【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测，具体涉及一种物料存放机构及晶圆检测装置。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的电子器件。在半导体行业，晶圆检测装置常用来对晶圆进行质量检测。在测试前，常将装有晶圆的物料盒放置在晶圆检测装置内部，为方便机械手臂对晶圆抓取或存放，常在物料盒侧部设有开口。在将装有晶圆的物料盒放置在晶圆检测装置内部时，稍有不慎就会导致晶圆从物料盒的开口中落出，影响晶圆检测装置的正常使用。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种物料存放机构及晶圆检测装置，所述物料存放机构的档杆可阻挡所述物料盒中的物料从所述物料口掉落。
2、本申请提供了一种物料存放机构，所述物料存放机构包括：安装架、物料盒以及阻挡机构，所述物料盒设置于所述安装架上，用于存放物料，所述物料盒具有物料口；所述阻挡机构安装于所述安装架上，位于所述物料盒的所述物料口侧，所述阻挡机构包括档杆，所述档杆沿第一方向延伸，所述档杆可沿第二方向移动相对所述物料盒移动，以实现对所述物料口的开启及闭合，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。
3、进一步地，所述阻挡机构还包括轨道组件，所述轨道组件位于所述档杆的一侧，所述轨道组件包括第一轨道件及第二轨道件，所述第一轨道件沿第二方向延伸且安装于所述安装架，所述第二轨道件可沿所述第二方向滑动连接所述第一轨道件，且所述第二轨道件连接所述档杆的一端。
4、
5、进一步地，所述物料存放机构还包括传动组件，所述传动组件包括第一转子、第二转子及同步带，所述第一转子及所述第二转子沿第二方向间隔设置于所述第一轨道件背离所述档杆的一侧，所述第一转子及所述第二转子沿第二方向分别设置于所述第二轨道件的相对两侧，所述第一转子及所述第二转子分别连接所述驱动件，所述同步带分别套设于所述第一转子及所述第二转子的外周，所述同步带连接所述第二轨道件背离所述档杆的一端；当所述驱动件开启，所述驱动件驱动所述第一转子及所述第二转子同步转动，从而带动所述同步带绕所述第一转子及所述第二转子移动，进而带动所述第二轨道件沿第二方向相对所述第一轨道件移动，由此带动档杆沿第二方向移动，实现物料口的开启与闭合。
6、进一步地，所述阻挡机构还包括第一传感器及第二传感器，所述第一传感器及所述第二传感器设置于所述第一转子与所述第二转子之间，所述第一传感器靠近所述第一转子设置，所述第二传感器靠近所述第二转子设置，所述第一轨道件至少部分延伸至第一传感器与第二传感器之间，所述第一传感器与第二传感器配合用于检测所述第二轨道件的位置，进而实现对所述档杆的位置的检测。
7、进一步地，所述物料盒还具有可视窗，所述可视窗贯穿所述物料盒面向所述轨道组件的侧壁，且靠近所述物料口设置，所述阻挡机构还包括第三传感器，所述第三传感器位于所述可视窗的一侧，且靠近所述轨道组件设置，用于检测所述物料盒内所述物料的状态。
8、进一步地，所述轨道组件还包括第一限位件及第二限位件，所述第一限位件及第二限位件沿第二方向间隔设置于所述第一轨道件上，且位于所述第二轨道件的相对两端，所述第一限位件及第二限位件配合用于对所述第二轨道件进行限位。
9、进一步地，所述第二轨道件包括依次相连且沿第三方向依次排布的连接部、滑块部及延伸部，所述连接部背离所述滑块部的一端连接所述档杆，所述滑块部安装于所述同步带且滑动连接所述第一轨道件，所述延伸部自所述滑块部背离所述连接部的一端延伸至所述第一传感器与所述第二传感器之间，所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两相交。
10、进一步地，所述物料盒具有收容槽，所述收容槽连通所述物料口，所述收容槽包括多个收容子槽，所述多个收容子槽沿所述第一方向间隔设置，且每个所述收容子槽均连通所述物料口，用于设置物料。
11、本申请还提供了一种晶圆检测装置，所述晶圆检测装置包括：本申请提供的物料存放机构、机械臂以及探针检测台，所述物料存放机构的所述物料盒用于存放物料；所述机械臂用于从所述物料盒的物料口取出或放置物料；所述探针检测台承载所述物料，并对所述物料进行检测。
12、在本申请提供的物料存放机构中，所述安装架用于承载所述物料盒及所述阻挡结构，且所述阻挡结构位于所述物料盒的物料口侧，以阻挡所述物料盒中的物料从所述物料口掉落，提高所述物料存放于所述物料存放机构的稳定性。在本申请中，所述档杆可沿第二方向移动相对所述物料盒移动，以实现对所述物料口的开启及闭合，则当所述档杆沿所述第二方向移动且所述档杆位于所述物料口的正前方时，所述物料口处于闭合状态，所述档杆可用于阻挡物料从所述物料口脱落，提高了所述物料存放于所述物料存放机构的结构稳定性，使得当所述物料存放机构装配于晶圆检测装置时，可有效避免所述物料从所述物料存放机构中脱落而影响所述物料的进一步检测。当所述档杆沿所述第二方向移动且所述档杆位于物料盒的一端时，所述物料口处于开启状态，使得当所述物料存放机构装配于晶圆检测装置时，便于机械臂从所述物料盒中取出物料或向所述物料盒中放置物料。相较于在物料存放机构中设置挡门的方案，本申请提供的档杆的体积较小，且所述档杆可沿第二方向移动，无需占用所述物料存放机构在高度上的空间，有利于实现所述物料存放机构的小型化设计，使得当所述物料存放机构应用于晶圆检测装置时，可提高所述晶圆检测装置内部的空间利用率。
