【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子枪领域，尤其涉及用于电子枪的一体化基座，并涉及采用该一体化基座的电子枪。
技术介绍
1、如图1所示，现有电子枪从上向下，由阳极座31、闸阀座17、观察座18、聚焦线圈8和偏转线圈9组合而成，电子束发生器产生的电子束，从阳极3开始，向下经过阳极座31、闸阀座17、观察座18、聚焦线圈8和偏转线圈9后到达产品表面，其中，相邻座体之间都需要一个定心座20或定心套10定位连接，并且相邻座体之间还需要安装密封圈19进行真空密封。
2、电子束的能量衰减与电子束路径的同轴度相关，同轴度越低，能量衰减越大。上述电子枪的构造中，由于包括多个座体，每相邻的两个座体之间都需要一个定心座20或定心套10定位连接，累计误差较大，密封圈19的变形程度也会影响电子枪的各组成部件之间的同轴度，这些导致上述电子枪存在电子束能量衰减较大、且组装繁琐的缺陷。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种用于电子枪的一体化基座及电子枪，以提高电子束路径的同轴度，减小电子束能量衰减，简化电子枪的组装工序。
2、为达上述目的，本技术采用的技术方案如下：
3、一种用于电子枪的一体化基座，其包括座本体，所述座本体包括电子束通道、第一腔体和第二腔体，所述第一腔体与所述电子束通道的入口对应，所述第二腔体与所述电子束通道的出口对应，所述电子束通道、所述第一腔体和所述第二腔体三者的轴线重合；
4、所述第一腔体包括靠近所述电子束通道的第一端、与所述第一端相对的第二端、以及与所述第一
5、所述第二腔体包括靠近所述电子束通道的第四端、以及与所述第四端相对的第五端，所述第四端设有第二定位部，所述第五端设有第二置入口；
6、所述座本体的侧部设有观察系统接口。
7、一些实施例中，所述第二腔体的高度与聚焦线圈和偏转线圈的高度之和相适配，所述第二腔体的内径与所述聚焦线圈的外径以及所述偏转线圈的外径相适配。
8、一些实施例中，所述第一定位部包括向远离所述第二端的方向凹陷的台阶，所述台阶设有螺丝孔。
9、一种电子枪，其包括：
10、如上述的电子枪的一体化基座；
11、连接于所述第一端的枪头组件；
12、设于所述第一腔体内的阳极；
13、设于所述第二腔体内的聚焦线圈和偏转线圈；以及
14、连接于所述第五端的端盖，所述端盖包括出束孔。
15、一些实施例中，所述聚焦线圈和所述偏转线圈穿设于同一个定心套上，所述定心套与所述第二定位部配合，实现所述聚焦线圈和所述偏转线圈与所述基座的定位连接。
16、一些实施例中，所述阳极定位在一个阳极座上，所述阳极座与所述第一定位部配合，实现所述阳极与所述基座的定位连接。
17、一些实施例中，所述第一定位部包括向远离所述第二端的方向凹陷的台阶，所述台阶设有螺丝孔；所述阳极座包括与所述螺丝孔对应的通孔，所述通孔和所述螺丝孔配合通过螺丝将所述阳极座固定于所述第一腔体内。
18、一些实施例中，所述枪头组件包括电子束发生器，所述电子束发生器设于所述第一腔体内。
19、一些实施例中，所述电子枪还包括提升机构，所述提升机构、所述观察系统接口和所述真空接口设于所述一体化基座的三个不同侧部。
20、一些实施例中，所述观察系统接口连接有观察系统，所述观察系统包括四个观察口，所述四个观察口呈矩阵排列。
21、与现有技术相比，本技术至少具有以下有益效果：
22、上述一体化基座中，由于座本体包括电子束通道、第一腔体和第二腔体，所述第一腔体与所述电子束通道的入口对应，所述第二腔体与所述电子束通道的出口对应，所述电子束通道、所述第一腔体和所述第二腔体三者的轴线重合，所述第一腔体包括靠近所述电子束通道的第一端、与所述第一端相对的第二端、以及与所述第一端相邻的第三端，所述第一端设有第一定位部，所述第二端设有第一置入口，所述第二腔体包括靠近所述电子束通道的第四端、以及与所述第四端相对的第五端，所述第四端设有第二定位部，所述第五端设有第二置入口，使得：可将阳极通过第一置入口置入第一腔体，并通过第一定位部将阳极定位在电子束通道的入口处，可将聚焦线圈和偏转线圈通过第二置入口置入第二腔体，并通过第二定位部定位在电子束通道的出口处，阳极、电子束通道、聚焦线圈和偏转线圈四者能够集成在同一个基座上。结合所述第三端设有连通所述第一腔体内外的真空接口，所述座本体的侧部设有观察系统接口，使得：真空系统、观察系统、阳极、电子束通道、聚焦线圈和偏转线圈六者均能够集成在同一个基座上，不需要现有电子枪中的闸阀座、观察座、以及相邻座体之间的定心座和密封圈，可以减小累计误差，以及减小密封圈的变形程度对同轴度的影响，从而可以提高电子束路径的同轴度，减小电子束能量衰减，简化电子枪的组装工序。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.用于电子枪的一体化基座，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的用于电子枪的一体化基座，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的用于电子枪的一体化基座，其特征在于，
4.一种电子枪，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的电子枪，其特征在于，
6.根据权利要求4所述的电子枪，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的电子枪，其特征在于，
8.根据权利要求4所述的电子枪，其特征在于，
9.根据权利要求4所述的电子枪，其特征在于，
10.根据权利要求4所述的电子枪，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.用于电子枪的一体化基座，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的用于电子枪的一体化基座，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的用于电子枪的一体化基座，其特征在于，
4.一种电子枪，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的电子枪，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡树立，彭乾冬，
申请(专利权)人：东莞市明惠电子技术开发有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。