一种微通道板自动无接触清洁系统技术方案

技术编号:41953258 阅读:13 留言:0更新日期:2024-07-10 16:40
本技术公开了一种微通道板自动无接触清洁系统,包括依次设置的超声清洗装置、清吹装置以及与超声清洗装置和清吹装置相配合的真空输送装置;超声清洗装置包括清洗槽,清吹装置包括清吹工作台和暖风清吹组件;真空输送装置包括真空抓取机械手、机械手轨道以及隔离输送通道,真空抓取机械手能够沿机械手轨道移动,隔离输送通道连通清洗槽和清吹工作台;还包括控制装置,控制装置分别与超声清洗装置、清吹装置以及真空输送装置相连接,超声清洗装置、清吹装置以及真空输送装置相连接通过控制装置联动控制。采用本申请中的微通道板自动无接触清洁系统能够实现全程自动化操作,消除了清洁过程中人工干预产生新的杂质的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微通道板生产,具体涉及一种微通道板自动无接触清洁系统


技术介绍

1、微通道板是一种特殊光学纤维器件,是一种先进的具有传输、增强电子图像功能的电子倍增器,在微通道板的生产过程中,需要通过抛光去除其表面由前工序所残留下的微缺陷及表面损伤层,以求获得表面平整度高、粗糙度低的光亮镜面,抛光结束后的微通道板表面附着有大量的氧化铈抛光粉,因此抛光后对微通道板表面的清洁至关重要,清洁不足容易对微通道板表面的镀膜和成品测试造成不良影响。

2、现有微通道板清洗为抛光轻吹清洗,细小杂质轻吹不干净。轻吹过程中需要人工多次干预,极易产生新的杂质。微通道板装配对表面清洁度要求高,细小杂质均会影响其装配密封。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种微通道板自动无接触清洁系统,用以解决现有微通道板清洗需要人工多次干预,极易产生新的杂质的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供一种微通道板自动无接触清洁系统,包括依次设置的超声清洗装置、清吹装置以及与所述超声清洗装置和所述清吹装置相配合的真空输送装置;所述超声清洗装置包括清洗槽,所述清吹装置包括清吹工作台和暖风清吹组件;所述真空输送装置包括真空抓取机械手、机械手轨道以及隔离输送通道,所述真空抓取机械手能够沿所述机械手轨道移动,所述隔离输送通道连通所述清洗槽和所述清吹工作台;

3、还包括控制装置,所述控制装置分别与所述超声清洗装置、所述清吹装置以及所述真空输送装置相连接,所述超声清洗装置、所述清吹装置以及所述真空输送装置相连接通过所述控制装置联动控制。

4、作为本申请的一个优选的实施方式,所述超声清洗装置还包括设置在所述清洗槽内的超声波换能器以及可升降支架,所述可升降支架能够沿竖直方向伸缩移动,且所述可升降支架设置有多个。

5、作为本申请的一个优选的实施方式,所述清洗槽的底部设置有支架滑板,所述支架滑板的上部设置有滑动轨道,所述可升降支架的底部设置有与所述滑动轨道相对应的滑动部,所述滑动部与所述滑动轨道配合连接。

6、作为本申请的一个优选的实施方式,所述清洗槽的上部设置有隔离板,所述隔离板能够打开或者封闭所述清洗槽。

7、作为本申请的一个优选的实施方式,所述真空抓取机械手包括固定段、伸缩段以及与所述伸缩段相连接的真空抓手,所述固定段的底部与所述机械手轨道滑动配合,所述固定段的顶部与所述伸缩段转动配合,且所述伸缩段远离所述固定段的一端连接有所述真空抓手。

8、作为本申请的一个优选的实施方式,所述伸缩段通过转轴与所述固定段转动配合,还包括与所述伸缩段相连接的转动驱动,所述伸缩段能够在所述转动驱动的驱动下相对所述固定段偏转。

9、作为本申请的一个优选的实施方式,所述隔离输送通道的两端分别靠近所述清洗槽和所述清吹工作台,且所述隔离输送通道的两端均设置有可开合的隔离门;所述真空抓取机械手能够经所述隔离输送通道在所述清洗槽和所述清吹工作台之间往返移动。

10、作为本申请的一个优选的实施方式,所述清吹工作台的上部设置有陶瓷真空吸盘;所述清吹装置还包括暖风清吹装置,所述暖风清吹装置包括清吹头,所述清吹头具有工作区域和待机区域,所述工作区域设置在所述清吹工作台的上部,且所述工作区域在竖直方向上的投影覆盖待清洁微通道板的面积;沿水平方向,所述待机区域位于所述工作区域之外。

11、作为本申请的一个优选的实施方式,所述清吹头能够在所述工作区域和所述待机区域之间往复移动且所述清吹头能够在所述工作区域内移动。

12、作为本申请的一个优选的实施方式,所述清吹工作台的上部还开设有第一回流口,所述清吹工作台的内部设置有第一收集装置;所述隔离输送通道的下部设置有第二回流口以及第二收集装置。