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1.一种物料存放机构，其特征在于，所述物料存放机构包括：
2.根据权利要求1所述的物料存放机构，其特征在于，所述阻挡机构还包括轨道组件，所述轨道组件位于所述档杆的一侧，所述轨道组件包括第一轨道件及第二轨道件，所述第一轨道件沿第二方向延伸且安装于所述安装架，所述第二轨道件可沿所述第二方向滑动连接所述第一轨道件，且所述第二轨道件连接所述档杆的一端。
3.根据权利要求2所述的物料存放机构，其特征在于，所述阻挡机构还包括驱动件，所述驱动件用于驱动所述第二轨道件沿第二方向相对所述第一轨道件滑动。
4.根据权利要求3所述的物料存放机构，其特征在于，所述物料存放机构还包括传动组件，所述传动组件包括第一转子、第二转子及同步带，所述第一转子及所述第二转子沿第二方向间隔设置于所述第一轨道件背离所述档杆的一侧，所述第一转子及所述第二转子沿第二方向分别设置于所述第二轨道件的相对两侧，所述第一转子及所述第二转子分别连接所述驱动件，所述同步带分别套设于所述第一转子及所述第二转子的外周，所述同步带连接所述第二轨道件背离所述档杆的一端；当所述驱动件开启，所述驱动件驱动所述第一
5.根据权利要求4所述的物料存放机构，其特征在于，所述阻挡机构还包括第一传感器及第二传感器，所述第一传感器及所述第二传感器设置于所述第一转子与所述第二转子之间，所述第一传感器靠近所述第一转子设置，所述第二传感器靠近所述第二转子设置，所述第一轨道件至少部分延伸至第一传感器与第二传感器之间，所述第一传感器与第二传感器配合用于检测所述第二轨道件的位置，进而实现对所述档杆的位置的检测。
6.根据权利要求2所述的物料存放机构，其特征在于，所述物料盒还具有可视窗，所述可视窗贯穿所述物料盒面向所述轨道组件的侧壁，且靠近所述物料口设置，所述阻挡机构还包括第三传感器，所述第三传感器位于所述可视窗的一侧，且靠近所述轨道组件设置，用于检测所述物料盒内所述物料的状态。
7.根据权利要求2所述的物料存放机构，其特征在于，所述轨道组件还包括第一限位件及第二限位件，所述第一限位件及第二限位件沿第二方向间隔设置于所述第一轨道件上，且位于所述第二轨道件的相对两端，所述第一限位件及第二限位件配合用于对所述第二轨道件进行限位。
8.根据权利要求5所述的物料存放机构，其特征在于，所述第二轨道件包括依次相连且沿第三方向依次排布的连接部、滑块部及延伸部，所述连接部背离所述滑块部的一端连接所述档杆，所述滑块部安装于所述同步带且滑动连接所述第一轨道件，所述延伸部自所述滑块部背离所述连接部的一端延伸至所述第一传感器与所述第二传感器之间，所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两相交。
9.根据权利要求1至8任一项所述的物料存放机构，其特征在于，所述物料盒具有收容槽，所述收容槽连通所述物料口，所述收容槽包括多个收容子槽，所述多个收容子槽沿所述第一方向间隔设置，且每个所述收容子槽均连通所述物料口，用于设置物料。
10.一种晶圆检测装置，其特征在于，所述晶圆检测装置包括：
...【技术特征摘要】
1.一种物料存放机构，其特征在于，所述物料存放机构包括：
2.根据权利要求1所述的物料存放机构，其特征在于，所述阻挡机构还包括轨道组件，所述轨道组件位于所述档杆的一侧，所述轨道组件包括第一轨道件及第二轨道件，所述第一轨道件沿第二方向延伸且安装于所述安装架，所述第二轨道件可沿所述第二方向滑动连接所述第一轨道件，且所述第二轨道件连接所述档杆的一端。
3.根据权利要求2所述的物料存放机构，其特征在于，所述阻挡机构还包括驱动件，所述驱动件用于驱动所述第二轨道件沿第二方向相对所述第一轨道件滑动。
4.根据权利要求3所述的物料存放机构，其特征在于，所述物料存放机构还包括传动组件，所述传动组件包括第一转子、第二转子及同步带，所述第一转子及所述第二转子沿第二方向间隔设置于所述第一轨道件背离所述档杆的一侧，所述第一转子及所述第二转子沿第二方向分别设置于所述第二轨道件的相对两侧，所述第一转子及所述第二转子分别连接所述驱动件，所述同步带分别套设于所述第一转子及所述第二转子的外周，所述同步带连接所述第二轨道件背离所述档杆的一端；当所述驱动件开启，所述驱动件驱动所述第一转子及所述第二转子同步转动，从而带动所述同步带绕所述第一转子及所述第二转子移动，进而带动所述第二轨道件沿第二方向相对所述第一轨道件移动，由此带动档杆沿第二方向移动，实现物料口的开启与闭合。
5.根据权利要求4所述的物料存放机构，其特征在于，所述阻挡机构还包括第一传感器及第二传感器，所述第一传感器及所述第二传感器设置于所述第一转子与所述第二转子之间，所述第一传感器靠近所述第一转子设置，所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟金成，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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