一种具有粉尘回收功能的硅片划片机制造技术

技术编号:41940780 阅读:11 留言:0更新日期:2024-07-10 16:32
本技术涉及硅片划片机技术领域,且公开了一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,包括划片机本体,所述划片机本体的上端固定安装有警报灯,所述划片机本体的外侧固定安装有触摸显示屏,所述划片机本体的外侧固定安装有控制按钮,所述划片机本体的外侧固定安装有指示灯,所述划片机本体的外侧转动安装有柜门一。该具有粉尘回收功能的硅片划片机,设置有喷水口,在进行加工的过程中,能够快速对粉尘回收,防止粉尘飘飞,提高了工作效率,该具有粉尘回收功能的硅片划片机,设置有多个电动滑轨,在对硅片进行加工的时候,根据加工要求,通过触摸显示屏进行设置,能够快速对硅片相应的位置进行加工,不会只局限于单独的几个位置,实用性较高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片划片机,具体为一种具有粉尘回收功能的硅片划片机


技术介绍

1、硅片划片机是一种用于分割硅片、半导体晶片和其他薄片材料的设备。它通常用于半导体制造业,以将硅片切割成小块,制作成集成电路芯片、太阳能电池片和其他微电子设备。硅片划片机的主要功能是将硅片切割成具有特定尺寸和形状的晶片,以满足特定应用的要求,在对内部的硅片进行切割的时候,会产生一些粉尘,需要对内部的粉尘进行回收。

2、中国技术公告号:cn215846318u,公开了:一种划片机的硅料粉尘回收装置及划片机,该划片机的硅料粉尘回收装置及划片机,设置有喷气机构,通过喷气机构吹起内部的粉尘,再通过除尘机构进行收集,但是,在喷气机构和除尘机构一起工作时,会有一些粉尘留在角落里,工作效率较低,同时该划片机的硅料粉尘回收装置及划片机,只能对激光头照射到的地方进行加工,无法对硅片其他位置进行加工,实用性较差。


技术实现思路

1、解决的技术问题:针对现有技术的不足,本技术提供了一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,以解决上述背景中提出的问题。

2、技术方案

3、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,包括划片机本体,所述划片机本体的上端固定安装有警报灯,所述划片机本体的外侧固定安装有触摸显示屏,所述划片机本体的外侧固定安装有控制按钮,所述划片机本体的外侧固定安装有指示灯,所述划片机本体的外侧转动安装有柜门一,所述划片机本体的内侧固定安装有顶板,所述顶板的上端固定安装有电动滑轨一,所述电动滑轨一的外侧滑动安装有滑块一,所述顶板的上端固定安装有导向板,所述导向板的内侧固定安装有导向柱,所述导向柱的内侧滑动安装有导向块,所述滑块一和导向块之间设置有电动滑轨二,所述电动滑轨二的下端固定安装有滑块二,所述滑块二下端固定安装有连接柱,所述连接柱的下端固定安装有激光器,所述划片机本体的内侧固定安装有挡板,所述挡板的内侧固定安装有水箱,所述水箱的外侧固定安装有进水管,所述水箱的内侧固定安装有水泵,所述水泵的内侧固定安装有吸水管,所述水泵的外侧固定安装有喷水口,所述划片机本体的外侧转动安装有柜门二,所述划片机本体的内侧固定安装有连接板,所述连接板的上端开设有下水口,所述连接板的上端固定安装有工作台,所述连接板的下端固定安装有下料口,所述下料口的下端设置有收集箱,所述收集箱的上端固定安装有插接柱,所述下料口的下端开设有插接孔。

4、优选的,所述导向柱和导向块相适配,所述滑块一、导向块和电动滑轨二的位于同一水平面上。

5、通过上述技术方案,在对硅片进行加工的时候,启动电动滑轨一,通过电动滑轨一带动滑块一进行移动,通过滑块一带动电动滑轨二进行移动,通过电动滑轨二带动导向块在导向柱上进行移动。

6、优选的,所述连接柱和激光器的中心线位于同一竖直线上,所述电动滑轨一、导向板和电动滑轨二共同构成“工”字型结构。

7、通过上述技术方案,由于电动滑轨一、导向板和电动滑轨二共同构成“工”字型结构,在对硅片进行加工的时候,能够对硅片不同的位置进行加工。

8、优选的,所述水箱、进水管、吸水管、水泵和喷水口设置有相同的两组,且关于挡板的中心线呈对称分布。

9、通过上述技术方案,由于所述水箱、进水管、吸水管、水泵和喷水口设置有相同的两组,且关于挡板的中心线呈对称分布,通过两侧喷水口对准硅片进行喷射液体,使得加工过程中,产生的粉尘被液体携带走。

10、优选的,所述进水管贯穿划片机本体延伸至水箱的内部,所述喷水口贯穿挡板延伸至挡板外侧。

11、通过上述技术方案,由于进水管贯穿划片机本体延伸至水箱的内部,通过进水管将液体源源不断地注入水箱中,防止在加工的过程中液体供应不足。

12、优选的,所述下水口设置有相同的多个,所述下料口的倾斜角度为20°~30°。

13、通过上述技术方案,由于下水口设置有相同的多个,下料口的倾斜角度为20°~30°,携带着粉尘的液体,通过多个下水口流入到下料口中,再通过下料口流入到收集箱中。