13、由于采用了上述技术方案,本申请所取得的有益效果为:

14、1.采用本申请中的微通道板自动无接触清洁系统能够实现全程自动化操作,消除了清洁过程中人工干预产生新的杂质的问题。

15、2.本申请中设置有隔离输送通道,能够在微通道板由清洗槽移动至清吹工作台的过程中提供隔离防护,避免外界的杂质侵入;且本申请中的清洗槽的上部设置隔离板,隔离输送通道的两端设置有隔离门,进一步隔离外界杂质的侵入,保障清洁效果。

16、3.本申请中的清吹工作条以及隔离输送通道均设置有回流、收集用的结构/装置,可以对微通道板移动/清吹过程中遗留的清洁液进行回流收集,方便后续处理,提升设备的环保能力。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,包括依次设置的超声清洗装置、清吹装置以及与所述超声清洗装置和所述清吹装置相配合的真空输送装置;所述超声清洗装置包括清洗槽,所述清吹装置包括清吹工作台和暖风清吹组件;所述真空输送装置包括真空抓取机械手、机械手轨道以及隔离输送通道,所述真空抓取机械手能够沿所述机械手轨道移动,所述隔离输送通道连通所述清洗槽和所述清吹工作台;

2.如权利要求1所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述超声清洗装置还包括设置在所述清洗槽内的超声波换能器以及可升降支架,所述可升降支架能够沿竖直方向伸缩移动,且所述可升降支架设置有多个。

3.如权利要求2所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述清洗槽的底部设置有支架滑板,所述支架滑板的上部设置有滑动轨道,所述可升降支架的底部设置有与所述滑动轨道相对应的滑动部,所述滑动部与所述滑动轨道配合连接。

4.如权利要求2所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述清洗槽的上部设置有隔离板,所述隔离板能够打开或者封闭所述清洗槽。

5.如权利要求2所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述真空抓取机械手包括固定段、伸缩段以及与所述伸缩段相连接的真空抓手,所述固定段的底部与所述机械手轨道滑动配合,所述固定段的顶部与所述伸缩段转动配合,且所述伸缩段远离所述固定段的一端连接有所述真空抓手。

6.如权利要求5所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述伸缩段通过转轴与所述固定段转动配合,还包括与所述伸缩段相连接的转动驱动,所述伸缩段能够在所述转动驱动的驱动下相对所述固定段偏转。

7.如权利要求5所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述隔离输送通道的两端分别靠近所述清洗槽和所述清吹工作台,且所述隔离输送通道的两端均设置有可开合的隔离门;所述真空抓取机械手能够经所述隔离输送通道在所述清洗槽和所述清吹工作台之间往返移动。

8.如权利要求7所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述清吹工作台的上部设置有陶瓷真空吸盘;所述清吹装置还包括暖风清吹装置,所述暖风清吹装置包括清吹头,所述清吹头具有工作区域和待机区域,所述工作区域设置在所述清吹工作台的上部,且所述工作区域在竖直方向上的投影覆盖待清洁微通道板的面积;沿水平方向,所述待机区域位于所述工作区域之外。

9.如权利要求8所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述清吹头能够在所述工作区域和所述待机区域之间往复移动且所述清吹头能够在所述工作区域内移动。

10.如权利要求1所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述清吹工作台的上部还开设有第一回流口,所述清吹工作台的内部设置有第一收集装置;所述隔离输送通道的下部设置有第二回流口以及第二收集装置。

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【技术特征摘要】

1.一种微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,包括依次设置的超声清洗装置、清吹装置以及与所述超声清洗装置和所述清吹装置相配合的真空输送装置;所述超声清洗装置包括清洗槽,所述清吹装置包括清吹工作台和暖风清吹组件;所述真空输送装置包括真空抓取机械手、机械手轨道以及隔离输送通道,所述真空抓取机械手能够沿所述机械手轨道移动,所述隔离输送通道连通所述清洗槽和所述清吹工作台;

2.如权利要求1所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述超声清洗装置还包括设置在所述清洗槽内的超声波换能器以及可升降支架,所述可升降支架能够沿竖直方向伸缩移动,且所述可升降支架设置有多个。

3.如权利要求2所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述清洗槽的底部设置有支架滑板,所述支架滑板的上部设置有滑动轨道,所述可升降支架的底部设置有与所述滑动轨道相对应的滑动部,所述滑动部与所述滑动轨道配合连接。

4.如权利要求2所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述清洗槽的上部设置有隔离板,所述隔离板能够打开或者封闭所述清洗槽。

5.如权利要求2所述的微通道板自动无接触清洁系统,其特征在于,所述真空抓取机械手包括固定段、伸缩段以及与所述伸缩段相连接的真空抓手,所述固定段的底部与所述机械手轨道滑动配合,所述固定段的顶部与所述伸缩段转动配合,且所述伸缩段远离所述固定段的一端连接有所...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘超张承贺舒高贵张佳齐
申请(专利权)人:山东京博装备制造安装有限公司
类型:新型
国别省市:

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