【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆生产，尤其涉及一种晶圆多轴联动控制系统。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入其它杂质，然后经过提纯和拉晶后形成硅单晶，硅晶棒在经过切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆,，晶圆的直径越大，同一圆片上可生产的ic数目就越多，可降低成本；但对材料技术与生产技术的要求亦随之增加。晶圆的直径越大，达到相同良率所需的成本就越高，晶圆的制造过程可分为切片、研磨、抛光、切片检测、外延片制备、氧化、光刻、镀膜、剥离、切膜、研磨、抛光、最终检测等步骤，故在晶圆的生产过程中，需要对晶圆在不同制造工序之间进行输送。
2、但现有的对晶圆进行控制输送的方式在使用时结构和功能单一，仅能对晶圆完成水平或垂直状态的自动传输，无法对晶圆进行翻面，需要单独对晶圆进行翻面，导致生产效率较低。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆多轴联动控制系统，旨在解决现有技术中现有的对晶圆进行控制输送的方式在使用时结构和功能单一，仅能对晶圆完成水平或垂直状态的自动传输，无法对晶圆进行翻面，需要单独对晶圆进行翻面，导致生产效率较低的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采用的一种晶圆多轴联动控制系统，包括升降模块、横移模块、夹持翻面模块、控制面板、控制器模块和旋转电机，所述横移模块通过实施旋转电机设置在所述升降模块上，所述夹持翻面与所述横移模块连接，所述控制器模块与所述控制面板连接，所述升降模块、所述横移模块和夹持翻面模块均
3、所述夹持翻面模块包括支撑件、翻面电机、箱体、夹持电机、圆盘、两根圆轴、两块连接块、两块滑块和两块夹板，所述支撑件与所述横移模块固定连接，所述翻面电机安装在所述支撑件上，所述翻面电机的输出端与所述箱体固定连接，所述箱体设置有凹槽和两个滑槽，两块所述滑块分别与对应的所述滑槽滑动连接，所述夹持电机安装在所述凹槽内，所述夹持电机的输出端与所述圆盘固定连接，两根所述圆轴均与所述圆盘固定连接，两块所述连接块的一端分别与对应的所述圆轴铰接，两块所述连接块的另一端分别与对应的所述滑块铰接，两块所述夹板分别与对应的所述滑块固定连接。
4、其中，所述升降模块包括底座、升降电机、螺杆、中空杆和滑杆，所述中空杆与所述底座固定连接，所述滑杆与所述中空杆固定连接，且所述滑杆与所述横移模块固定连接，所述升降电机安装在所述底座上，所述升降电机的输出端与所述螺杆固定连接，所述螺杆与所述滑杆螺纹配合。
5、其中，所述横移模块包括安装件、横移电机、主动块、从动块和凸块，所述安装件与所述滑杆固定连接，并位于所述滑杆的上方，所述安装件设置有异形槽和导向槽，所述凸块与所述导向槽滑动连接，所述横移电机安装在所述安装件上，所述横移电机的输出端与所述主动块固定连接，所述从动块的一端与所述主动块铰接，所述从动块的另一端与所述凸块铰接，且所述凸块与所述支撑件固定连接。
6、其中，所述支撑件包括连接板和安装板，所述连接板与所述凸块固定连接，所述安装板与所述连接板固定连接，所述安装板用于安装所述翻面电机。
7、其中，所述晶圆多轴联动控制系统还包括防护模块，所述防护模块用于防止所述夹板损坏晶圆。
8、其中，所述防护模块包括监测单元、传输单元、预设单元、处理器单元和调节单元，所述监测单元与所述夹持翻面模块连接，所述传输单元与所述监测单元连接，所述处理器单元与所述传输单元连接，所述预设单元和所述调节单元均与所述处理器单元连接，且所述调节单元还与所述夹持翻面模块连接。
9、其中，所述防护模块还包括报警单元和报警器，所述报警单元与所述处理器单元连接，所述报警器与所述报警单元连接。
10、本专利技术的一种晶圆多轴联动控制系统，通过设置所述夹持翻面模块，在具体使用时，首先通过在所述控制面板上设置好参数，所述升降模块带动所述横移模块上升或下降至指定位置，随后所述横移模块带动所述支撑件横移至指定位置，通过启动所述夹持电机，所述夹持电机带动所述圆盘转动，所述圆盘带动两根所述圆轴转动，两根所述圆轴带动两块所述连接块的一端分别在对应的所述圆轴上转动，带动两块所述连接块的另一端分别在对应的所述滑块上转动，两块所述连接块在转动的同时带动两块所述滑块相向运动，两块所述滑块带动两块所述夹板对晶圆进行夹持控制，随后若需要对晶圆进行翻面，则启动所述翻面电机带动所述支撑件转动即可对晶圆进行翻面，之后启动所述旋转电机，所述旋转电机带动所述横移模块旋转至指定角度，所述升降模块带动晶圆上升或下降，所述横移模块带动晶圆移动至指定位置后所述夹持电机反转即可将晶圆置于指定位置处，以此方式能够对晶圆进行翻面，且能够对晶圆进行不同方向、不同高度的自动控制传输，提升了生产效率。
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1.一种晶圆多轴联动控制系统，其特征在于，
2.如权利要求1所述的晶圆多轴联动控制系统，其特征在于，
3.如权利要求2所述的晶圆多轴联动控制系统，其特征在于，
4.如权利要求3所述的晶圆多轴联动控制系统，其特征在于，
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7.如权利要求6所述的晶圆多轴联动控制系统，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种晶圆多轴联动控制系统，其特征在于，
2.如权利要求1所述的晶圆多轴联动控制系统，其特征在于，
3.如权利要求2所述的晶圆多轴联动控制系统，其特征在于，
4.如权利要求3所述的晶圆多轴联动控...
【专利技术属性】
技术研发人员：哈捷，吴志锋，
申请(专利权)人：阿博索伯苏州自动化设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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