【技术实现步骤摘要】
本技术属于探针测试，具体涉及一种探针测试用承片台。
技术介绍
1、在半导体制造的过程中，在晶圆切割成封装芯片之前，需对晶圆中的芯片进行电学性能测试，并将晶圆中不合格的芯片进行标记，然后于后段的封装制程之前将这些标记的芯片舍弃。该测试环节至关重要，其可以确认芯片的性能以对芯片进行筛选，从而降低封装成本。
2、其中，探针测试设备是在半导体领域中，对晶圆上的器件进行特性分析而使用的检测设备。探针测试设备包括安装有探针卡(probecard)的探测头，以及承载有基板的探测台。目前，在利用探针测试设备测试基板时，所述探测台中的承载台面通常是背向重力方向，从而可基于重力作用向上承载基板，并将探测头中的探针卡移动至所述承载台面的上方，用于对承载台面上方的基板进行测试。
3、然而，在测试过程中，由于芯片测试过程中，芯片都是单片的被放置在承片台中，每测试一片都需重复对芯片进行拾放动作，容易损伤芯片，导致良率下降的可能，并且定位精度不好，使测试机台常出现异常处理，拾放动作需要较长的辅助时间，测试机的测试效率也很低；
4、为此，我们设计一种探针测试用承片台，用于对上述技术问题提供另一种技术方案。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种探针测试用承片台，以解决上述
技术介绍
中提出现有的技术在使用过程中的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种探针测试用承片台，包括工作台，所述工作台的内部转动连接有圆形承片台，所述工作台的底部设置有用于圆形承
3、所述圆形承片台顶部的外侧设置有多个可转动的横向夹板，所述圆形承片台的内部设置有用于横向夹板转动的转动机构；
4、所述圆形承片台的内部设置有可升降的u型架，所述u型架内部的两端以及底部均设置有纵向旋转辊，所述u型架的一端螺栓固定有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端与位于u型架内部底端的纵向旋转辊固定连接，三个所述纵向旋转辊的外侧套设有输送带；
5、所述u型架的顶部且位于圆形承片台的内部设置有用于u型架升降的升降机构。
6、优选的，所述旋转机构包括l型安装架，所述工作台底部的一端固定有l型安装架，所述l型安装架的底部螺栓固定有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定有主动齿轮，所述主动齿轮与工作台啮合连接。
7、优选的，所述圆形承片台的外侧开设有多个齿轮槽，所述主动齿轮与圆形承片台之间通过齿轮槽的设置螺纹连接。
8、优选的，所述转动机构包括单出轴气缸，所述单出轴气缸位于圆形承片台的内部且与圆形承片台固定连接，所述单出轴气缸的输出端固定有横向升降板，所述横向升降板贯穿圆形承片台的内部且与圆形承片台滑动连接，所述横向升降板的一端通过销轴转动连接有斜向转动板，所述斜向转动板的顶部与横向夹板转动连接，所述横向夹板底部的一端通过销轴转动连接有u型安装架，所述u型安装架靠近圆形承片台的一端其与圆形承片台固定连接。
9、优选的，所述圆形承片台的内部开设有竖向滑槽，所述横向升降板与圆形承片台之间通过竖向滑槽滑动连接。
10、优选的，所述升降机构包括双出轴气缸，所述双出轴气缸位于圆形承片台的内部且与圆形承片台固定连接，所述双出轴气缸的两个输出端均固定有矩形移动板，所述矩形移动板的顶部转动连接有斜向转动柱，所述斜向转动柱的顶部与u型架的底部通过销轴转动连接。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
12、本方案通过转动机构的设置，使得横向夹板能够进行转动，以便于对芯片的固定，通过升降机构以及第二驱动电机的运作，使得芯片能够得到顶升并得到输送，以便于芯片的输送，进而提高了本装置的加工效率，通过旋转机构的设置，使得芯片能够得到转动，以便于芯片角度的调节，提高定位的精度。
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1.一种探针测试用承片台，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的内部转动连接有圆形承片台(2)，所述工作台(1)的底部设置有用于圆形承片台(2)旋转的旋转机构；
2.根据权利要求1所述的一种探针测试用承片台，其特征在于：所述旋转机构包括L型安装架(5)，所述工作台(1)底部的一端固定有L型安装架(5)，所述L型安装架(5)的底部螺栓固定有第一驱动电机(6)，所述第一驱动电机(6)的输出端固定有主动齿轮(7)，所述主动齿轮(7)与工作台(1)啮合连接。
3.根据权利要求2所述的一种探针测试用承片台，其特征在于：所述圆形承片台(2)的外侧开设有多个齿轮槽，所述主动齿轮(7)与圆形承片台(2)之间通过齿轮槽的设置螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种探针测试用承片台，其特征在于：所述转动机构包括单出轴气缸(16)，所述单出轴气缸(16)位于圆形承片台(2)的内部且与圆形承片台(2)固定连接，所述单出轴气缸(16)的输出端固定有横向升降板(15)，所述横向升降板(15)贯穿圆形承片台(2)的内部且与圆形承片台(2)滑动连接，所述横向升降板(
5.根据权利要求4所述的一种探针测试用承片台，其特征在于：所述圆形承片台(2)的内部开设有竖向滑槽，所述横向升降板(15)与圆形承片台(2)之间通过竖向滑槽滑动连接。
6.根据权利要求4所述的一种探针测试用承片台，其特征在于：所述升降机构包括双出轴气缸(8)，所述双出轴气缸(8)位于圆形承片台(2)的内部且与圆形承片台(2)固定连接，所述双出轴气缸(8)的两个输出端均固定有矩形移动板(9)，所述矩形移动板(9)的顶部转动连接有斜向转动柱(10)，所述斜向转动柱(10)的顶部与U型架(4)的底部通过销轴转动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种探针测试用承片台，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的内部转动连接有圆形承片台(2)，所述工作台(1)的底部设置有用于圆形承片台(2)旋转的旋转机构；
2.根据权利要求1所述的一种探针测试用承片台，其特征在于：所述旋转机构包括l型安装架(5)，所述工作台(1)底部的一端固定有l型安装架(5)，所述l型安装架(5)的底部螺栓固定有第一驱动电机(6)，所述第一驱动电机(6)的输出端固定有主动齿轮(7)，所述主动齿轮(7)与工作台(1)啮合连接。
3.根据权利要求2所述的一种探针测试用承片台，其特征在于：所述圆形承片台(2)的外侧开设有多个齿轮槽，所述主动齿轮(7)与圆形承片台(2)之间通过齿轮槽的设置螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种探针测试用承片台，其特征在于：所述转动机构包括单出轴气缸(16)，所述单出轴气缸(16)位于圆形承片台(2)的内部且与圆形承片台(2)固定连接，所述单出轴气缸(16)的输出端固定有横向升降板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：殷伟，
申请(专利权)人：无锡矽圆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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