14、优选的,所述插接柱和插接孔为插接连接,所述触摸显示屏与警报灯、控制按钮和指示灯为电性连接。

15、通过上述技术方案,将插接柱对准插接孔插入,直至插接柱完全进入插接孔的内部,即可完成下料口和收集箱的安装,通过打开柜门二,将收集箱进行更换。

16、与现有技术相比,本技术提供了一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,具备以下有益效果:该具有粉尘回收功能的硅片划片机,设置有喷水口,在进行加工的过程中,通过喷水口对工作台喷溅液体,通过液体直接包裹住加工时产生的粉尘,能够快速对粉尘回收,防止粉尘飘飞,在加工完成之后,只需要打开柜门,将连接板上残存的液体进行擦拭,再将收集箱进行更换即可,提高了工作效率,该具有粉尘回收功能的硅片划片机,设置有多个电动滑轨,在对硅片进行加工的时候,根据加工要求,通过触摸显示屏进行设置,能够快速对硅片相应的位置进行加工,不会只局限于单独的几个位置,实用性较高。

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【技术保护点】

1.一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,包括划片机本体(1),其特征在于:所述划片机本体(1)的上端固定安装有警报灯(2),所述划片机本体(1)的外侧固定安装有触摸显示屏(3),所述划片机本体(1)的外侧固定安装有控制按钮(4),所述划片机本体(1)的外侧固定安装有指示灯(5),所述划片机本体(1)的外侧转动安装有柜门一(6),所述划片机本体(1)的内侧固定安装有顶板(7),所述顶板(7)的上端固定安装有电动滑轨一(8),所述电动滑轨一(8)的外侧滑动安装有滑块一(9),所述顶板(7)的上端固定安装有导向板(10),所述导向板(10)的内侧固定安装有导向柱(11),所述导向柱(11)的内侧滑动安装有导向块(12),所述滑块一(9)和导向块(12)之间设置有电动滑轨二(13),所述电动滑轨二(13)的下端固定安装有滑块二(14),所述滑块二(14)下端固定安装有连接柱(15),所述连接柱(15)的下端固定安装有激光器(16),所述划片机本体(1)的内侧固定安装有挡板(17),所述挡板(17)的内侧固定安装有水箱(18),所述水箱(18)的外侧固定安装有进水管(19),所述水箱(18)的内侧固定安装有水泵(21),所述水泵(21)的内侧固定安装有吸水管(20),所述水泵(21)的外侧固定安装有喷水口(22),所述划片机本体(1)的外侧转动安装有柜门二(23),所述划片机本体(1)的内侧固定安装有连接板(24),所述连接板(24)的上端开设有下水口(25),所述连接板(24)的上端固定安装有工作台(26),所述连接板(24)的下端固定安装有下料口(27),所述下料口(27)的下端设置有收集箱(28),所述收集箱(28)的上端固定安装有插接柱(29),所述下料口(27)的下端开设有插接孔(30)。

2.根据权利要求1所述的一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,其特征在于:所述导向柱(11)和导向块(12)相适配,所述滑块一(9)、导向块(12)和电动滑轨二(13)的位于同一水平面上。

3.根据权利要求1所述的一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,其特征在于:所述连接柱(15)和激光器(16)的中心线位于同一竖直线上,所述电动滑轨一(8)、导向板(10)和电动滑轨二(13)共同构成“工”字型结构。

4.根据权利要求1所述的一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,其特征在于:所述水箱(18)、进水管(19)、吸水管(20)、水泵(21)和喷水口(22)设置有相同的两组,且关于挡板(17)的中心线呈对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,其特征在于:所述进水管(19)贯穿划片机本体(1)本体延伸至水箱(18)的内部,所述喷水口(22)贯穿挡板(17)延伸至挡板(17)外侧。

6.根据权利要求1所述的一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,其特征在于:所述下水口(25)设置有相同的多个,所述下料口(27)的倾斜角度为20°~30°。

7.根据权利要求1所述的一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,其特征在于:所述插接柱(29)和插接孔(30)为插接连接,所述触摸显示屏(3)与警报灯(2)、控制按钮(4)和指示灯(5)为电性连接。

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【技术特征摘要】

1.一种具有粉尘回收功能的硅片划片机,包括划片机本体(1),其特征在于:所述划片机本体(1)的上端固定安装有警报灯(2),所述划片机本体(1)的外侧固定安装有触摸显示屏(3),所述划片机本体(1)的外侧固定安装有控制按钮(4),所述划片机本体(1)的外侧固定安装有指示灯(5),所述划片机本体(1)的外侧转动安装有柜门一(6),所述划片机本体(1)的内侧固定安装有顶板(7),所述顶板(7)的上端固定安装有电动滑轨一(8),所述电动滑轨一(8)的外侧滑动安装有滑块一(9),所述顶板(7)的上端固定安装有导向板(10),所述导向板(10)的内侧固定安装有导向柱(11),所述导向柱(11)的内侧滑动安装有导向块(12),所述滑块一(9)和导向块(12)之间设置有电动滑轨二(13),所述电动滑轨二(13)的下端固定安装有滑块二(14),所述滑块二(14)下端固定安装有连接柱(15),所述连接柱(15)的下端固定安装有激光器(16),所述划片机本体(1)的内侧固定安装有挡板(17),所述挡板(17)的内侧固定安装有水箱(18),所述水箱(18)的外侧固定安装有进水管(19),所述水箱(18)的内侧固定安装有水泵(21),所述水泵(21)的内侧固定安装有吸水管(20),所述水泵(21)的外侧固定安装有喷水口(22),所述划片机本体(1)的外侧转动安装有柜门二(23),所述划片机本体(1)的内侧固定安装有连接板(24),所述连接板(24)的上端开设有下水口(25),所述连接板(24)的上端固定安装有工作台(26),所述连接板(24)的下端固定安装有下料口(27)...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐朋
申请(专利权)人:浙江甬鹏新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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