【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆检测定位，具体涉及一种反馈系统具有角度调整机构。
技术介绍
1、随着集成电路应用的日益广泛，晶圆作为制造半导体器件基本材料，在市场上的需求量快速上涨，同步推动了晶圆制造业的发展。晶圆在被分割为半导体芯片之前，通过磨削形成有电子电路的器件面的相反侧的晶圆背面，从而将晶圆磨削至预定的厚度。
2、在晶圆的制造及封装过程中，需要对晶圆的电性能参数进行检测，以保证晶圆质量。传统的检测方式中，人工上料后，检测人员手动进行校准、选点、检测，最后手动回收至晶圆花篮内部，进行下一工序的流转。上述方式检测周期长、劳动强度高，且由于晶圆较薄，人工上下料的过程中极易对晶圆造成划伤和污染，导致晶圆的质量下降，同时影响检测结果的准确性，最终影响产品的合格率。在另一方面，晶圆检测前需要进行定位，以确保检测设备能够快速对准，在检测过程中，通过调节平台来改变晶圆姿态，实现多方位检测晶圆，现有技术中通常采用夹板对晶圆夹持定位，在晶圆偏转过程中发生松动，影响检测结果。
3、公开号为jp2019144334的日本专利技术专利公开了一种工业用夹持装置，该夹持装置通过第一位置固定板上的电机驱动皮带辊旋转，皮带辊通过皮带传递旋转运动至丝杠，使得在丝杠上连接的螺母携带其上方的夹块沿轨道滑移，最终使得两个夹块互相靠近形成夹紧。该专利技术能够应用于晶圆检测中对晶圆进行夹持定位，但在以下技术问题上存在改进的空间：晶圆在支撑面上时，夹块容易对晶圆产生磨损；晶圆调整角度是可能晃动，导致晶圆脱落。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种能够实现自洁和自润滑的反馈系统具有角度调整机构。
2、为解决上述技术问题，本专利技术具体提供下述技术方案：
3、反馈系统具有角度调整机构，包括：平台，平台连接有调节机构，平台上设有载物板，载物板上相对设置有夹紧块，载物板设有使夹紧块相向运动的驱动机构，夹紧块相对一侧设有卡轮。晶圆通过机械手装载在载物板的上端面，驱动机构作用夹紧块以相同速率彼此靠近，将待检测晶圆对准到载物板的中心并通过卡轮实现夹紧，以便于检测装置对晶圆快速定位并进行检测，调节机构通过对平台整体的角度调整，从而实现平台上载物板所夹持的晶圆的姿态调整，已实现定位后检测装置对晶圆多方位检测，检测完成后，驱动机构作用夹紧块彼此远离松开晶圆，晶圆再由机械手取出，以待后续晶圆的置入。
4、优选地，驱动机构包括转动设置于载物板下方的螺杆，载物板设有滑槽，夹紧块设于滑槽内且与有与螺杆配合连接。螺杆旋转，夹紧块在滑槽的限制下发生滑移，实现两侧夹紧块在同一轴向上的同步靠近和同步远离，保证晶圆在载物板上能够始终被夹紧块定位在载物中心；
5、优选地，卡轮内配合设置有第一活塞，第一活塞底部设有滑动头，载物板上端面设有凹槽，凹槽沿夹紧块滑移方向延伸，滑动头位于凹槽内，凹槽底面具有斜面，斜面向载物板中心处升高，卡轮侧壁设有第一气孔。夹紧块彼此靠近对晶圆夹紧时，夹紧块携带卡轮在载物板上滑移，同时，滑动头在凹槽内滑移并持续接触斜面，使得滑动头带动第一活塞在卡轮内向上滑移，使得第一活塞与卡轮之间形成的腔体受压，并将腔体内气体从第一气孔向外缓慢排出，有利于夹紧块在滑移过程中的缓冲减速，防止卡轮对晶圆造成过分挤压，降低了晶圆受损可能；
6、凹槽的设置减小了晶圆与载物板的接触面，降低了晶圆在载物板上被夹紧块推移产生磨损的可能，且凹槽与滑动头的配合连接提高了夹紧块的线性滑动的稳定性，提高了夹紧效果；
7、滑动头通过第一活塞形成卡轮底部的气浮支撑，降低了卡轮对晶圆夹紧时其在与夹紧块连接处的偏载，防止卡轮断裂形变，降低了维修的成本以及保证了夹紧有效。
