谱图与对应区域之间是否存在匹配失败区域；如果存在，则重复上述步骤，直至二者之间不存在匹配失败区域；由于每个迭代轮次的新增采样点均位于匹配失败区域，因此通过多个迭代轮次可以逐渐缩小匹配失败区域的范围，直至最新区域能谱图与对应区域完全匹配；由于二者完全匹配，因此样品能谱图具有较高的准确性；相较于控制eds对各区域进行逐点扫描来确定样品能谱图来说，可以显著地减少eds的扫描点数，从而显著减少样品能谱图的确定时间，还可以避免因eds扫描时间过长导致样品损坏，影响样品能谱图准确性情况的发生。
17、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本专利技术的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本专利技术的范围。本专利技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种能谱成像方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在当前区域中确定至少两个采样点，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于当前区域的形状，在当前区域中确定至少两个采样点，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述匹配失败区域以及所述匹配失败区域的设定邻域中确定至少两个采样点，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对目标样品的显微图像进行图像分割，得到包括至少两个区域的图像分割结果，包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对目标样品的显微图像进行图像分割，得到包括至少两个区域的图像分割结果，包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定所述目标样品的样品能谱图之后，还包括：
8.一种能谱成像装置，其特征在于，包括：
9.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用
...【技术特征摘要】
1.一种能谱成像方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在当前区域中确定至少两个采样点，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于当前区域的形状，在当前区域中确定至少两个采样点，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述匹配失败区域以及所述匹配失败区域的设定邻域中确定至少两个采样点，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对目标样品的显微图像进行图像分割，得到包括至少两个区域的图像分割结果，包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱文飞，刘兵海，王玉柱，华佑南，李晓旻，
申请(专利权)人：胜科纳米苏州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。