【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，具体涉及一种晶圆载物盘定位装置。
技术介绍
1、日常生活中常见的各类电子设备，如手机、电脑、电视和空调等，都依赖于各种芯片所提供的逻辑计算、存储和传感能力。晶圆经先进的半导体工艺制作而成，一片典型的8寸晶圆表面排布着数十万单独的芯片，芯片由多种规格的晶圆切割而成。晶圆本身存在良率问题，晶圆表面也可能存在各类缺陷，为了防止存在缺陷的芯片流入后道封装工序，需借助光学检测设备识别晶圆表面缺陷并分类、标记，辅助晶片分拣，增加良率。
2、晶圆封装测试前需要对其外观缺陷进行检查，目前多采用人工在显微镜下观察晶圆上的芯片外观，遇到外观上的不良品或其他缺陷时，拿点墨器在上面点一个墨点进行标记，以便封装工序去除不良芯片。
3、但是，由于同一个晶圆上存在较多且密集分布的芯片，在人工观察时容易造成视线混乱，出现重复检测和漏检的问题，以及容易出现点错墨点位置的问题，影响对于芯片表面的检查效果和对于缺陷芯片的标记效果。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种晶圆载物盘定位装置，用于解决现有技术中，晶圆上存在的较多且密集的芯片在人工观察时容易造成视线混乱的问题。
2、为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种晶圆载物盘定位装置，所述定位装置包括：
3、工作台，所述工作台包括从下到上依次设置的底座、下滑座、上滑座；下滑座相对底座沿y轴向滑动设置，上滑座相对下滑座沿x轴向滑动设置；
4、在所述上滑座上设
5、在所述下滑座与底座的滑动连接处设置有y轴向光栅，y轴向光栅的检测端与下滑座的运动方向相平行；
6、在所述上滑座与下滑座的滑动连接处设置有x轴向光栅，x轴向光栅的检测端与上滑座的运行方向相平行；
7、所述y轴向光栅与x轴向光栅相邻设置形成坐标系，并能够动态的定位载物盘上的点位置，进而定位晶圆上的缺陷芯片。
8、于本技术的一实施例中，所述底座上设置有沿y轴向延伸的第一滚道，下滑座的下端设置有滑动配合第一滚道的第二滚道；所述下滑座上端设置有沿x轴向延伸的第三滚道，上滑座下端设置有滑动配合第三滚道的第四滚道；在所述第一滚道与第二滚道之间、第三滚道与第四滚道之间均设置有滚子。
9、于本技术的一实施例中，在所述上滑座上还设置有角度调节机构，角度调节机构远离由y轴向光栅与x轴向光栅形成的坐标系的原点；
10、所述角度调节机构包括：安装座，所述安装座上设置有相对配合的挺杆和微分头，微分头的调节端设置有金属块，挺杆抵触在金属块的端部，载物盘连接金属块的侧端；通过角度调节机构调节晶圆的观测角度。
11、于本技术的一实施例中，在所述安装座中设置有弹簧，挺杆穿接在弹簧中。
12、于本技术的一实施例中，所述y轴向光栅包括第一读数头和第一光栅尺，第一读数头安装在底座上，第一光栅尺安装在下滑座上。
13、于本技术的一实施例中，所述x轴向光栅包括第二读数头和第二光栅尺，第二读数头安装在下滑座上，第二光栅尺安装在上滑座上。
14、于本技术的一实施例中，在所述第一读数头与第一光栅尺之间、第二读数头与第二光栅尺之间均存在有间隙。
15、如上所述，本技术的晶圆载物盘定位装置，具有以下有益效果：
16、1、通过设置配合应用的y轴向光栅和x轴向光栅，能够形成覆盖晶圆的光栅map坐标系图，配合工作台在x轴向和y轴向的活动能够对晶圆的点位置进行精准定位，方便对应检测芯片以及标记缺陷芯片，避免密集分布的芯片混乱人工视线造成重复检测和漏检的问题，提高对于芯片表面的检测效果和对于缺陷芯片的精确标记效果；
17、2、通过设置角度调节机构，能够调节载物盘进而调整晶圆在光栅map图中坐标系的角度，避免远离坐标系原点的位置存在光栅定位盲区，进一步提高对于芯片表面的检测效果。
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1.一种晶圆载物盘定位装置，其特征在于，所述定位装置包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆载物盘定位装置，其特征在于：所述底座上设置有沿Y轴向延伸的第一滚道，下滑座的下端设置有滑动配合第一滚道的第二滚道；所述下滑座上端设置有沿X轴向延伸的第三滚道，上滑座下端设置有滑动配合第三滚道的第四滚道；在所述第一滚道与第二滚道之间、第三滚道与第四滚道之间均设置有滚子。
3.根据权利要求2所述的晶圆载物盘定位装置，其特征在于：在所述上滑座上还设置有角度调节机构，角度调节机构远离由Y轴向光栅与X轴向光栅形成的坐标系的原点；所述角度调节机构包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆载物盘定位装置，其特征在于：在所述安装座中设置有弹簧，挺杆穿接在弹簧中。
5.根据权利要求1所述的晶圆载物盘定位装置，其特征在于，所述Y轴向光栅包括第一读数头和第一光栅尺，第一读数头安装在底座上，第一光栅尺安装在下滑座上。
6.根据权利要求5所述的晶圆载物盘定位装置，其特征在于：所述X轴向光栅包括第二读数头和第二光栅尺，第二读数头安装在下滑座上，第二光栅尺安装在上滑座上
7.根据权利要求6所述的晶圆载物盘定位装置，其特征在于：在所述第一读数头与第一光栅尺之间、第二读数头与第二光栅尺之间均存在有间隙。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆载物盘定位装置，其特征在于，所述定位装置包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆载物盘定位装置，其特征在于：所述底座上设置有沿y轴向延伸的第一滚道，下滑座的下端设置有滑动配合第一滚道的第二滚道；所述下滑座上端设置有沿x轴向延伸的第三滚道，上滑座下端设置有滑动配合第三滚道的第四滚道；在所述第一滚道与第二滚道之间、第三滚道与第四滚道之间均设置有滚子。
3.根据权利要求2所述的晶圆载物盘定位装置，其特征在于：在所述上滑座上还设置有角度调节机构，角度调节机构远离由y轴向光栅与x轴向光栅形成的坐标系的原点；所述角度调节机构包括：
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【专利技术属性】
技术研发人员：王科，殷明峰，夏云，
申请(专利权)人：无锡嘉尼轩科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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