8、优选地，第一气孔在卡轮侧壁环绕设置，第一气孔朝向载物板中心设置，第一活塞与卡轮顶部之间连接有复位弹簧。夹紧块滑移向晶圆靠近的过程中，从气孔输出的气体流向承载板中心处的晶圆，从而对晶圆侧方以及上表面的附着物清扫，实现自清洁，有助于提高晶圆检测的准确性以及提高产品自身品质；
9、夹紧块夹持晶圆过程中，滑动头上移通过活塞挤压复位弹簧，待晶圆检测完毕后，夹紧块回退并远离晶圆，在回退过程中，在复位弹簧的作用下，滑动头持续接触斜面并相对卡轮下移，使得第一活塞能在卡轮内向下滑移至原位，以保证下一次夹紧块夹紧时能实现自洁。
10、优选地，卡轮的外侧边缘处设有橡胶环。底部的橡胶环与载物板上端面配合设置。橡胶环提高卡轮外壁与晶圆的接触紧密度，提高夹紧能力，同时，夹紧块在滑移过程中，橡胶环能始终与载物板的上端面接触，一方面提高滑移稳定性，有利于提高夹持效果，另一方面降低卡轮与载物板的接触磨损。
11、优选地，载物板中心开孔且设有套体，套体上方设有垫片，套体内配合设置有第二活塞，垫片与第二活塞连接，垫片与第二活塞在中心处连通有气槽，套体底部向下设有十字硅胶阀。垫片为柔性片用于承载晶圆，降低晶圆被夹紧块推移时与载物板的接触磨损；
12、晶圆落在垫片上后，封闭气槽带动上端开口，同时晶圆下压垫片带动第二活塞在套体内向下滑移，第二活塞下方空间的气压增大，气体从十字硅胶阀单向流出，直至垫片与载物板上端贴合，此时第二活塞不再滑移，十字硅胶阀开口闭合，在套体内与气槽连通的腔体形成负压，实现对晶圆的吸附。
13、优选地，套体内侧底部设有挡环，十字硅胶阀设于挡环内侧，第二活塞与挡环之间连接有波纹管，波纹管与套体内侧壁存在间隙，套体在外侧连通有油壳，油壳设有油孔。油壳内有润滑油，套体与波纹管之间通过第二活塞和挡环形成环形腔体，当晶圆放置在垫片上后，第二活塞下移挤压波纹管，使环形腔体内气压增大，油壳内的油液在气压作用下从油孔输出至螺杆的中部，夹紧块夹持晶圆时，夹紧块移动至螺杆中部并接触润滑油，待夹紧块回退松开晶圆时，夹紧块回退并携带附着的润滑油至螺杆的多个位置，实现每一次装载晶圆时对螺杆的多方位自动润滑，提高了螺杆的使用年限，降低了维护和保养难度，同时，从十字硅胶阀排出的微小气流能够作用润滑油向螺杆的两端流动，进一步提高了润滑油被夹紧块携带的几率，提高润滑效果。
14、优选地，油孔连接有油管，油管内设有挡圈，挡圈内侧滑动设置有导杆，导杆两端固定有挡片，靠近油壳一端的挡片与挡圈之间连接有张紧弹簧。油壳内气压增大时，气压作用至油管，使油管内靠近油壳的挡片挤压张紧弹簧，从而使导杆携带另一端的挡片离开挡圈下端，此时油液从挡片与挡圈之间流通并经过油管到达螺杆，直至垫片落在载物板上端，此时气压不在作用靠近油壳的挡片，导杆携带另一端的挡片回退，形成挡圈的封闭，防止润滑油持续流出，造成环境污染积极资源浪费。
15、本专利技术与现有技术相比较具有如下有益效果：对向滑动设置的夹紧块同时实现晶圆的定位和夹紧，提高了检测效率；第一活塞通过滑动头与斜面的接触能挤压气体排出，对夹紧过程缓冲，避免过分夹持导致晶圆受损；滑动头对卡轮形成间隔支撑，防止卡轮形变影响夹持力；第一活塞挤压气体并通过第一气孔作用晶圆和承载板，形成自清洁，提高检测准确度；橡胶环接触本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.反馈系统具有角度调整机构，包括：平台（1），
2.根据权利要求1所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述驱动机构包括转动设置于所述载物板（3）下方的螺杆（40），所述载物板（3）设有滑槽（30），所述夹紧块（4）设于所述滑槽（30）内且与有与所述螺杆（40）配合连接。
