System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 图像感测装置及其制造方法制造方法及图纸_技高网

图像感测装置及其制造方法制造方法及图纸

技术编号:41966136 阅读:12 留言:0更新日期:2024-07-10 16:48
本申请涉及图像感测装置及其制造方法。一种图像感测装置包括:基板层,其被构造为包括图像像素区域以及与图像像素区域分开设置的虚设区域;第一遮光结构,其被构造为覆盖虚设区域的基板层以阻挡光入射到虚设区域的基板层上;滤色器层,其设置在第一遮光结构上方;以及第二遮光结构,其被构造为阻挡反射光进入图像像素区域并且设置在第一遮光结构上方,第二遮光结构从第一遮光结构朝向滤色器层延伸并且具有允许第二遮光结构贯穿滤色器层的预定高度。

【技术实现步骤摘要】

本专利文档中公开的技术和实现总体上涉及一种图像感测装置以及用于制造图像感测装置的方法。


技术介绍

1、图像传感器用于电子装置和其它装置或系统中,以捕获光学图像并将其转换为电信号。随着汽车、医疗、计算机和通信行业的近期发展,在诸如数码相机、便携式摄像机、个人通信系统(pcs)、视频游戏机、监控摄像头、医疗微型摄像头、机器人等的各种电子装置中,对高度集成、高性能的图像传感器的需求已经迅速增加。


技术实现思路

1、所公开的技术的各种实施方式涉及用于防止从图像感测装置的模块或部分反射的光被引入到图像感测装置的有效像素区域中的技术。

2、根据所公开的技术的实施方式,一种图像感测装置可以包括:基板层,其被构造为包括图像像素区域以及与图像像素区域分开设置的虚设区域,图像像素区域包括图像像素,图像像素包括被构造为通过对入射光的光电转换来产生图像像素信号的光电转换元件;第一遮光结构,其被构造为覆盖虚设区域的基板层并且被构造为阻挡入射光入射到虚设区域的基板层上;滤色器层,其设置在第一遮光结构上方;以及第二遮光结构,其被构造为阻挡反射光进入图像像素区域并且设置在第一遮光结构上方,第二遮光结构从第一遮光结构朝向滤色器层延伸并且具有允许第二遮光结构贯穿滤色器层的预定高度。

3、根据所公开的技术的另一实施方式,一种用于制造图像感测装置的方法可以包括:形成基板层以包括:1)包括图像像素的图像像素区域,图像像素包括被构造为通过入射光的光电转换来产生图像像素信号的光电转换元件,以及2)围绕图像像素区域的虚设区域;在基板层上方形成第一金属层和第二金属层;通过对第二金属层进行图案化来在图像像素区域与虚设区域之间的边界区域中形成第二遮光结构;对第一金属层进行图案化以在图像像素区域中形成栅格结构,并且在虚设区域中形成第一遮光结构;在由栅格结构限定的区域上方以及第一遮光结构上方形成滤色器层;以及在滤色器层上方形成透镜层。

4、根据所公开的技术的另一实施方式,一种用于制造图像感测装置的方法可以包括:形成基板层以包括:1)包括图像像素的图像像素区域,图像像素包括被构造为通过入射光的光电转换来产生图像像素信号的光电转换元件,以及2)围绕图像像素区域的虚设区域;在基板层上方形成金属层;对金属层进行图案化以在图像像素区域中形成栅格结构,并且在虚设区域中形成第一遮光结构;在由栅格结构限定的区域上方以及第一遮光结构上方形成滤色器层;在滤色器层上方形成透镜层;通过蚀刻透镜层和滤色器层以使第一遮光结构暴露来形成沟槽;以及通过用遮光材料填充沟槽来形成第二遮光结构。

5、要理解的是,所公开的技术的前述一般描述和以下详细描述二者都是示例性和解释性的,并且旨在提供对所要求保护的本公开的进一步解释。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种图像感测装置,所述图像感测装置包括:

2.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

3.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

4.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

5.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

6.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

7.根据权利要求6所述的图像感测装置,其中,

8.根据权利要求7所述的图像感测装置,其中,所述第二遮光结构还包括:

9.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

10.根据权利要求1所述的图像感测装置,所述图像感测装置还包括:

11.根据权利要求10所述的图像感测装置,其中,

12.根据权利要求1所述的图像感测装置,所述图像感测装置还包括:

13.一种用于制造图像感测装置的方法,所述方法包括以下步骤:

14.根据权利要求13所述的方法,所述方法还包括以下步骤:

15.根据权利要求14所述的方法,其中,形成所述第二遮光结构的步骤包括以下步骤:p>

16.根据权利要求13所述的方法,其中,形成所述滤色器层的步骤包括以下步骤:

17.根据权利要求16所述的方法,其中,形成所述透镜层的步骤包括以下步骤:

18.根据权利要求16所述的方法,其中,形成所述透镜层的步骤包括以下步骤:

19.一种用于制造图像感测装置的方法,所述方法包括以下步骤:

20.根据权利要求19所述的方法,其中,形成所述第二遮光结构的步骤包括以下步骤:

...

【技术特征摘要】

1.一种图像感测装置,所述图像感测装置包括:

2.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

3.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

4.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

5.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

6.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

7.根据权利要求6所述的图像感测装置,其中,

8.根据权利要求7所述的图像感测装置,其中,所述第二遮光结构还包括:

9.根据权利要求1所述的图像感测装置,其中,

10.根据权利要求1所述的图像感测装置,所述图像感测装置还包括:

11.根据权利要求10所述的图像感测装置,其中,

12.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:全成熏
申请(专利权)人:爱思开海力士有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1