【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英坩埚生产，具体涉及一种耐热石英坩埚及其制造方法。
技术介绍
1、光伏行业由于产品精密度程度高、技术更迭快，对石英坩埚的纯度、精度要求日益严格。在通过直拉法生产单晶硅棒的过程中，石英坩埚是光伏单晶炉的关键部件，石英坩埚的使用消耗和拆装耗时在生产成本中占较高比重，由于坩埚在高温下长时间使用，因此对其纯度、强度和热稳定性的要求非常高，其性能直接影响单晶硅棒的质量和拉制效率，基于对硅片纯度的要求，石英坩埚使用一次至几次加热拉晶后即需报废，需要更换新的石英坩埚用于下次拉晶，因而石英坩埚在单晶硅产业链中具备较强的消耗品属性特征,提升其耐用性能能够显著节约生产成本和提高生产效率，为了进一步降低光伏发电的成本，对石英坩埚提出了长寿命的要求，一个高质量的光伏石英坩埚可以提高单晶硅的产量和效率，使用寿命长，从而降低光伏面板的生产成本。
2、传统的石英坩埚存在一些缺点亟待解决，如受热变形后影响拉晶甚至使拉晶炉发生严重事故；在制造时人工刮制导致厚度不可控，且容易通过人肢体和所持工具带入杂质至石英粉末，同时仅通过手动刮平操作，将导致附着的石英砂之间存在较大的空隙，从而导致石英坩埚在熔制过程中产生大量气泡，造成石英坩埚在使用过程中，其内气泡将膨胀破裂，从而使半导体单晶化的成功率降低，进而使石英坩埚的利用率大大降低。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种耐热石英坩埚，其具备强度高、受热不易变形、壁厚精准均匀、成品率高、在拉晶炉内装拆容易等优点，此外还提供其制造方法。
...【技术保护点】
1.一种耐热石英坩埚，其特征在于：包括相连的坩埚壁（1）和坩埚底（2），所述坩埚壁（1）分为内层（1a）和外层（1b），所述内层（1a）和外层（1b）接触面为波浪或锯齿状连续起伏状融合面，两者顶端口设置有扣边（3），所述内层（1a）的内壁设置有致密涂层（4），所述外层（1b）的外壁设置有网筋（5），所述扣边（3）和网筋（5）均通过石英砂激光熔融与坩埚壁（1）相连。
2.根据权利要求1所述的一种耐热石英坩埚，其特征在于：所述内层（1a）的杂质浓度≤48.5ppb，内层（1a）和坩埚底（2）的气泡率≤外层（1b）的⅓，致密涂层（4）为含Ba层，坩埚壁（1）和坩埚底（2）的羟基含量≤125ppm。
3.根据权利要求2所述的一种耐热石英坩埚，其特征在于：所述扣边（3）向坩埚壁（1）之外延伸并在最外端向下倒扣，所述网筋（5）嵌设于坩埚壁（1）外侧。
4.耐热石英坩埚的制造方法，用于制造权利要求1-3中任意一项所述的一种耐热石英坩埚，其特征在于：包括：
5.根据权利要求4所述的一种耐热石英坩埚的制造方法，其特征在于：所述第一砂层和第二砂层的纯度
6.根据权利要求4所述的一种耐热石英坩埚的制造方法，其特征在于：所述隔环（6）横截面为波浪线或锯齿线围绕成圆圈状。
7.根据权利要求4所述的一种耐热石英坩埚的制造方法，其特征在于：所述高温熔融石英流（9）前端为输送石英粉末的通道，所述高温熔融石英流（9）环绕在激光束（10）外围且其外围设置有推送保护气流（11）。
8.根据权利要求4所述的一种耐热石英坩埚的制造方法，其特征在于：所述伸缩下压装置的下压力≥350N。
9.根据权利要求4所述的一种耐热石英坩埚的制造方法，其特征在于：所述隔环（6）的抽出速度小于模芯（7）的抽出速度。
...【技术特征摘要】
1.一种耐热石英坩埚，其特征在于：包括相连的坩埚壁（1）和坩埚底（2），所述坩埚壁（1）分为内层（1a）和外层（1b），所述内层（1a）和外层（1b）接触面为波浪或锯齿状连续起伏状融合面，两者顶端口设置有扣边（3），所述内层（1a）的内壁设置有致密涂层（4），所述外层（1b）的外壁设置有网筋（5），所述扣边（3）和网筋（5）均通过石英砂激光熔融与坩埚壁（1）相连。
2.根据权利要求1所述的一种耐热石英坩埚，其特征在于：所述内层（1a）的杂质浓度≤48.5ppb，内层（1a）和坩埚底（2）的气泡率≤外层（1b）的⅓，致密涂层（4）为含ba层，坩埚壁（1）和坩埚底（2）的羟基含量≤125ppm。
3.根据权利要求2所述的一种耐热石英坩埚，其特征在于：所述扣边（3）向坩埚壁（1）之外延伸并在最外端向下倒扣，所述网筋（5）嵌设于坩埚壁（1）外侧。
4.耐热石英坩埚的制造方法，用于制造权利要求1-3中任意一项所述的一种耐热石英坩埚，其特征在于：包...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨晓红，高伟，薛小锋，沈士成，盛小春，朱杰，
申请(专利权)人：江苏理工学院，
类型：发明
国别省市：
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