3.根据权利要求1所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述卡轮（5）内配合设置有第一活塞（50），所述第一活塞（50）底部设有滑动头（51），所述载物板（3）上端面设有凹槽（52），所述凹槽（52）沿所述夹紧块（4）滑移方向延伸，所述滑动头（51）位于所述凹槽（52）内，所述凹槽（52）底部具有斜面（53），所述斜面（53）向所述载物板（3）中心处升高，所述卡轮（5）侧壁设有第一气孔（54）。
4.根据权利要求3所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述第一气孔（54）在所述卡轮（5）侧壁环绕设置，所述第一气孔（54）朝向所述载物板（3）中心设置，所述第一活塞（50）与所述卡轮（5）顶部之间连接有复位弹簧（55）。
5.根据权利要求1所述的反馈系统
6.根据权利要求1所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述载物板（3）中心开孔且设有套体（60），所述套体（60）上方设有垫片（61），所述套体（60）内配合设置有第二活塞（62），所述垫片（61）与所述第二活塞（62）连接，所述垫片（61）与所述第二活塞（62）在中心处连通有气槽（63），所述套体（60）底部向下设有十字硅胶阀（64）。
7.根据权利要求6所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述套体（60）内侧底部设有挡环（65），所述十字硅胶阀（64）设于所述挡环（65）内侧，所述第二活塞（62）与所述挡环（65）之间连接有波纹管（66），所述波纹管（66）与所述套体（60）内侧壁存在间隙，所述套体（60）在外侧连通有油壳（67），所述油壳（67）设有油孔。
8.根据权利要求7所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述油孔连接有油管（7），所述油管（7）内设有挡圈（71），所述挡圈（71）内侧滑动设置有导杆（72），所述导杆（72）两端固定有挡片（73），靠近所述油壳（67）一端的所述挡片（73）与所述挡圈（71）之间连接有张紧弹簧（74）。
...【技术特征摘要】
1.反馈系统具有角度调整机构，包括：平台（1），
2.根据权利要求1所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述驱动机构包括转动设置于所述载物板（3）下方的螺杆（40），所述载物板（3）设有滑槽（30），所述夹紧块（4）设于所述滑槽（30）内且与有与所述螺杆（40）配合连接。
3.根据权利要求1所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述卡轮（5）内配合设置有第一活塞（50），所述第一活塞（50）底部设有滑动头（51），所述载物板（3）上端面设有凹槽（52），所述凹槽（52）沿所述夹紧块（4）滑移方向延伸，所述滑动头（51）位于所述凹槽（52）内，所述凹槽（52）底部具有斜面（53），所述斜面（53）向所述载物板（3）中心处升高，所述卡轮（5）侧壁设有第一气孔（54）。
4.根据权利要求3所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述第一气孔（54）在所述卡轮（5）侧壁环绕设置，所述第一气孔（54）朝向所述载物板（3）中心设置，所述第一活塞（50）与所述卡轮（5）顶部之间连接有复位弹簧（55）。
5.根据权利要求1所述的反馈系统具有角度调整机构，其特征是：所述卡轮（5）的外侧边缘处设有橡胶环（56），底...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜燕燕，沈恒宇，
申请(专利权)人：无锡星微科技有限公司杭州分公司，
类型：发明
国别省市：
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