【技术实现步骤摘要】
本申请涉及化学蚀刻，具体涉及一种含钛金属蚀刻液及其应用方法。
技术介绍
1、由于含钛金属(例如，钛、钛合金)易与空气中的氧甚至是溶解氧发生反应生成数纳米厚的致密的二氧化钛层，而二氧化钛通常只易与氢氟酸反应，所以目前业界常用的钛或者钛合金的含钛金属蚀刻液中一般都含有氟元素，但是这类含钛金属蚀刻液对人体会造成伤害，并且含氟废水的处理十分困难，易污染环境。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供了一种含钛金属蚀刻液，该含钛金属蚀刻液能除去含钛金属表层的致密的二氧化钛层并顺利地蚀刻位于二氧化钛下层的含钛金属，且该含钛金属蚀刻液毒性低，对人体及环境友好。
2、本申请第一方面提供了一种含钛金属蚀刻液，包括以下重量份数的各组分：10-50份的碱，0.1-20份的含酚羟基的化合物，30-90份的水。
3、含钛金属蚀刻液中的含酚羟基的化合物能够使tio2转化成tio2·nh2o(α-钛酸)，碱能够与α-钛酸反应并除去致密的tio2层，从而使得下层的含钛金属能够暴露在含钛金属蚀刻液中并被碱腐蚀，进而达到蚀刻含钛金属的目的。上述含钛金属蚀刻液中碱与含酚羟基的化合物的原料选择范围广，易于制备。
4、可选地，所述含酚羟基的化合物包括苯酚、对苯二酚、对氯间二甲苯酚、类黄酮类酚类化合物及其衍生物中的至少一种。
5、可选地，所述类黄酮类酚类化合物包括黄酮醇和杨梅黄酮中的至少一种。
6、可选地，所述含酚羟基的化合物包括对氯间二甲苯酚和黄酮醇中的至少一种。p>
7、可选地，所述碱包括氢氧化钾、氢氧化钠和氨水中的至少一种。
8、可选地，所述含钛金属蚀刻液还包括络合剂和增溶剂中的至少一种。
9、可选地，所述络合剂包括氨基酸盐和葡萄糖酸盐中的至少一种。
10、可选地，所述增溶剂包括聚乙二醇。
11、可选地，在所述含钛金属蚀刻液中，所述络合剂的重量份数为1-20份。
12、可选地，在所述含钛金属蚀刻液中，所述增溶剂的重量份数为0.1-5份。
13、本申请第二方面提供了一种含钛金属蚀刻液的应用方法，包括以下步骤：
14、将含钛金属蚀刻液与表面设有含钛膜层的基板接触，以蚀刻所述含钛膜层；
15、其中，所述含钛金属蚀刻液包括以下重量份数的各组分：10-50份的碱，0.1-20份的含酚羟基的化合物，30-90份的水。
16、上述应用方法操作简单，可控性强，可实现大规模工业化生产。
17、可选的，所述蚀刻的时间为10s-1h。
18、可选的，所述蚀刻的温度为50℃-100℃。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述含钛金属蚀刻液包括以下重量份数的各组分：10-50份的碱，0.1-20份的含酚羟基的化合物，30-90份的水。
2.根据权利要求1所述的含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述含酚羟基的化合物包括苯酚、对苯二酚、类黄酮类酚类化合物及其衍生物和对氯间二甲苯酚中的至少一种；其中，所述类黄酮类酚类化合物包括黄酮醇和杨梅黄酮中的至少一种。
3.根据权利要求2所述的含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述含酚羟基的化合物包括对氯间二甲苯酚和黄酮醇中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述碱包括氢氧化钾、氢氧化钠和氨水中的至少一种。
5.根据权利要求1-4任一项所述的含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述含钛金属蚀刻液还包括络合剂和增溶剂中的至少一种；所述络合剂包括氨基酸盐和葡萄糖酸盐中的至少一种；所述增溶剂包括聚乙二醇。
6.根据权利要求5所述的含钛金属蚀刻液，其特征在于，在所述含钛金属蚀刻液中，所述络合剂的重量份数为1-20份。
7.根据权利要求5所述的含钛金属蚀刻液，
8.根据权利要求1-7任一项所述的含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述含钛金属蚀刻液不含氟元素。
9.一种含钛金属蚀刻液的应用方法，其特征在于，包括以下步骤：
10.根据权利要求9所述的应用方法，其特征在于，所述蚀刻的时间为10s-1h，所述蚀刻的温度为50℃-100℃。
...【技术特征摘要】
1.一种含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述含钛金属蚀刻液包括以下重量份数的各组分：10-50份的碱，0.1-20份的含酚羟基的化合物，30-90份的水。
2.根据权利要求1所述的含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述含酚羟基的化合物包括苯酚、对苯二酚、类黄酮类酚类化合物及其衍生物和对氯间二甲苯酚中的至少一种；其中，所述类黄酮类酚类化合物包括黄酮醇和杨梅黄酮中的至少一种。
3.根据权利要求2所述的含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述含酚羟基的化合物包括对氯间二甲苯酚和黄酮醇中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的含钛金属蚀刻液，其特征在于，所述碱包括氢氧化钾、氢氧化钠和氨水中的至少一种。
5.根据权利要求1-4任一项所述的含钛金属蚀刻液，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄玉枭，陈梁，马兰，覃惠珍，张刘成，
申请(专利权)人：惠州比亚迪电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。